JP2500423Y2 - 電子顕微鏡 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はＸ線分析が正確に行えるように成した電子顕
微鏡に関する。

（従来の技術） 第４図（ａ）はＸ線分析機能を備えた電子顕微鏡の、
特に、試料を光軸Ｚと直交した方向から挿入する型の試
料装置の概略図を示したものである。

図中、１は第４図（ｂ）に示す様に開孔部２を有する
試料台、３は試料、４及び５は、夫々、対物レンズのポ
ールピースを構成する上磁極と下磁極、６はＸ線検出
器、７は試料載置部である。

この様に構成された電子顕微鏡の試料装置において、
前記試料３の観察時は、試料３を光軸Ｚと直交した方向
から挿入する。そして、該試料３に電子銃（図示せず）
から射出された電子ビームを照射し、該試料３を透過し
た電子を該試料３の下方に設けられたレンズ系（図示せ
ず）で拡大し、該拡大された電子線像を蛍光板（図示せ
ず）上に結像している。

又、試料３のＸ線分析は、該試料３に電子ビームを照
射する事により該試料３から放出されるＸ線を前記Ｘ線
検出器６で検出し、その出力信号を図示外のＸ線分析系
に導く事により行っている。

（考案が解決しようとする課題） さて、前記試料台１は、一般に、Ｘ線発生量の極めて
低い軽元素、例えば、ベリリウムから作製されている。
これは、電子銃（図示せず）から射出された電子が試料
台１の試料載置部７の近辺に洩れて照射された場合に、
該照射による試料台１からのＸ線放出を少なくする事に
より、試料３のＸ線検出に支障を来たさない為である。

又、電子顕微鏡の分解能向上の為に、前記上下磁極4,
5の間隔が狭く成されているが、その為に試料台１は薄
く作製されている。

所で、試料３を透過する過程で散乱する電子があり、
該散乱電子の衝突を受けた下磁極５からＸ線が放出され
る。

しかしながら、前記した様に、試料台は軽元素で薄く
作製されている為に、該Ｘ線は該試料台１を透過して前
記Ｘ線検出器６に検出されてしまう。その結果、前記試
料３のＸ線検出に支障を来たし、正確なＸ線分析が行え
ない。

本考案はこの様な問題を解決することを目的としたも
のである。

（課題を解決するための手段） その為に本考案は、電子レンズの上磁極と下磁極との
間にセットした試料に電子ビームを照射し、該照射によ
り該試料から放出されるＸ線を検出する手段を備えた電
子顕微鏡において、前記試料を保持する保持部材の、少
なくとも上層，下層若しくは中間層を、電子線が照射さ
れる部分を除いてＸ線を吸収する重元素部材で成した。

（実施例） 第１図（ａ）は本考案の一実施例として示したＸ線分
析機能を備えた電子顕微鏡の要部である、試料を光軸Ｚ
と直交した方向から挿入する型の試料装置の概略を示し
たものである。図中前記第４図と同一番号を付したもの
は同一構成要素である。

図中、８は試料台１の上面に付着された重元素金属
膜、例えば、金の膜で、Ｘ線吸収効率が極めて高いもの
である。該重元素金属膜は、試料台１を成している材料
である軽元素金属（例、ベリリウム）に比べＸ線発生量
が高い為、電子が当るとＸ線が多量に放出される。その
為、電子銃（図示せず）から照射された電子が試料台１
の試料載置部７の近辺に洩れて該重元素金属膜８の一部
に照射されない様に、第１図（ｂ）に示すように試料載
置部７の周りに間隔Δをおいて付着されている。

この様に構成された電子顕微鏡の試料装置において、
電子銃（図示せず）から射出された電子ビームを試料３
に照射すると、該試料３からはＸ線が放出される。そし
て、該放出されたＸ線はＸ線検出器６に検出される。

さて、試料３を透過した電子の内、散乱電子の衝突を
受けた下磁極５からＸ線が放出され、該放出されたＸ線
は軽元素金属（例、ベリリウム）から成る試料台１を透
過しようとするが、前記試料１の上面に重元素金属膜
（例、金）が付着されているので、該下磁極５から放出
されるＸ線は、該重元素金属膜８により遮断される。従
って、該下磁極５から放出されるＸ線が前記Ｘ線検出器
６に検出される事が阻止され、該Ｘ線検出器６は試料３
から放出されるＸ線のみ検出する。

尚、上記説明では重元素金属膜８を試料台１の上面に
付着したが、試料台１の下面に付着しても同様の効果が
得られる。

又、第２図に示す様に、試料台１の試料周辺近傍部分
を軽元素金属９で、それ以外の部分を重元素金属10で製
作しても同様の効果が得られる。

更に又、第３図に示す様に、試料台として、重元素金
属11を軽元素金属12で挟み込んだ構造のものを用いても
よい。

（効果） 本考案は、前記試料を保持する保持部材の、少なくと
も上層，下層若しくは中間層を、電子線が照射される部
分を除いてＸ線を吸収する重元素部材で成したので、試
料を透過する過程で、散乱された電子の衝突を受けた下
磁極から放出されるＸ線が検出されるのを防ぐ事ができ
る。従って、Ｘ線検出器には試料から放出されたＸ線の
みが検出され、その結果、該試料の正確なＸ線分析が行
われる。

【図面の簡単な説明】

第１図，第２図及び第３図は本考案の要部の一実施例と
して示した電子顕微鏡の試料装置の概略図、第４図は従
来の電子顕微鏡の試料装置の概略図を示したものであ
る。 １……試料台、２……孔、３……試料、４……上磁極、
５……下磁極、６……Ｘ線検出器、７……試料載置部、
８……重元素金属膜、９……軽元素金属、10,11……重
元素金属、12……軽元素金属

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】電子レンズの上磁極と下磁極との間にセッ
   トした試料に電子ビームを照射し、該照射により該試料
   から放出されるＸ線を検出する手段を備えた電子顕微鏡
   において、前記試料を保持する保持部材の、少なくとも
   上層，下層若しくは中間層を、電子線が照射される部分
   を除いてＸ線を吸収する重元素部材で成した事を特徴と
   する電子顕微鏡。