JPS59181575U - 電子線装置における分析又は観察位置表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の全体を示すための図、第２
図は陰極線管の全面に取り付けられたガイドを説明する
ための図、第３図は試料のインスタントカメラによる写
真撮影を説明するための図、第４図は分析すべき試料を
説明するための図、第５図は輝点の重畳された写真を例
示するための図である。 １・・・・・・電子銃、２・・・・・・電子線、３・・
・・・・集束レンズ、４・・・・・・対物レンズ、５・
・・・・・試料、６・・・・・・試料ステージ、７ｘ、
　　７ｙ・・・・・・パルスモータ、８・・・・・・駆
動回路、９・・・・・・演算制御回路、１０・・・・・
・入力袋　　　−置、１１・・・・・・分光結晶、１２
・・・・・・Ｘ線検出器、１３．２０．２２Ｘ、２２Ｙ
・・・・・・増幅器、１４・・・・・・計数回路、１５
・・・・・・表示装置、１６・・・・・・偏向コイル、
１７・・・・・・走査信号発生回路、１８．２３・・・
・・・陰極線管、１９・・・・・・二次電子検出器、２
１ｘ。 ２１Ｙ・・・・・・ＤＡ変換器、２４・・・・・・定電
圧源、２５・・・・・・ガイド、Ｋ・・・・・・インス
タントカメラ、Ｆ・・・・・・写真。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 細く絞られた電子線を試料に照射する手段と、該電子線
   の試料への照射によって試料より得られる荷電粒子又は
   放射線を検出する手段と、電子線の試料面上における照
   射位置又は領域を相対的に移動させるための試料移動手
   段とを備えた装置において、陰極線管と、該陰極線管の
   画面内の該電子線の試料面上における照射位置又は領域
   に応じた位置にマークを表示するための手段と、該陰極
   線管画面に試料表面の写真を取り付ける手段とを具備す
   ることを特徴とする電子線装置における分析又は観察位
   置表示装置。