JPS59150159U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPS59150159U
JPS59150159U JP4507083U JP4507083U JPS59150159U JP S59150159 U JPS59150159 U JP S59150159U JP 4507083 U JP4507083 U JP 4507083U JP 4507083 U JP4507083 U JP 4507083U JP S59150159 U JPS59150159 U JP S59150159U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
electron beam
electron microscope
scanning electron
transmitted
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4507083U
Other languages
English (en)
Inventor
後藤　正弐
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP4507083U priority Critical patent/JPS59150159U/ja
Publication of JPS59150159U publication Critical patent/JPS59150159U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は走査電子顕微鏡の試料室近傍の概略構成図であ
り、第２図は本考案の一実施例を示す構成略図、第３図
は本考案を説明するための図である。 １：試料室、２：試料ステージ、３：試料ステージ支持
部材、４：試料ステージ移動機構、５：試料ホルダー、
６：試料、７：対物レンズヨーク、８：電子線、９：透
過電子線、゛１０：シンチレータ、１１ニライトガイド
、１２：フォトマル、１３：ケーブル、１４：カバー、
１５：試料交換蓋、１６：固定金具、１７：半導体検出
器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料に電子線を照射すると共に、該試料上において電子
    線を走査し、試料を透過する透過電子線を、該試料の下
    方に設置された電子線検出手段により検出して画像表示
    する装置において、前記試料の位置を可変させる試料ス
    テージに試料を透過した電子線を検出するための半導体
    検出素子を取り付けたことを特徴とする走査電子顕微鏡
    。
JP4507083U 1983-03-29 1983-03-29 走査電子顕微鏡 Pending JPS59150159U (ja)

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JP4507083U JPS59150159U (ja) 1983-03-29 1983-03-29 走査電子顕微鏡

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JP4507083U JPS59150159U (ja) 1983-03-29 1983-03-29 走査電子顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59150159U true JPS59150159U (ja) 1984-10-06

Family

ID=30175592

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JP4507083U Pending JPS59150159U (ja) 1983-03-29 1983-03-29 走査電子顕微鏡

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JP (1) JPS59150159U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01149354A (ja) * 1987-12-04 1989-06-12 Hitachi Ltd 電子顕微鏡
WO2014069364A1 (ja) * 2012-10-30 2014-05-08 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置およびそれを用いた観察方法
WO2016088249A1 (ja) * 2014-12-05 2016-06-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01149354A (ja) * 1987-12-04 1989-06-12 Hitachi Ltd 電子顕微鏡
WO2014069364A1 (ja) * 2012-10-30 2014-05-08 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置およびそれを用いた観察方法
JPWO2014069364A1 (ja) * 2012-10-30 2016-09-08 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置およびそれを用いた観察方法
WO2016088249A1 (ja) * 2014-12-05 2016-06-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法
JPWO2016088249A1 (ja) * 2014-12-05 2017-09-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法

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