JPS59194258U - 光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡 - Google Patents

光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡

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JPS59194258U
JPS59194258U JP9029083U JP9029083U JPS59194258U JP S59194258 U JPS59194258 U JP S59194258U JP 9029083 U JP9029083 U JP 9029083U JP 9029083 U JP9029083 U JP 9029083U JP S59194258 U JPS59194258 U JP S59194258U
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JP
Japan
Prior art keywords
microscope
scanning electron
electron microscope
optical
optical microscope
Prior art date
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Pending
Application number
JP9029083U
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English (en)
Inventor
英二 渡辺
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP9029083U priority Critical patent/JPS59194258U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図は本考案の一実施例装置を示す略図、
第４図及び第５図は本考案の他の実施例装置の要部を示
す略図、第６図は第４図及び第５図に示す装置の一部変
形例を示す略図である。 １：試料室の壁、２：電子プローブ形成手段、３：試料
移動機構、４：ステージ、５ニスライドグラス、６：光
学顕微鏡、７：対物レンズ部、８：接眼レンズ部、９：
電子プローブ、１０：試料、１１：検出器、１２：ガス
流形成手段、１３：基体、１４：液体を含浸保持する部
材、１５：蓋体、１６：容器、１７：細管、１８：気化
手段、１９：セプタム、２０：シリンジ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 液体を含浸保持する部材を収納する密閉容器に接続され
    たガス流形成手段を、観察試料の近傍に設けたことを特
    徴とする光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡。
JP9029083U 1983-06-13 1983-06-13 光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡 Pending JPS59194258U (ja)

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JP9029083U JPS59194258U (ja) 1983-06-13 1983-06-13 光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡

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JP9029083U JPS59194258U (ja) 1983-06-13 1983-06-13 光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡

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JPS59194258U true JPS59194258U (ja) 1984-12-24

Family

ID=30220205

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JP9029083U Pending JPS59194258U (ja) 1983-06-13 1983-06-13 光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡

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JP (1) JPS59194258U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01156604A (ja) * 1987-12-15 1989-06-20 Jeol Ltd 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡
JP2009146887A (ja) * 2007-11-13 2009-07-02 Carl Zeiss Nts Gmbh 物体を加工するシステムおよび方法
EP4102537A1 (en) * 2021-06-09 2022-12-14 Techinsights Inc. Ion beam chamber fluid delivery apparatus and method and ion beam etcher using same

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2009146887A (ja) * 2007-11-13 2009-07-02 Carl Zeiss Nts Gmbh 物体を加工するシステムおよび方法
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