JPS58148654U - 電子的分析装置用試料カプセル - Google Patents
電子的分析装置用試料カプセルInfo
- Publication number
- JPS58148654U JPS58148654U JP4675182U JP4675182U JPS58148654U JP S58148654 U JPS58148654 U JP S58148654U JP 4675182 U JP4675182 U JP 4675182U JP 4675182 U JP4675182 U JP 4675182U JP S58148654 U JPS58148654 U JP S58148654U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic analyzer
- sample capsule
- sample
- capsule
- analyzer
- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例装置の縦断面図、第2図は縦
来例の縦断面図である。 1・・・カプセル本体、2・・・試料、3・・・薄膜、
4・・・試料照射電子線、5・・・透明板、6・・・螢
光体層、7 ゛・・・光電子増倍管、8・・・反
射電子。
来例の縦断面図である。 1・・・カプセル本体、2・・・試料、3・・・薄膜、
4・・・試料照射電子線、5・・・透明板、6・・・螢
光体層、7 ゛・・・光電子増倍管、8・・・反
射電子。
Claims (1)
- 試料照射用電子線入射開口に薄膜が張設可能で、壁面の
少なくとも一部が入射電子を他の信号に変換する素子で
構成してなる電子的分析装置用試料カプセル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4675182U JPS58148654U (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 電子的分析装置用試料カプセル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4675182U JPS58148654U (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 電子的分析装置用試料カプセル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58148654U true JPS58148654U (ja) | 1983-10-05 |
JPH0125317Y2 JPH0125317Y2 (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=30057737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4675182U Granted JPS58148654U (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 電子的分析装置用試料カプセル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58148654U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014107036A (ja) * | 2012-11-26 | 2014-06-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料台及び荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
JP2014175276A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置、試料観察方法、試料台、観察システム、および発光部材 |
JP2015153710A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料ホルダ、観察システム、および画像生成方法 |
JP2017107877A (ja) * | 2017-03-21 | 2017-06-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料観察方法、試料台、観察システム、および発光部材 |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP4675182U patent/JPS58148654U/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014107036A (ja) * | 2012-11-26 | 2014-06-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料台及び荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
JP2014175276A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置、試料観察方法、試料台、観察システム、および発光部材 |
EP2975631A4 (en) * | 2013-03-13 | 2016-12-14 | Hitachi High Tech Corp | CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, SAMPLE OBSERVATION METHOD, SAMPLE PLATFORM, OBSERVATION SYSTEM, AND LIGHT EMITTING ELEMENT |
US10241062B2 (en) | 2013-03-13 | 2019-03-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam device, sample observation method, sample platform, observation system, and light emitting member |
JP2015153710A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料ホルダ、観察システム、および画像生成方法 |
JP2017107877A (ja) * | 2017-03-21 | 2017-06-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料観察方法、試料台、観察システム、および発光部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0125317Y2 (ja) | 1989-07-28 |
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