JPS6035249U - Ｘ線分析装置における試料自動交換装置 - Google Patents

Ｘ線分析装置における試料自動交換装置

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Publication number
JPS6035249U
JPS6035249U JP12757383U JP12757383U JPS6035249U JP S6035249 U JPS6035249 U JP S6035249U JP 12757383 U JP12757383 U JP 12757383U JP 12757383 U JP12757383 U JP 12757383U JP S6035249 U JPS6035249 U JP S6035249U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
stopper
sample chamber
stage
preliminary
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Pending
Application number
JP12757383U
Other languages
English (en)
Inventor
渡辺　忠悟
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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Priority to JP12757383U priority Critical patent/JPS6035249U/ja
Publication of JPS6035249U publication Critical patent/JPS6035249U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案によるＸ線分析装置を示す側断面図。 第２図は第１図のＸ−Ｘ方向断面図。第３図は第１図の
Ｙ−Ｙ方向断面図である。 １・・・予備試料室、１ａ・・・開口部、２・・・係止
部、３・・・試料交換部材、４・・・駆動系、５ａ〜５
ｆ・・・試料、６・・・パレット、７・・・試料ホルダ
ー、８・・・駆動系、９・・・エアロツクバルブ、１０
・・・試料室、１０ａ・・・開口部、１１・・・ＸＹス
テージ、１２・・・通孔、１３・・・Ｏリング、１４・
・・透明ガラス、１５・・・反射型光電スイッチ、１６
・・・電子銃、１７・・・鏡筒、１８ａ、１８ｂ・・・
Ｘ線分光器、１９・・・ストッパー、２０・・・コロ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一端面に開口部を有する箱形状の予備試料室と、この予
    備試料室の開口部に対向する端面に摺動自在に挿入され
    先端に係止部を有する試料交換部材と、前記予備試料室
    内部に数種類の試料を収納するための試料ホルダーとか
    らなり、前記予備試料室の開口部に設けられたエアロツ
    クバルブを介して取付けられた試料室と、この試料室内
    に設けられたＸＹステージおよびステージに載置された
    試料位置決め用のストッパーと、このストッパーに配置
    された試料にビームを照射するための電子銃とからなる
    Ｘ線分析装置に接続され、かつ前記試料ボルダ−に収納
    された試料を前記試料交換部材の係止部に係止させ、前
    記ＸＹステージ上のストッパーに配置する装置において
    、前記ＸＹステージ上に試料が存在するか否かを判別す
    るスイッチと、このスイッチの出力により作動する駆動
    系とを備え、前記駆動系を介して、前記試料交換部材を
    作動するように構成したことを特徴とするＸ線分析装置
    における試料自動交換装置。
JP12757383U 1983-08-18 1983-08-18 Ｘ線分析装置における試料自動交換装置 Pending JPS6035249U (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5826656B2 (ja) * 1975-12-01 1983-06-04 日本電気株式会社 ３−５ ゾクカゴウブツハンドウタイエピタキシヤルセキソウケツシヨウノ セイゾウホウホウ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5826656B2 (ja) * 1975-12-01 1983-06-04 日本電気株式会社 ３−５ ゾクカゴウブツハンドウタイエピタキシヤルセキソウケツシヨウノ セイゾウホウホウ

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