JPS5966852U - 荷電粒子分析装置の光学観察装置 - Google Patents

荷電粒子分析装置の光学観察装置

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JPS5966852U
JPS5966852U JP16361382U JP16361382U JPS5966852U JP S5966852 U JPS5966852 U JP S5966852U JP 16361382 U JP16361382 U JP 16361382U JP 16361382 U JP16361382 U JP 16361382U JP S5966852 U JPS5966852 U JP S5966852U
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JP
Japan
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sample
charged particle
stage
observation device
optical observation
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Pending
Application number
JP16361382U
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English (en)
Inventor
和夫 小柳
平居　暉士
村山　善美
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の荷電粒子分析装置の光学観察装置を示す
縦断面図、第２図および第３図は本考案の実施例を示し
、第２図は荷電粒子分析装置の光゛学観察装置の縦断面
図、第３図は第２図における試料ステージと支持体を拡
大して示す縦断面図である。 １・・・荷電粒子分析装置、２・・・光学観察装置、９
・・・試料、１１・・・試料ステージ、１３・・・試料
室１．１４・・・貫通孔、１，６・・・支持体、２０・
・・集光レンズ、２２・・・ＸＹステージ、３０・・・
光源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. エレクトロンプローブマイクロアナライザやイオンマイ
    クロアナライザなどの荷電粒子分析装置において、試料
    室内に配置された試料ステージの上部には支持体が取付
    けられ、この支持体には光源からの照明光を集光する集
    光レンズが固着されて前記試料ステージに形成された導
    光用の貫通穴に臨ましめるとともに、この集光レンズの
    上方にＸＹステージが前後左右に移動可能に設けられ、
    このＸＹステージで試料を保持して試料観察を行なうよ
    うにしたことを特徴とする荷電粒子分析装置の光学観察
    装置。
JP16361382U 1982-10-27 1982-10-27 荷電粒子分析装置の光学観察装置 Pending JPS5966852U (ja)

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JPS5966852U true JPS5966852U (ja) 1984-05-04

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5414295A (en) * 1977-07-04 1979-02-02 Jeol Ltd Sample observing apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5414295A (en) * 1977-07-04 1979-02-02 Jeol Ltd Sample observing apparatus

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