JPS58113255U - 電子顕微鏡等における軸合せ装置 - Google Patents

電子顕微鏡等における軸合せ装置

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JPS58113255U
JPS58113255U JP13520681U JP13520681U JPS58113255U JP S58113255 U JPS58113255 U JP S58113255U JP 13520681 U JP13520681 U JP 13520681U JP 13520681 U JP13520681 U JP 13520681U JP S58113255 U JPS58113255 U JP S58113255U
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JP
Japan
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alignment device
axis alignment
electron microscopes
moving rods
axis
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Pending
Application number
JP13520681U
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English (en)
Inventor
公郎 大井
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
；　　　第１図は従来装置を説明するための平面断面図
、：　　第２図は本考案の一実施例を示す平面断面図で
あ（る。 １：試！、２：ゴニオメータ、３：試料ステージ、；４
：鏡体、５：試料ホルダー、６．　７．　８聯しネジ、
Ｔ：傾斜軸、Ｚ：光軸、９．　１０．　１１：移動杆、
１２．１３．１４：コイルスプリング。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一方の構体に基準となる軸線に対して対称にょかれた少
    なくとも３個の移動杆を保持し、該夫碌の移動杆の先端
    は他方の構体に当接せしめ、又出会移動杆を弾性体を介
    在させて前記一方の構体に螺合されたネジ体により押圧
    する様に構成してなる電子顕微鏡等における軸合せ装置
    。
JP13520681U 1981-09-11 1981-09-11 電子顕微鏡等における軸合せ装置 Pending JPS58113255U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021205526A1 (ja) * 2020-04-07 2021-10-14 株式会社日立ハイテク 荷電粒子銃、荷電粒子ビームシステム、およびロックナット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021205526A1 (ja) * 2020-04-07 2021-10-14 株式会社日立ハイテク 荷電粒子銃、荷電粒子ビームシステム、およびロックナット
JPWO2021205526A1 (ja) * 2020-04-07 2021-10-14

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