JPS5810368U - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5810368U JPS5810368U JP10396381U JP10396381U JPS5810368U JP S5810368 U JPS5810368 U JP S5810368U JP 10396381 U JP10396381 U JP 10396381U JP 10396381 U JP10396381 U JP 10396381U JP S5810368 U JPS5810368 U JP S5810368U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- coil
- electron
- pongee
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のブランキング方式のブロック図、第２図
は本考案のブランキング方式の一実施例ブロック図であ
る。 １・・・フィラメント、２・・・電子線、３・・・紬調
コイル、４・・・収束レンズ、５・・・コイル、６・・
・試料、７・・・ブランキング拳プレート、１１・−・
収束レンズ用絞り。
は本考案のブランキング方式の一実施例ブロック図であ
る。 １・・・フィラメント、２・・・電子線、３・・・紬調
コイル、４・・・収束レンズ、５・・・コイル、６・・
・試料、７・・・ブランキング拳プレート、１１・−・
収束レンズ用絞り。
Claims (1)
- 電子線発生源の電子銃と電子線の電気的軸出し用の紬調
コイルと電子線の太さを調整する収束レンズと電子線の
試料への入射角調整用の偏向コイルよりなる照射系を有
する電子顕微鏡において、電子線の紬調コイルと収束レ
ンズ間に電子線をはさんで対向する平板を設け、該平板
には電圧印加可能としたことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10396381U JPS5810368U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10396381U JPS5810368U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5810368U true JPS5810368U (ja) | 1983-01-22 |
Family
ID=29898569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10396381U Pending JPS5810368U (ja) | 1981-07-15 | 1981-07-15 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5810368U (ja) |
-
1981
- 1981-07-15 JP JP10396381U patent/JPS5810368U/ja active Pending
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