JPS5941852U - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5941852U JPS5941852U JP13292982U JP13292982U JPS5941852U JP S5941852 U JPS5941852 U JP S5941852U JP 13292982 U JP13292982 U JP 13292982U JP 13292982 U JP13292982 U JP 13292982U JP S5941852 U JPS5941852 U JP S5941852U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- varying
- aperture
- electron microscope
- irradiated onto
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示すブロック図
である。 １：収束レンズコイル、２：絞り板、２ａ、 ２ｂ。 ２Ｃ：絞り板の開口、３：絞り板の移動機構、４：溝、
５ ａ、 ５ ｂ、 ５ Ｃ：スイッチ、６：電源
、７：増幅器、８：電流設定用抵抗群、９ａ、 ９ｂ
、 ９Ｃ：スイッチ。
である。 １：収束レンズコイル、２：絞り板、２ａ、 ２ｂ。 ２Ｃ：絞り板の開口、３：絞り板の移動機構、４：溝、
５ ａ、 ５ ｂ、 ５ Ｃ：スイッチ、６：電源
、７：増幅器、８：電流設定用抵抗群、９ａ、 ９ｂ
、 ９Ｃ：スイッチ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料に照射される電子線を収束する収束レンズの絞
りの径を可変し得る電子顕微鏡において、該絞りの開口
径に応じ、試料に照射される電子線電流量を減少させる
保護手段が備えられた電子顕微鏡。 ２ 該保護手段は該収束レンズ電流を可変する手段であ
る実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡。 ３ 該保護手段は電子銃のバイアス電圧を可変する手段
である実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13292982U JPS5941852U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13292982U JPS5941852U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5941852U true JPS5941852U (ja) | 1984-03-17 |
| JPH0227494Y2 JPH0227494Y2 (ja) | 1990-07-25 |
Family
ID=30300028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13292982U Granted JPS5941852U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5941852U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5854463A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-31 | Fujitsu Ltd | シ−ケンシヤルアクセスフアイルの駆動方式 |
-
1982
- 1982-09-01 JP JP13292982U patent/JPS5941852U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5854463A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-31 | Fujitsu Ltd | シ−ケンシヤルアクセスフアイルの駆動方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0227494Y2 (ja) | 1990-07-25 |
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