JPH0227494Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227494Y2 JPH0227494Y2 JP1982132929U JP13292982U JPH0227494Y2 JP H0227494 Y2 JPH0227494 Y2 JP H0227494Y2 JP 1982132929 U JP1982132929 U JP 1982132929U JP 13292982 U JP13292982 U JP 13292982U JP H0227494 Y2 JPH0227494 Y2 JP H0227494Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- electron
- switching
- electron beam
- bias power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 24
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡に関し、特に、試料に照射
される電子線を収束する収束レンズの絞りの径を
変化させる場合における不都合を改良した電子顕
微鏡に関する。
される電子線を収束する収束レンズの絞りの径を
変化させる場合における不都合を改良した電子顕
微鏡に関する。
透過電子顕微鏡においては、観察像の観察状態
に応じて、適切な像コントラストを得る目的等の
ために、試料に照射される電子線を収束する収束
レンズの絞りの開口径を変えている。しかしなが
ら、小さな径の絞りを用いて観察していた状態か
ら、大きな径の絞りに変えると、試料に照射され
る電子線の照射角が大きくなり、結果として試料
に照射される電子線電流量が多くなり、試料を著
しく加熱し、場合によつては、試料を損傷させ
る。又、走査電子顕微鏡においても、透過電子顕
微鏡と同様な問題が生じるが、更に、試料に照射
される電子線量が多くなると、それに伴つて、検
出している二次電子あるいは反射電子量も増加
し、像を表示する陰極線管に過大な輝度信号が供
給され、該陰極線管の蛍光面に損傷を与えること
もある。
に応じて、適切な像コントラストを得る目的等の
ために、試料に照射される電子線を収束する収束
レンズの絞りの開口径を変えている。しかしなが
ら、小さな径の絞りを用いて観察していた状態か
ら、大きな径の絞りに変えると、試料に照射され
る電子線の照射角が大きくなり、結果として試料
に照射される電子線電流量が多くなり、試料を著
しく加熱し、場合によつては、試料を損傷させ
る。又、走査電子顕微鏡においても、透過電子顕
微鏡と同様な問題が生じるが、更に、試料に照射
される電子線量が多くなると、それに伴つて、検
出している二次電子あるいは反射電子量も増加
し、像を表示する陰極線管に過大な輝度信号が供
給され、該陰極線管の蛍光面に損傷を与えること
もある。
本考案は上述した点に鑑みてなされたもので、
収束レンズの絞りの開口径を変化させても、試料
あるいは陰極線管の蛍光面に損傷を与えない電子
顕微鏡を提供する。
収束レンズの絞りの開口径を変化させても、試料
あるいは陰極線管の蛍光面に損傷を与えない電子
顕微鏡を提供する。
そのため本考案は、電子銃と、該電子銃のバイ
アス電源と、集束レンズの絞りの開口径を切換え
るための手段を備えた電子顕微鏡において、該絞
り径切換手段により前記開口径が増大するように
切換えられる際に前記電子銃から取り出される電
子線が減少するように前記バイアス電源の出力電
圧を前記切換手段による切換に連動して切換える
ための手段を備えることを特徴としている。
アス電源と、集束レンズの絞りの開口径を切換え
るための手段を備えた電子顕微鏡において、該絞
り径切換手段により前記開口径が増大するように
切換えられる際に前記電子銃から取り出される電
子線が減少するように前記バイアス電源の出力電
圧を前記切換手段による切換に連動して切換える
ための手段を備えることを特徴としている。
以下本考案の一実施例を第１図に基づき詳述す
る。
る。
図中１は電子銃であり、１ａはその陰極、１ｂ
はウエーネルト電極である。陰極１ａとウエーネ
ルト電極１ｂとの間にはバイアス電源６よりバイ
アス電圧が印加されている。電子銃１より取り出
された電子線は図示していないが集束レンズによ
つて集束されて試料上に照射される。２は集束レ
ンズの絞り板である。絞り板２には３種の径の異
なつた開口２ａ，２ｂ，２ｃが穿たれている。絞
り板２には絞り板移動機構３によつて電子線光軸
と直交する方向に移動させられる。移動機構３に
は絞り板と一体的に移動する溝４が設けられい
る。一方、開口２ａ，２ｂ，２ｃの位置関係に対
応して３種の固定されたスイツチ５ａ，５ｂ，５
ｃが配置されている。スイツチ５ａは絞り板の開
口２ａが電子線通路に移動された際に、溝４の位
置に位置してオフの状態となり、開口２ａが集束
レンズ絞りとして使用されていることを検出す
る。同様に、スイツチ５ｂは開口２ｂが、そして
スイツチ５ｃは開口２ｃが集束レンズ絞りとして
使用されていることを検出する。これらスイツチ
５ａ，５ｂ，５ｃよりの信号は前記バイアス電源
６に送られており、バイアス電源６は電源６に送
られるオン信号がスイツチ５ａのものからスイツ
チ５ｂのものに切換えられると電子銃１から取り
出される電子線電流値が減少し、更に電源６に送
られるオン信号がスイツチ５ｂのものからスイツ
チ５ｃのものに切換えられると電子銃１から取り
出される電子線電流値が更に減少するようにその
出力電圧が切換わるように構成されている。尚、
このバイアス電源よりの出力電圧は、各径の絞り
が電子線通路に配置された際に、検出される信号
によつて陰極線管の蛍光面が損傷を受けない程度
に電子線電流値を減じるように予め設定されてい
る。
はウエーネルト電極である。陰極１ａとウエーネ
ルト電極１ｂとの間にはバイアス電源６よりバイ
アス電圧が印加されている。電子銃１より取り出
された電子線は図示していないが集束レンズによ
つて集束されて試料上に照射される。２は集束レ
ンズの絞り板である。絞り板２には３種の径の異
なつた開口２ａ，２ｂ，２ｃが穿たれている。絞
り板２には絞り板移動機構３によつて電子線光軸
と直交する方向に移動させられる。移動機構３に
は絞り板と一体的に移動する溝４が設けられい
る。一方、開口２ａ，２ｂ，２ｃの位置関係に対
応して３種の固定されたスイツチ５ａ，５ｂ，５
ｃが配置されている。スイツチ５ａは絞り板の開
口２ａが電子線通路に移動された際に、溝４の位
置に位置してオフの状態となり、開口２ａが集束
レンズ絞りとして使用されていることを検出す
る。同様に、スイツチ５ｂは開口２ｂが、そして
スイツチ５ｃは開口２ｃが集束レンズ絞りとして
使用されていることを検出する。これらスイツチ
５ａ，５ｂ，５ｃよりの信号は前記バイアス電源
６に送られており、バイアス電源６は電源６に送
られるオン信号がスイツチ５ａのものからスイツ
チ５ｂのものに切換えられると電子銃１から取り
出される電子線電流値が減少し、更に電源６に送
られるオン信号がスイツチ５ｂのものからスイツ
チ５ｃのものに切換えられると電子銃１から取り
出される電子線電流値が更に減少するようにその
出力電圧が切換わるように構成されている。尚、
このバイアス電源よりの出力電圧は、各径の絞り
が電子線通路に配置された際に、検出される信号
によつて陰極線管の蛍光面が損傷を受けない程度
に電子線電流値を減じるように予め設定されてい
る。
このような構成において、最初に絞り板２の開
口径２ａが電子線通路上に配置されている状態か
ら、開口径２ａに代え、開口径２ｃが電子線通路
上に配置されるように移動機構３を操作する。こ
れに伴い、絞りを通過する電子線は増大するはず
であるが、この時、バイアス電源６にスイツチ２
ａに代えてスイツチ２ｃからオン信号が送られる
ため、バイアス電源１２より出力電圧は負側によ
り大きな値となり、電子銃１より取り出される電
子線電流値は２段階減少する。そのため、試料に
照射される電子線は陰極線管の蛍光面に損傷を与
える程増大することはなく、この蛍光面の損傷を
防止することができる。
口径２ａが電子線通路上に配置されている状態か
ら、開口径２ａに代え、開口径２ｃが電子線通路
上に配置されるように移動機構３を操作する。こ
れに伴い、絞りを通過する電子線は増大するはず
であるが、この時、バイアス電源６にスイツチ２
ａに代えてスイツチ２ｃからオン信号が送られる
ため、バイアス電源１２より出力電圧は負側によ
り大きな値となり、電子銃１より取り出される電
子線電流値は２段階減少する。そのため、試料に
照射される電子線は陰極線管の蛍光面に損傷を与
える程増大することはなく、この蛍光面の損傷を
防止することができる。
尚、上述した実施例は本考案の一実施例に過ぎ
ず、絞り板の絞りの開口径を切換えるための手段
や、スイツチ等は実施例のものに限定されるもの
ではない。
ず、絞り板の絞りの開口径を切換えるための手段
や、スイツチ等は実施例のものに限定されるもの
ではない。
上述した説明から明らかなように、本考案にお
いては、絞り径切換手段により絞りの開口径が増
大するように切換えられる際に前記電子銃から取
り出される電子線が減少するように前記バイアス
電源の出力電圧を前記切換手段による切換に連動
して切換えるための手段を備えるようにしたた
め、電子線通路に配置される絞りの径を増大させ
た場合にも、試料に照射される電子線電流値を陰
極線管の蛍光面に損傷を与えない許容範囲内のも
のにできるため、極線管画面の損傷を防止し得る
電子顕微鏡が提供できる。
いては、絞り径切換手段により絞りの開口径が増
大するように切換えられる際に前記電子銃から取
り出される電子線が減少するように前記バイアス
電源の出力電圧を前記切換手段による切換に連動
して切換えるための手段を備えるようにしたた
め、電子線通路に配置される絞りの径を増大させ
た場合にも、試料に照射される電子線電流値を陰
極線管の蛍光面に損傷を与えない許容範囲内のも
のにできるため、極線管画面の損傷を防止し得る
電子顕微鏡が提供できる。
又、本考案においては、試料に照射される電子
線電流値の制御を電子銃のバイアス電源の出力電
圧を切換えることによつて行つているため、集束
レンズの励磁電流値を制御する場合等と異なり、
前記電子線電流値を減じるための制御の方向が倍
率や観察モード等の光学モードの変化に左右され
ずに一定であるため、制御を簡単に行うことがで
きる。
線電流値の制御を電子銃のバイアス電源の出力電
圧を切換えることによつて行つているため、集束
レンズの励磁電流値を制御する場合等と異なり、
前記電子線電流値を減じるための制御の方向が倍
率や観察モード等の光学モードの変化に左右され
ずに一定であるため、制御を簡単に行うことがで
きる。
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図で
ある。 １：電子銃、１ａ：陰極、１ｂ：ウエーネルト
電極、２：絞り、２ａ，２ｂ，２ｃ：絞り板の開
口、３：絞り板の移動機構、４：溝、５ａ，５
ｂ，５ｃ：スイツチ、６：バイアス電源。
ある。 １：電子銃、１ａ：陰極、１ｂ：ウエーネルト
電極、２：絞り、２ａ，２ｂ，２ｃ：絞り板の開
口、３：絞り板の移動機構、４：溝、５ａ，５
ｂ，５ｃ：スイツチ、６：バイアス電源。
Claims (1)
- 電子銃と、該電子銃のバイアス電源と、集束レ
ンズの絞りの開口径を切換えるための手段を備え
た電子顕微鏡において、該絞り径切換手段により
前記開口径が増大するように切換えられる際に前
記電子銃から取り出される電子線が減少するよう
に前記バイアス電源の出力電圧を前記切換手段に
よる切換に連動して切換えるための手段を備える
ことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13292982U JPS5941852U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13292982U JPS5941852U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5941852U JPS5941852U (ja) | 1984-03-17 |
| JPH0227494Y2 true JPH0227494Y2 (ja) | 1990-07-25 |
Family
ID=30300028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13292982U Granted JPS5941852U (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5941852U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5854463A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-31 | Fujitsu Ltd | シ−ケンシヤルアクセスフアイルの駆動方式 |
-
1982
- 1982-09-01 JP JP13292982U patent/JPS5941852U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5854463A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-31 | Fujitsu Ltd | シ−ケンシヤルアクセスフアイルの駆動方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5941852U (ja) | 1984-03-17 |
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