JPS6129059A - 試料像表示装置 - Google Patents
試料像表示装置Info
- Publication number
- JPS6129059A JPS6129059A JP14755884A JP14755884A JPS6129059A JP S6129059 A JPS6129059 A JP S6129059A JP 14755884 A JP14755884 A JP 14755884A JP 14755884 A JP14755884 A JP 14755884A JP S6129059 A JPS6129059 A JP S6129059A
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- JP
- Japan
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- sample
- detector
- display device
- image display
- signal
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005264 electron capture Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は試料像表示装置に係り、特に、複数の２次電子
検出器を備えた走査形電子顕微鏡に好適な試料像表示装
置に関する。
検出器を備えた走査形電子顕微鏡に好適な試料像表示装
置に関する。
以下は、走査形電子顕微鏡について説明する。
従来、複数の検出器を備えた走査形電子顕微鏡は、観察
試料の位置によって、試料より発生する情報信号を検出
する検出器を手動で切換えて、観察試料像が最適になる
ようになっているため、試料位置が不明であるときは、
最適な検出器を選択するのに時間がかかり、また、焦点
調整を行なうのが困難であるといつだ欠点があった。
試料の位置によって、試料より発生する情報信号を検出
する検出器を手動で切換えて、観察試料像が最適になる
ようになっているため、試料位置が不明であるときは、
最適な検出器を選択するのに時間がかかり、また、焦点
調整を行なうのが困難であるといつだ欠点があった。
本発明の目的は、複数の検出器を持つ走査形電子顕微鏡
の２次電子検出器を、試料の位置に対応して、あるいは
、試料からの像信号が最大となるように自動的に選択し
、質の良い試料像及び操作性の向上を提供することにあ
る。
の２次電子検出器を、試料の位置に対応して、あるいは
、試料からの像信号が最大となるように自動的に選択し
、質の良い試料像及び操作性の向上を提供することにあ
る。
従来、検出器の選択は試料像を観察しながら、検出器を
９り換え、それぞれの像を比較して検出器を選択してい
た。これは像質の比較、つまり、試料から発生する像信
号が最大となるように選択していたことになる。また、
像信号の強度は、試料と検出器の位置に関係しており、
像信号の最大値（最適な試料像が得られる像信号）が得
られる検出器は、試料位置を検出して、検出器を選択し
ても良い。
９り換え、それぞれの像を比較して検出器を選択してい
た。これは像質の比較、つまり、試料から発生する像信
号が最大となるように選択していたことになる。また、
像信号の強度は、試料と検出器の位置に関係しており、
像信号の最大値（最適な試料像が得られる像信号）が得
られる検出器は、試料位置を検出して、検出器を選択し
ても良い。
以下、本発明の一実施例を走査形電子顕微鏡の２次電子
像について示す。
像について示す。
第１図において、試料２から出る２次電子３は検出器Ｉ
５．検出器１１６．検出器■７．検出器■８のうちの１
つを通って電気信号に変換され、ビデアンプ１０によっ
て増幅されて観察用ブラウン管１２の制御信号となる。
５．検出器１１６．検出器■７．検出器■８のうちの１
つを通って電気信号に変換され、ビデアンプ１０によっ
て増幅されて観察用ブラウン管１２の制御信号となる。
検出器１５〜検出器■８の選択は、試料位置検出器４よ
りの信号により、スイッチ切換制御装置１１が検出器切
換スイッチ９を切換えて行なう。試料位置の検出は、試
料ステージの位置を機械的寸たは電気的に検出あるいは
、対物レンズに流す電流値等により検出可能である。
りの信号により、スイッチ切換制御装置１１が検出器切
換スイッチ９を切換えて行なう。試料位置の検出は、試
料ステージの位置を機械的寸たは電気的に検出あるいは
、対物レンズに流す電流値等により検出可能である。
第２図は、２次電子検出器に印加する高電圧を試料位置
に対応して切換える実施例を示す。
に対応して切換える実施例を示す。
２次電子検出器１４および２次電子検出器１５は、対物
レンズ２２の上部と下部に位置し、夫々の出力はライト
ガイド１８で加算され、光電子増倍管１９に入力され、
その出力をビデオアンプ１０に出力する。ここでスイッ
チ１６およびスイッチ１７は２次電子捕捉用高電圧電源
２１の出力を切り換えるものである。試料２が対物レン
ズ２２の内部にある場合２′には、２次電子検出器１４
の出力は不用なものであるためスイッチ１７を「開」の
状態にして電子の捕捉効率を落とし、スイッチ１６を「
閉」の状態にして電子の捕捉効率を上げる。試料２が対
物レンズ２２の下面にあ検出装置１３（対物レンズ電流
により検出）の信号によりスイッチ１６．スイッチ１７
の制御を行なう。
レンズ２２の上部と下部に位置し、夫々の出力はライト
ガイド１８で加算され、光電子増倍管１９に入力され、
その出力をビデオアンプ１０に出力する。ここでスイッ
チ１６およびスイッチ１７は２次電子捕捉用高電圧電源
２１の出力を切り換えるものである。試料２が対物レン
ズ２２の内部にある場合２′には、２次電子検出器１４
の出力は不用なものであるためスイッチ１７を「開」の
状態にして電子の捕捉効率を落とし、スイッチ１６を「
閉」の状態にして電子の捕捉効率を上げる。試料２が対
物レンズ２２の下面にあ検出装置１３（対物レンズ電流
により検出）の信号によりスイッチ１６．スイッチ１７
の制御を行なう。
第３図は、２次電子検出器の選択を試料２からの情報信
号が最大となるようにする実施例を示す。
号が最大となるようにする実施例を示す。
操作者が、１次電子線１を試料２照射を開始すると、ス
イッチ制御装置２０は、初めに、２次電子検出器１４の
捕捉効率を上げるようにスイッチ１７を「閉」スイッチ
１６を１開」にする。それ故、試料２からの情報信号の
大部分は、２次電子検出器１４によって検出され、ライ
トガイド１８、光電子増倍管１９をへてビデオアンプ１
０に入力される。ビデオアンプの出力は、ブラウン管の
制御信号になるとともに、情報信号記憶回路２３に入力
され、２次電子検出器１４の捕捉効率が高い場合の情報
信号とスイッチ１６．１７の状態を記憶する。次に、２
次電子検出器１５の捕捉効率を上げるように、スイッチ
制御装置２０はスイッチ１６を「閉」スイッチ１７を「
開」にする。それ故、試料２からの情報信号の大部分は
２次電子検出器１５によって検出され、上記と同様に、
試料２の情報信号とスイッチ１６．１７の状態は情報信
号記憶装置２３に入力される。それぞれの検出器による
試料２からの情報信号の記憶が完了すると、ビデオ信号
比較器２４は、試料２からの情報信号が最大になった場
合の状態を情報信号記憶装置２３より検出し、試料２よ
りの情報信号が大きい２次電子検出器に、２次電子捕捉
用高電圧電源２１の電圧が印加されるように、スイッチ
制御装置２０を制御する。
イッチ制御装置２０は、初めに、２次電子検出器１４の
捕捉効率を上げるようにスイッチ１７を「閉」スイッチ
１６を１開」にする。それ故、試料２からの情報信号の
大部分は、２次電子検出器１４によって検出され、ライ
トガイド１８、光電子増倍管１９をへてビデオアンプ１
０に入力される。ビデオアンプの出力は、ブラウン管の
制御信号になるとともに、情報信号記憶回路２３に入力
され、２次電子検出器１４の捕捉効率が高い場合の情報
信号とスイッチ１６．１７の状態を記憶する。次に、２
次電子検出器１５の捕捉効率を上げるように、スイッチ
制御装置２０はスイッチ１６を「閉」スイッチ１７を「
開」にする。それ故、試料２からの情報信号の大部分は
２次電子検出器１５によって検出され、上記と同様に、
試料２の情報信号とスイッチ１６．１７の状態は情報信
号記憶装置２３に入力される。それぞれの検出器による
試料２からの情報信号の記憶が完了すると、ビデオ信号
比較器２４は、試料２からの情報信号が最大になった場
合の状態を情報信号記憶装置２３より検出し、試料２よ
りの情報信号が大きい２次電子検出器に、２次電子捕捉
用高電圧電源２１の電圧が印加されるように、スイッチ
制御装置２０を制御する。
本発明によれば、複数個ある検出器の中から、最適な検
出器を自動的に選択するので、検出器を選ぶ時間が無く
なり、操作性が大幅に向上するといった効果がある。
出器を自動的に選択するので、検出器を選ぶ時間が無く
なり、操作性が大幅に向上するといった効果がある。
第１図は試料の位置に対応して検出器が自動的に選択さ
れる場合のブロック図、第２図は試料の位置に対応して
２次電子捕捉用高電圧が切り換わる場合のブロック図、
第３図は試料よりの情報信号が最大となるように検出器
に印加される２次電子捕捉用高電圧が切り換わる場合の
ブロック図を示す。 １・・・１次電子線、２・・・試料、３・・・２次電子
、４・・・試料位置検出器、５・・・検出器Ｉ、 ６・
・・検出器■、７・・・検出器ＩＩＩ、８・・・検出器
■、９・・・検出器切換スイッチ、１０・・・ビデオア
ンプ、１１・・・スイッチ切換制御装置、１２・・・ブ
ラウン管、１３・・・試料位置検出装置、１４・・・２
次電子検出器、１５・・・２次電子検出器、１６・・・
スイッチ、１７・・・スイッチ、】８・・・ライトガイ
ド、１９・・・光電子増倍管、２０・・・スイッチ制御
装置、２１・・・２次電子捕捉用高電圧電源、２２・・
・対物レンズ、２３・・・情報信号記憶装置、２４・・
・ビデオ信号比較器。
れる場合のブロック図、第２図は試料の位置に対応して
２次電子捕捉用高電圧が切り換わる場合のブロック図、
第３図は試料よりの情報信号が最大となるように検出器
に印加される２次電子捕捉用高電圧が切り換わる場合の
ブロック図を示す。 １・・・１次電子線、２・・・試料、３・・・２次電子
、４・・・試料位置検出器、５・・・検出器Ｉ、 ６・
・・検出器■、７・・・検出器ＩＩＩ、８・・・検出器
■、９・・・検出器切換スイッチ、１０・・・ビデオア
ンプ、１１・・・スイッチ切換制御装置、１２・・・ブ
ラウン管、１３・・・試料位置検出装置、１４・・・２
次電子検出器、１５・・・２次電子検出器、１６・・・
スイッチ、１７・・・スイッチ、】８・・・ライトガイ
ド、１９・・・光電子増倍管、２０・・・スイッチ制御
装置、２１・・・２次電子捕捉用高電圧電源、２２・・
・対物レンズ、２３・・・情報信号記憶装置、２４・・
・ビデオ信号比較器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、収束された電子ビームで試料表面を走査することに
より、前記試料から得られる情報信号を検出器を複数備
えた試料像表示装置において、前記試料の位置を検出す
る手段を備え、前記試料からの情報信号を検出する最適
な検出器を前記試料の位置に対応して自動的に選択する
ことを特徴とする試料像表示装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の試料像表示装置にお
いて、情報信号が２次電子であり、検出器が２次電子検
出器である試料像表示装置において、該２次電子検出器
に２次電子に取込むための電圧を前記試料位置に対応し
て自動的に切換えることを特徴とする試料像表示装置。 ３、特許請求の範囲第２項に記載の試料像表示装置にお
いて、前記検出器に印加する電圧を切換える手段と、前
記検出器よりの情報信号を記憶させる手段と、その信号
を自動的に比較する手段を備えた試料像表示装置におい
て、前記試料からの信号が最大となる検出器を自動的に
選択することを特徴とする試料像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14755884A JPS6129059A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 試料像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14755884A JPS6129059A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 試料像表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6129059A true JPS6129059A (ja) | 1986-02-08 |
Family
ID=15433053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14755884A Pending JPS6129059A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 試料像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6129059A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008147176A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| WO2010084860A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
| US9223243B2 (en) | 2012-05-24 | 2015-12-29 | Konica Minolta, Inc. | Charging device and image forming apparatus including the same |
-
1984
- 1984-07-18 JP JP14755884A patent/JPS6129059A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008147176A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| WO2010084860A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
| KR101243422B1 (ko) * | 2009-01-22 | 2013-03-13 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 전자 현미경 |
| JP5372020B2 (ja) * | 2009-01-22 | 2013-12-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
| US8947520B2 (en) | 2009-01-22 | 2015-02-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope |
| US9223243B2 (en) | 2012-05-24 | 2015-12-29 | Konica Minolta, Inc. | Charging device and image forming apparatus including the same |
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