JPS5853468B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5853468B2 JPS5853468B2 JP53004039A JP403978A JPS5853468B2 JP S5853468 B2 JPS5853468 B2 JP S5853468B2 JP 53004039 A JP53004039 A JP 53004039A JP 403978 A JP403978 A JP 403978A JP S5853468 B2 JPS5853468 B2 JP S5853468B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- lens
- mode
- focusing
- switching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡のフォーカシング装置に関する
。
。
走査電子顕微鏡にむいては、一般に複数段の電子レンズ
を用いて試料上に照射する電子線を集束させているが観
察目的に応じて異った電子光学系を用いることがある。
を用いて試料上に照射する電子線を集束させているが観
察目的に応じて異った電子光学系を用いることがある。
第１図乃至第３図は同一装置を用いて得られるこの様な
異なった電子光学系を示す略図である。
異なった電子光学系を示す略図である。
第１図は高倍率、高分解能の走査像観察に用いられる電
子光学系（Ｈモード）を表わしてお・す、第１電子レン
ズ１０強度（励磁）は最も強く保たれ、電子銃２から発
生する電子線３を第１電子レンズ１の近傍４に集束させ
ている。
子光学系（Ｈモード）を表わしてお・す、第１電子レン
ズ１０強度（励磁）は最も強く保たれ、電子銃２から発
生する電子線３を第１電子レンズ１の近傍４に集束させ
ている。
そのため、第２電子レンズ５に入射する電子線量は低く
なるホ第２電子レンズによって試料６上に結像する電子
銃２のクロスオーバー像の縮少率を大きくすることがで
きる。
なるホ第２電子レンズによって試料６上に結像する電子
銃２のクロスオーバー像の縮少率を大きくすることがで
きる。
第２図は、通常の観察状態（Ｍモード）を示すもので、
第１図の光学系と比較して第１電子レンズの励磁が弱い
ため、第２電子レンズ５へ入射する電子線量も多く試料
から発生する信号量も多くなるが、試料上に集束する電
子線の断面径は第１図の場合に比較して大きくなる。
第１図の光学系と比較して第１電子レンズの励磁が弱い
ため、第２電子レンズ５へ入射する電子線量も多く試料
から発生する信号量も多くなるが、試料上に集束する電
子線の断面径は第１図の場合に比較して大きくなる。
第３図は、凹凸の激しい試料を出来るだけ低倍率で観察
しようとするときに用いられる電子光学系（Ｌモード）
であり、焦点深度を深くするため、第２電子レンズの励
磁を零として第１電子レンズのみ使用している。
しようとするときに用いられる電子光学系（Ｌモード）
であり、焦点深度を深くするため、第２電子レンズの励
磁を零として第１電子レンズのみ使用している。
そのため第１図及び第２図においては第２電子レンズ５
がフォーカシングレンズとして使用されていたのに対し
て第３図に動いては第１電子レンズがフォーカシングレ
ンズとして使用される。
がフォーカシングレンズとして使用されていたのに対し
て第３図に動いては第１電子レンズがフォーカシングレ
ンズとして使用される。
所で、上記各観察モードにおいては、試料交換等によっ
て試料６の位置が変化する毎に、フォーカシングレンズ
の励磁を調整して電子線を正しく試料上にフォーカスさ
せる必要がある。
て試料６の位置が変化する毎に、フォーカシングレンズ
の励磁を調整して電子線を正しく試料上にフォーカスさ
せる必要がある。
又、試料６の観察領域を変化させずに観察モードの切り
換えを行った場合にも新たにフォーカシングレンズの励
磁調整を行う必要があった。
換えを行った場合にも新たにフォーカシングレンズの励
磁調整を行う必要があった。
本発明は各観察モードの切り換えに伴う、フォーカシン
グレンズの再調整を殆んど不要とするための装置を提供
することを目的とするものである。
グレンズの再調整を殆んど不要とするための装置を提供
することを目的とするものである。
第４図は本発明の一実施例装置を示す略図であり、各観
察モードは連動した二つの切換スイッチＳ１．Ｓ２の端
子Ｈ，Ｍ、Ｌに切換えることによりＨモード、Ｍモード
、Ｌモードが得られる。
察モードは連動した二つの切換スイッチＳ１．Ｓ２の端
子Ｈ，Ｍ、Ｌに切換えることによりＨモード、Ｍモード
、Ｌモードが得られる。
スイッチＳ１．Ｓ２がＨモードに接続された状態ででは
基準電源Ｔの出力信号が増幅器８により増幅され、第１
電子レンズ１を強く励磁する。
基準電源Ｔの出力信号が増幅器８により増幅され、第１
電子レンズ１を強く励磁する。
一方Ｈモードでは基準電源９の出力を分圧するポテンシ
ョメータＴ３の出力が増幅器１０に増幅された後第２電
子レンズ５に供給される。
ョメータＴ３の出力が増幅器１０に増幅された後第２電
子レンズ５に供給される。
同様に、Ｍモードでは基準電源１１の出力に基づいて電
子レンズ１が励磁され、基準電源１２の出力を分圧する
ポテンショメータＴ２の出力によって電子レンズ５が励
磁される。
子レンズ１が励磁され、基準電源１２の出力を分圧する
ポテンショメータＴ２の出力によって電子レンズ５が励
磁される。
又、Ｌモードでは電子レンズ５へ供給される励磁電流は
零となり電子レンズ１へは基準電源１３の出力を分圧す
るポテンショメータＴ１ の出力に基づく励磁電流によ
って励磁される。
零となり電子レンズ１へは基準電源１３の出力を分圧す
るポテンショメータＴ１ の出力に基づく励磁電流によ
って励磁される。
該実施例装置においてはポテンショメータＴ１゜Ｔ２
、Ｔ３が互いに連動されてかり、各ポテンショメータの
出力信号が各モードに釦ける電子線の集束位置が略一致
するように構成されている。
、Ｔ３が互いに連動されてかり、各ポテンショメータの
出力信号が各モードに釦ける電子線の集束位置が略一致
するように構成されている。
従っていずれかのモードにおいて正してフォーカシング
を行ってむくことにより、観察モードを切り換えても略
正しいフォーカシング状態の走査像を観察することがで
きる。
を行ってむくことにより、観察モードを切り換えても略
正しいフォーカシング状態の走査像を観察することがで
きる。
従来は、フォーカシング用のポテンショメータＴ１ 、
Ｔ２ 、Ｔ３は互いに独立に操作されていたため、ある
モード状態でフォーカシング操作を行っていても、他の
モードに切換えた場合に得られる走査像は全くフォーカ
スの合っていない像であるため、フォーカシング操作を
行うための時間に長時間を費やしていた。
Ｔ２ 、Ｔ３は互いに独立に操作されていたため、ある
モード状態でフォーカシング操作を行っていても、他の
モードに切換えた場合に得られる走査像は全くフォーカ
スの合っていない像であるため、フォーカシング操作を
行うための時間に長時間を費やしていた。
しかし乍ら、本発明に釦いては、観察モードの切換によ
って生じる走査像のフォーカスずれは殆んど生じないた
め走査電子顕微鏡の操作性を著るしく改善することにな
る。
って生じる走査像のフォーカスずれは殆んど生じないた
め走査電子顕微鏡の操作性を著るしく改善することにな
る。
伺、第４図に示す実施例装置以外にも第５図及び第６図
に示す様な実施例装置を示すことができる。
に示す様な実施例装置を示すことができる。
第５図の装置はＨモードに共通に使用されるポテンショ
メータＴ４に印加される電圧を基準電源１４，１５を切
換える切換スイッチＳ２によって行う構成が第４図の装
置と異なっている。
メータＴ４に印加される電圧を基準電源１４，１５を切
換える切換スイッチＳ２によって行う構成が第４図の装
置と異なっている。
第６図の実施例装置はコンピューター制御を行う場合等
に使用されるもので、フォーカシング操作つ１みからの
信号を発生するフォーカシング信号発生器１６と各観察
モードの切換信号を発生するモード切換回路１７が設け
られて触り、その出力信号は各レンズの制御回路１８，
１９に印加される。
に使用されるもので、フォーカシング操作つ１みからの
信号を発生するフォーカシング信号発生器１６と各観察
モードの切換信号を発生するモード切換回路１７が設け
られて触り、その出力信号は各レンズの制御回路１８，
１９に印加される。
各制御回路には二つの入力信号の組み合わせによって決
する励磁電流値が予じめ記憶されており、入力信号に応
じた励磁電流値を読み出して励磁信号を発生するように
構成されている。
する励磁電流値が予じめ記憶されており、入力信号に応
じた励磁電流値を読み出して励磁信号を発生するように
構成されている。
従ってこの装置を用いても第４図又は第５図に示す実施
例装置と全く同じ効果が得られる。
例装置と全く同じ効果が得られる。
第１図乃至第３図は複数電子レンズを用いた走査電子顕
微鏡の異った電子光学系を示す略図、第４図乃至第６図
は夫々本発明の実施例装置を示す略図である。 １．５・・・電子レンズ、２・・・電子銃、６・・・試
料、１６・・・フォーカシング信号発生回路、１７・・
・モード切換回路、１８．１９・・・制御回路。
微鏡の異った電子光学系を示す略図、第４図乃至第６図
は夫々本発明の実施例装置を示す略図である。 １．５・・・電子レンズ、２・・・電子銃、６・・・試
料、１６・・・フォーカシング信号発生回路、１７・・
・モード切換回路、１８．１９・・・制御回路。
Claims (1)
- １ 複数段の電子レンズを用いて電子銃からの電子線を
試料に細く集束させるための電子光学系と、観察モード
の切換によって前記複数の電子レンズのいずれかをフォ
ーカシング用電子レンズとして切換ると共に各電子レン
ズ強度の切換を行うモード切換手段を設けた装置にち・
いて、いずれかの観察モードにち−いてフォーカシング
操作を行ってかくことにより、前記モード切換手段によ
るフォーカシング用電子レンズの切換に拘わらず前記電
子線のフォーカス位置が一定に保たれるようにフォーカ
シング用電子レンズの強度を変化させる手段を設けたこ
とを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53004039A JPS5853468B2 (ja) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53004039A JPS5853468B2 (ja) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5497358A JPS5497358A (en) | 1979-08-01 |
| JPS5853468B2 true JPS5853468B2 (ja) | 1983-11-29 |
Family
ID=11573804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53004039A Expired JPS5853468B2 (ja) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5853468B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH019331Y2 (ja) * | 1982-05-25 | 1989-03-14 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59109061U (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-23 | 日立精工株式会社 | 電子ビ−ム溶接装置 |
| JPH0616409B2 (ja) * | 1986-11-13 | 1994-03-02 | 株式会社トプコン | 走査電子顕微鏡 |
| JP2012018812A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-01-26 | Keyence Corp | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5286355A (en) * | 1976-01-13 | 1977-07-18 | Toshiba Corp | System for three-dimensionally locating segment of line |
-
1978
- 1978-01-18 JP JP53004039A patent/JPS5853468B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5286355A (en) * | 1976-01-13 | 1977-07-18 | Toshiba Corp | System for three-dimensionally locating segment of line |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH019331Y2 (ja) * | 1982-05-25 | 1989-03-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5497358A (en) | 1979-08-01 |
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