JP3112527B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡に係り、特
に透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）において電子顕微鏡像
と、回折像とを観察するための結像系レンズの構成及び
その動作に関する。
に透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）において電子顕微鏡像
と、回折像とを観察するための結像系レンズの構成及び
その動作に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＥＭにおいては、試料の拡大像である
電子顕微鏡像を観察するモード（以下、像観察モードと
称す）と、対物レンズ（ＯＬ）の後焦点面に結像される
電子線回折像（以下、単に回折像と称す）を結像系レン
ズによりスクリーンに投影して観察するモード（以下、
このモードを回折像観察モードと称す）があり、特に後
者は制限視野回折法と称されている。像観察モード時及
び回折像観察モード時の結像系レンズの動作の概略を図
３に示す。なお、図中、１は試料、２は対物絞り、３は
視野制限絞り、４はスクリーン、ＯＬは対物レンズ、Ｉ
Ｌ1 は第１中間レンズ、ＩＬ2 は第２中間レンズ、ＰＬ
は投影レンズを示す。
電子顕微鏡像を観察するモード（以下、像観察モードと
称す）と、対物レンズ（ＯＬ）の後焦点面に結像される
電子線回折像（以下、単に回折像と称す）を結像系レン
ズによりスクリーンに投影して観察するモード（以下、
このモードを回折像観察モードと称す）があり、特に後
者は制限視野回折法と称されている。像観察モード時及
び回折像観察モード時の結像系レンズの動作の概略を図
３に示す。なお、図中、１は試料、２は対物絞り、３は
視野制限絞り、４はスクリーン、ＯＬは対物レンズ、Ｉ
Ｌ1 は第１中間レンズ、ＩＬ2 は第２中間レンズ、ＰＬ
は投影レンズを示す。
【０００３】図３Ａは像観察モード時の結像系レンズの
動作を示す図であるが、このとき対物絞り２は電子顕微
鏡像のコントラストを向上させるために挿入され、視野
制限絞り３は取り外される。また電子線は所望の明るさ
が得られるように収束されている。
動作を示す図であるが、このとき対物絞り２は電子顕微
鏡像のコントラストを向上させるために挿入され、視野
制限絞り３は取り外される。また電子線は所望の明るさ
が得られるように収束されている。
【０００４】さて、電子線が試料１に照射されると、対
物絞り２の位置、即ちＯＬの後焦点面には回折像が結像
されると共に、視野制限絞り３の位置には電子顕微鏡像
が結像される。そして、第１中間レンズＩＬ1 は当該視
野制限絞り３の位置に結像される電子顕微鏡像を物面と
して所定の位置に電子顕微鏡像を結像し、以下、当該電
子顕微鏡像は第２中間レンズＩＬ2 ，投影レンズＲＬに
より拡大されてスクリーン４上に結像される。
物絞り２の位置、即ちＯＬの後焦点面には回折像が結像
されると共に、視野制限絞り３の位置には電子顕微鏡像
が結像される。そして、第１中間レンズＩＬ1 は当該視
野制限絞り３の位置に結像される電子顕微鏡像を物面と
して所定の位置に電子顕微鏡像を結像し、以下、当該電
子顕微鏡像は第２中間レンズＩＬ2 ，投影レンズＲＬに
より拡大されてスクリーン４上に結像される。
【０００５】図３Ｂは回折像観察モード時の結像系レン
ズの動作を示す図であり、このとき対物絞り２は取り外
され、視野制限絞り３は挿入されている。また電子線
は、回折像の中心のスポットによりスクリーン４が焼き
付いてしまうことを防止するために、広い照射領域とな
される。そして、第１中間レンズＩＬ1 は対物絞り２の
位置に結像されている回折像を物面として所定の位置に
回折像を結像し、以下、当該回折像は第２中間レンズＩ
Ｌ2 ，投影レンズＲＬにより拡大されてスクリーン４上
に結像される。
ズの動作を示す図であり、このとき対物絞り２は取り外
され、視野制限絞り３は挿入されている。また電子線
は、回折像の中心のスポットによりスクリーン４が焼き
付いてしまうことを防止するために、広い照射領域とな
される。そして、第１中間レンズＩＬ1 は対物絞り２の
位置に結像されている回折像を物面として所定の位置に
回折像を結像し、以下、当該回折像は第２中間レンズＩ
Ｌ2 ，投影レンズＲＬにより拡大されてスクリーン４上
に結像される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、金属等の結
晶性を有する試料を観察する場合には像観察モードと回
折像観察モードとを頻繁に切り替える必要があり、電子
顕微鏡像の写真と、当該電子顕微鏡像と同一視野の回折
像の写真の一対の写真を撮影するためには20〜30回程度
モードの切り替えを行っているのが通常である。そし
て、上述したところから明らかなように、モードを切り
替える度毎に対物絞りの挿入あるいは取り外し、視野制
限絞りの挿入あるいは取り外し、及び電子線の収束状態
の切り替えという操作を行わなければならないので非常
に操作が煩わしいものであった。
晶性を有する試料を観察する場合には像観察モードと回
折像観察モードとを頻繁に切り替える必要があり、電子
顕微鏡像の写真と、当該電子顕微鏡像と同一視野の回折
像の写真の一対の写真を撮影するためには20〜30回程度
モードの切り替えを行っているのが通常である。そし
て、上述したところから明らかなように、モードを切り
替える度毎に対物絞りの挿入あるいは取り外し、視野制
限絞りの挿入あるいは取り外し、及び電子線の収束状態
の切り替えという操作を行わなければならないので非常
に操作が煩わしいものであった。
【０００７】また、上述したように電子顕微鏡像を観察
する場合には対物絞りは欠くことのできないものである
が、近年の分解能が非常に高いＴＥＭにおいてはＯＬの
ポールピースのギャップは数ｍｍ程度と小さいので対物
絞りをポールピース内に配置することは非常に困難であ
り、更にその位置をＯＬの後焦点面に合わせることは殆
ど不可能であるので、良好な電子顕微鏡像が得られない
という問題があった。本発明は、上記の課題を解決する
ものであって、対物絞りを配置できない電子顕微鏡にお
いても電子顕微鏡像及び回折像の双方を良好に観察する
ことができるばかりでなく、像観察モードと回折像観察
モードとの切り替えを容易に行うことができる電子顕微
鏡を提供することを目的とするものである。
する場合には対物絞りは欠くことのできないものである
が、近年の分解能が非常に高いＴＥＭにおいてはＯＬの
ポールピースのギャップは数ｍｍ程度と小さいので対物
絞りをポールピース内に配置することは非常に困難であ
り、更にその位置をＯＬの後焦点面に合わせることは殆
ど不可能であるので、良好な電子顕微鏡像が得られない
という問題があった。本発明は、上記の課題を解決する
ものであって、対物絞りを配置できない電子顕微鏡にお
いても電子顕微鏡像及び回折像の双方を良好に観察する
ことができるばかりでなく、像観察モードと回折像観察
モードとの切り替えを容易に行うことができる電子顕微
鏡を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の電子顕微鏡は、対物レンズと、前記対物
レンズの像面の近傍に配置され、且つ対物レンズ後焦点
面に結像される回折像を物面として当該回折像を視野制
限絞りの位置に結像する第１レンズと、像観察モード時
においては前記対物レンズの像面を物面とし、回折像観
察モード時においては前記第１レンズにより視野制限絞
りの位置に結像された回折像を物面とするように励磁さ
れる第２レンズとを少なくとも備えることを特徴とす
る。
めに、本発明の電子顕微鏡は、対物レンズと、前記対物
レンズの像面の近傍に配置され、且つ対物レンズ後焦点
面に結像される回折像を物面として当該回折像を視野制
限絞りの位置に結像する第１レンズと、像観察モード時
においては前記対物レンズの像面を物面とし、回折像観
察モード時においては前記第１レンズにより視野制限絞
りの位置に結像された回折像を物面とするように励磁さ
れる第２レンズとを少なくとも備えることを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】対物レンズの像面の近傍には第１レンズが配置
されている。この第１レンズは常時対物レンズ後焦点面
に結像される回折像を物面として当該回折像を視野制限
絞りの位置に結像する。また、第１レンズの後段には第
２レンズが配置されている。この第２レンズは、像観察
モード時には対物レンズの像面を物面とし、回折像観察
モード時には第１レンズにより視野制限絞りの位置に結
像された回折像を物面とするように励磁される。従っ
て、像観察モード時には対物レンズの像面に結像されて
いる電子顕微鏡像が第２レンズ及びその後段のレンズに
よりスクリーン上に拡大投影され、回折像観察モード時
には、第１レンズにより視野制限絞りの位置に結像され
た回折像が第２レンズ及びその後段のレンズによりスク
リーン上に拡大投影される。
されている。この第１レンズは常時対物レンズ後焦点面
に結像される回折像を物面として当該回折像を視野制限
絞りの位置に結像する。また、第１レンズの後段には第
２レンズが配置されている。この第２レンズは、像観察
モード時には対物レンズの像面を物面とし、回折像観察
モード時には第１レンズにより視野制限絞りの位置に結
像された回折像を物面とするように励磁される。従っ
て、像観察モード時には対物レンズの像面に結像されて
いる電子顕微鏡像が第２レンズ及びその後段のレンズに
よりスクリーン上に拡大投影され、回折像観察モード時
には、第１レンズにより視野制限絞りの位置に結像され
た回折像が第２レンズ及びその後段のレンズによりスク
リーン上に拡大投影される。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係る電子顕微鏡の一実施例の構成を示す
図であり、図中、ＯＬは対物レンズ、ＭＬはミニレン
ズ、ＩＬ1 は第１中間レンズ、１０は電子銃、１２は視
野制限絞り、１３はスクリーン、１４は制御装置、１５
はモード設定部、１６は電子銃駆動部、１８はＭＬ駆動
部、１９は視野制限絞り駆動部、２０は偏向コイル、２
１は偏向コイル駆動部、２２はＯＬ駆動部、２３は第１
中間レンズ駆動部、３０は試料を示す。なお、図１にお
いては照射系レンズ及び第１中間レンズＩＬ1 の後段に
配置される第２中間レンズ、投影レンズ等は本発明の本
質には関係ないので省略している。
図１は本発明に係る電子顕微鏡の一実施例の構成を示す
図であり、図中、ＯＬは対物レンズ、ＭＬはミニレン
ズ、ＩＬ1 は第１中間レンズ、１０は電子銃、１２は視
野制限絞り、１３はスクリーン、１４は制御装置、１５
はモード設定部、１６は電子銃駆動部、１８はＭＬ駆動
部、１９は視野制限絞り駆動部、２０は偏向コイル、２
１は偏向コイル駆動部、２２はＯＬ駆動部、２３は第１
中間レンズ駆動部、３０は試料を示す。なお、図１にお
いては照射系レンズ及び第１中間レンズＩＬ1 の後段に
配置される第２中間レンズ、投影レンズ等は本発明の本
質には関係ないので省略している。
【００１１】図１において、ミニレンズＭＬは、第１中
間レンズＩＬ1 及びその後段の結像系レンズによる軸外
収差を小さく抑えるために、対物レンズＯＬの像面の近
傍に配置されている。ここではミニレンズＭＬの主面は
対物レンズＯＬの像面に一致しているものとする。そし
て、ミニレンズＭＬには常時一定の駆動電流が供給さ
れ、対物レンズＯＬの後焦点面に形成される回折像を物
面とし、視野制限絞り１２を像面とするように駆動され
る。
間レンズＩＬ1 及びその後段の結像系レンズによる軸外
収差を小さく抑えるために、対物レンズＯＬの像面の近
傍に配置されている。ここではミニレンズＭＬの主面は
対物レンズＯＬの像面に一致しているものとする。そし
て、ミニレンズＭＬには常時一定の駆動電流が供給さ
れ、対物レンズＯＬの後焦点面に形成される回折像を物
面とし、視野制限絞り１２を像面とするように駆動され
る。
【００１２】また、第１中間レンズＩＬ1 は、像観察モ
ード時には対物レンズＯＬの像面を物面とし、回折像観
察モード時にはミニレンズＭＬの像面を物面とし、それ
ぞれ所定の位置に結像するように駆動される。そしてこ
の第１中間レンズＩＬ1 により結像された像は、図示し
ない第２中間レンズ、投影レンズ等によりスクリーン１
３に拡大して結像される。
ード時には対物レンズＯＬの像面を物面とし、回折像観
察モード時にはミニレンズＭＬの像面を物面とし、それ
ぞれ所定の位置に結像するように駆動される。そしてこ
の第１中間レンズＩＬ1 により結像された像は、図示し
ない第２中間レンズ、投影レンズ等によりスクリーン１
３に拡大して結像される。
【００１３】偏向コイル２０は電子線をスクリーン１３
上に照射しないようにするためのブランキング手段とし
て配置されているものである。モード設定部１５は像観
察モードと回折像観察モードとの切り替えを行うもので
あり、ボタンスイッチ等の適宜のスイッチ類で構成され
る。また、制御装置１４はマイクロプロセッサ及びその
周辺回路で構成されている。
上に照射しないようにするためのブランキング手段とし
て配置されているものである。モード設定部１５は像観
察モードと回折像観察モードとの切り替えを行うもので
あり、ボタンスイッチ等の適宜のスイッチ類で構成され
る。また、制御装置１４はマイクロプロセッサ及びその
周辺回路で構成されている。
【００１４】さて、モード設定部１５により回折像観察
モードが指示されたときには、制御装置１４は、電子銃
駆動部１６に対しては電子線照射領域を広くすることを
指示し、視野制限絞り駆動部１９に対しては視野制限絞
り１２を光軸上から外すことを指示し、第１中間レンズ
駆動部２３に対してはミニレンズＭＬの像面、即ち視野
制限絞り１２の位置を物面とするための励磁電流の発生
を指示する。
モードが指示されたときには、制御装置１４は、電子銃
駆動部１６に対しては電子線照射領域を広くすることを
指示し、視野制限絞り駆動部１９に対しては視野制限絞
り１２を光軸上から外すことを指示し、第１中間レンズ
駆動部２３に対してはミニレンズＭＬの像面、即ち視野
制限絞り１２の位置を物面とするための励磁電流の発生
を指示する。
【００１５】これによって電子銃１０から放射される電
子線は所定の状態、例えば予め定められた回折像に適切
な照射角になるようになされ、視野制限絞り１２は光軸
上から外され、第１中間レンズＩＬ1 には所定の励磁電
流が供給される。なおこのとき制御装置１４は、ＯＬ駆
動部２２に対しては所定の励磁電流、即ち予め定められ
た励磁電流またはオペレータによって設定されたレンズ
条件を満足するための励磁電流の発生を指示し、またＭ
Ｌ駆動部１８に対しては所定の定められた励磁電流の発
生を指示するので、対物レンズＯＬ及びミニレンズＭＬ
にはそれぞれ所定の励磁電流が供給されるものである。
従って、このときには図２Ａに示すように、対物レンズ
ＯＬの後焦点面Ｐに形成されている回折像がミニレンズ
ＭＬにより視野制限絞り１２の位置に結像され、この像
が第１中間レンズＩＬ1 及びその後段のレンズによりス
クリーン１３上に拡大投影される。
子線は所定の状態、例えば予め定められた回折像に適切
な照射角になるようになされ、視野制限絞り１２は光軸
上から外され、第１中間レンズＩＬ1 には所定の励磁電
流が供給される。なおこのとき制御装置１４は、ＯＬ駆
動部２２に対しては所定の励磁電流、即ち予め定められ
た励磁電流またはオペレータによって設定されたレンズ
条件を満足するための励磁電流の発生を指示し、またＭ
Ｌ駆動部１８に対しては所定の定められた励磁電流の発
生を指示するので、対物レンズＯＬ及びミニレンズＭＬ
にはそれぞれ所定の励磁電流が供給されるものである。
従って、このときには図２Ａに示すように、対物レンズ
ＯＬの後焦点面Ｐに形成されている回折像がミニレンズ
ＭＬにより視野制限絞り１２の位置に結像され、この像
が第１中間レンズＩＬ1 及びその後段のレンズによりス
クリーン１３上に拡大投影される。
【００１６】これに対して、モード設定部１５により像
観察モードが指示されたときは、制御装置１４は、電子
銃駆動部１６に対しては電子線を収束させることを指示
し、視野制限絞り駆動部１９に対しては視野制限絞り１
２を光軸上に挿入することを指示し、第１中間レンズ駆
動部２３に対しては対物レンズＯＬの像面を物面とする
ための励磁電流の発生を指示する。これによって電子銃
１０から放射される電子線は所定の状態、例えばオペレ
ータによって設定された収束状態を満足するように収束
され、視野制限絞り１２は光軸上に挿入され、第１中間
レンズＩＬ1 には所定の励磁電流が供給される。なおこ
のとき制御装置１４は、ＯＬ駆動部２２に対しては所定
の励磁電流、即ち予め定められた励磁電流またはオペレ
ータによって設定されたレンズ条件を満足するための励
磁電流の発生を指示し、またＭＬ駆動部１８に対しては
所定の定められた励磁電流の発生を指示するので、対物
レンズＯＬ及びミニレンズＭＬにはそれぞれ所定の励磁
電流が供給されるものであることは当然である。
観察モードが指示されたときは、制御装置１４は、電子
銃駆動部１６に対しては電子線を収束させることを指示
し、視野制限絞り駆動部１９に対しては視野制限絞り１
２を光軸上に挿入することを指示し、第１中間レンズ駆
動部２３に対しては対物レンズＯＬの像面を物面とする
ための励磁電流の発生を指示する。これによって電子銃
１０から放射される電子線は所定の状態、例えばオペレ
ータによって設定された収束状態を満足するように収束
され、視野制限絞り１２は光軸上に挿入され、第１中間
レンズＩＬ1 には所定の励磁電流が供給される。なおこ
のとき制御装置１４は、ＯＬ駆動部２２に対しては所定
の励磁電流、即ち予め定められた励磁電流またはオペレ
ータによって設定されたレンズ条件を満足するための励
磁電流の発生を指示し、またＭＬ駆動部１８に対しては
所定の定められた励磁電流の発生を指示するので、対物
レンズＯＬ及びミニレンズＭＬにはそれぞれ所定の励磁
電流が供給されるものであることは当然である。
【００１７】従って、このときには図２Ｂに示すよう
に、図中Ｑで示す対物レンズＯＬの像面に結像されてい
る電子顕微鏡像が第１中間レンズＩＬ1 により所定の位
置にトランスファーされ、更に当該像がその後段のレン
ズによりスクリーン１３上に拡大投影される。なお、こ
のときミニレンズＭＬは後焦点面に形成されている回折
像を視野制限絞り１２の位置に結像するが、この回折像
は何等利用されないものである。
に、図中Ｑで示す対物レンズＯＬの像面に結像されてい
る電子顕微鏡像が第１中間レンズＩＬ1 により所定の位
置にトランスファーされ、更に当該像がその後段のレン
ズによりスクリーン１３上に拡大投影される。なお、こ
のときミニレンズＭＬは後焦点面に形成されている回折
像を視野制限絞り１２の位置に結像するが、この回折像
は何等利用されないものである。
【００１８】また、制御装置１４は、像観察モードから
回折像観察モードへの切り替えが行われる場合には、モ
ード切り替えが指示されたときから、電子銃１０、第１
中間レンズＩＬ1 等の状態が回折像観察モードのための
状態設定が完了するまで偏向コイル駆動部２１にブラン
キングを指示する。これにより偏向コイル２０には所定
の励磁電流が供給されるので、電子線は偏向され、スク
リーン１３には達しないので、モード切り替え時のスク
リーン１３上の像のちらつきを防止することができる。
回折像観察モードから像観察モードに切り替えられる場
合も同様である。
回折像観察モードへの切り替えが行われる場合には、モ
ード切り替えが指示されたときから、電子銃１０、第１
中間レンズＩＬ1 等の状態が回折像観察モードのための
状態設定が完了するまで偏向コイル駆動部２１にブラン
キングを指示する。これにより偏向コイル２０には所定
の励磁電流が供給されるので、電子線は偏向され、スク
リーン１３には達しないので、モード切り替え時のスク
リーン１３上の像のちらつきを防止することができる。
回折像観察モードから像観察モードに切り替えられる場
合も同様である。
【００１９】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例ではモード切
り替えは手動で行うものとしたが、制御装置１４により
自動的に所望の周期でモード切り替えを行わせることも
可能である。また、上記実施例ではブランキングのため
の手段として偏向コイルを用いるものとしたが、電子線
を遮断する部材を光軸上に挿入するようにしてもよいも
のであり、更に当該ブランキング手段は任意の位置に配
置することができるものである。また、上記実施例では
ミニレンズの主面は対物レンズＯＬの像面と一致してい
るものとしたが、本発明はこれに限定されるものではな
く結像系レンズによる軸外収差を小さくできる位置であ
ればよいものである。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例ではモード切
り替えは手動で行うものとしたが、制御装置１４により
自動的に所望の周期でモード切り替えを行わせることも
可能である。また、上記実施例ではブランキングのため
の手段として偏向コイルを用いるものとしたが、電子線
を遮断する部材を光軸上に挿入するようにしてもよいも
のであり、更に当該ブランキング手段は任意の位置に配
置することができるものである。また、上記実施例では
ミニレンズの主面は対物レンズＯＬの像面と一致してい
るものとしたが、本発明はこれに限定されるものではな
く結像系レンズによる軸外収差を小さくできる位置であ
ればよいものである。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、モード設定部１５によりモード切り替えを指
示するだけで容易に像観察モードと回折像観察モードと
を切り替えることができる。また、本発明においては視
野制限絞りが対物絞りの機能を果たすので、ギャップの
非常に小さいポールピースを用いる場合にも良好な電子
顕微鏡像を得ることができる。
によれば、モード設定部１５によりモード切り替えを指
示するだけで容易に像観察モードと回折像観察モードと
を切り替えることができる。また、本発明においては視
野制限絞りが対物絞りの機能を果たすので、ギャップの
非常に小さいポールピースを用いる場合にも良好な電子
顕微鏡像を得ることができる。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 図１に示す構成の動作を説明するための図で
ある。
ある。
【図３】 像観察モード時及び回折像観察モード時の結
像系レンズの動作の概略を示す図である。
像系レンズの動作の概略を示す図である。
ＯＬ…対物レンズ、ＭＬ…ミニレンズ、ＩＬ1 …第１中
間レンズ、１０…電子銃、１２…視野制限絞り、１３…
スクリーン、１４…制御装置、１５…モード設定部、１
６…電子銃駆動部、１８…ＭＬ駆動部、１９…視野制限
絞り駆動部、２０…偏向コイル、２１…偏向コイル駆動
部、２２…ＯＬ駆動部、２３…第１中間レンズ駆動部、
３０…試料。
間レンズ、１０…電子銃、１２…視野制限絞り、１３…
スクリーン、１４…制御装置、１５…モード設定部、１
６…電子銃駆動部、１８…ＭＬ駆動部、１９…視野制限
絞り駆動部、２０…偏向コイル、２１…偏向コイル駆動
部、２２…ＯＬ駆動部、２３…第１中間レンズ駆動部、
３０…試料。
Claims (1)
- 【請求項１】 対物レンズと、前記対物レンズの像面の
近傍に配置され、且つ対物レンズ後焦点面に結像される
回折像を物面として当該回折像を視野制限絞りの位置に
結像する第１レンズと、像観察モード時においては前記
対物レンズの像面を物面とし、回折像観察モード時にお
いては前記第１レンズにより視野制限絞りの位置に結像
された回折像を物面とするように励磁される第２レンズ
とを少なくとも備えることを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03298776A JP3112527B2 (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 電子顕微鏡 |
| US07/972,176 US5304801A (en) | 1991-11-14 | 1992-11-04 | Electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03298776A JP3112527B2 (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 電子顕微鏡 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05135727A JPH05135727A (ja) | 1993-06-01 |
| JP3112527B2 true JP3112527B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=17864070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03298776A Expired - Fee Related JP3112527B2 (ja) | 1991-11-14 | 1991-11-14 | 電子顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5304801A (ja) |
| JP (1) | JP3112527B2 (ja) |
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1992
- 1992-11-04 US US07/972,176 patent/US5304801A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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