JP2957610B2 - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
走査形電子顕微鏡Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、走査形電子顕微鏡に関し、特に第２コンデ
ンサーレンズを固定の永久磁石レンズで構成したことを
特徴とする走査形電子顕微鏡に関する。
ンサーレンズを固定の永久磁石レンズで構成したことを
特徴とする走査形電子顕微鏡に関する。
従来の走査形電子顕微鏡は一般に第1,第２コンデンサ
ーレンズ及び対物レンズが、いずれも電磁レンズで構成
されていた。
ーレンズ及び対物レンズが、いずれも電磁レンズで構成
されていた。
このような走査形電子顕微鏡は第２図に示すものであ
り、性能的には良いが、コスト的に高い。
り、性能的には良いが、コスト的に高い。
コスト的に有利な永久磁石を利用したもの自体は公知
であり、例えば特開昭51−105764号公報中にその例が記
載されている。
であり、例えば特開昭51−105764号公報中にその例が記
載されている。
第２図は従来最も一般的な走査形電子顕微鏡の構成を
簡略に示したものである。電子銃１より放出された電子
ビームは、図中の矢印のように進み、第１コンデンサー
レンズ２、第２コンデンサーレンズ３、対物レンズ４、
と段階的に絞られ、試料５に照射される。そこで発生し
た２次電子は二次電子検出器７で電気信号に変換され、
増幅器（偏向制御回路を含む）11を通してモニタCRT、
又はカメラ，プリンタ等の画像出力装置に出力される。
簡略に示したものである。電子銃１より放出された電子
ビームは、図中の矢印のように進み、第１コンデンサー
レンズ２、第２コンデンサーレンズ３、対物レンズ４、
と段階的に絞られ、試料５に照射される。そこで発生し
た２次電子は二次電子検出器７で電気信号に変換され、
増幅器（偏向制御回路を含む）11を通してモニタCRT、
又はカメラ，プリンタ等の画像出力装置に出力される。
６は偏向コイル、8,9および10は夫々第１コンデンサ
ーレンズ２、第２コンデサーレンズ３および対物レンズ
４の電源回路である。
ーレンズ２、第２コンデサーレンズ３および対物レンズ
４の電源回路である。
ここで走査形電子顕微鏡の像をモニタCRTで観察する
場合、速い走査速度、例えばテレビで走査することが好
ましい。しかしこの場合、電子ビーム電流を大とし信号
量を多くしないと、画面がざらついた像となる。また、
画像を記録する場合には、スロースキヤン（遅い走査速
度）でビーム電流を小さくすることで、解像度の良い画
像が得られる。このようなビーム電流の切換は、第１コ
ンデンサーレンズ２の電流を切換えることによつて可能
であり、加速電圧を固定した簡易型の走査形電子顕微鏡
では、第２コンデンサーレンズの電流は変更する必要が
ない。
場合、速い走査速度、例えばテレビで走査することが好
ましい。しかしこの場合、電子ビーム電流を大とし信号
量を多くしないと、画面がざらついた像となる。また、
画像を記録する場合には、スロースキヤン（遅い走査速
度）でビーム電流を小さくすることで、解像度の良い画
像が得られる。このようなビーム電流の切換は、第１コ
ンデンサーレンズ２の電流を切換えることによつて可能
であり、加速電圧を固定した簡易型の走査形電子顕微鏡
では、第２コンデンサーレンズの電流は変更する必要が
ない。
しかしながら、このような走査型電子顕微鏡では第１
コンデンサーレンズ、第２コンデンサーレンズは、ほぼ
同じ構成の電磁レンズが使用されており、各電磁レンズ
ごとにそれを駆動するための回路、電源が必要であり、
装置の構成が複雑になるという問題や、電磁レンズ自体
の価格も高価であるという問題があつた。
コンデンサーレンズ、第２コンデンサーレンズは、ほぼ
同じ構成の電磁レンズが使用されており、各電磁レンズ
ごとにそれを駆動するための回路、電源が必要であり、
装置の構成が複雑になるという問題や、電磁レンズ自体
の価格も高価であるという問題があつた。
又、永久磁石を使用した走査形電子顕微鏡は極めて単
純な機能のものに限られ、上述したような、走査速度を
変えて、観察目的に応じた観察等は望むべくもなかつ
た。
純な機能のものに限られ、上述したような、走査速度を
変えて、観察目的に応じた観察等は望むべくもなかつ
た。
本発明の目的は、装置の構成を単純化してコストダウ
ンを計ると共に、走査速度を変え観察目的に応じた操作
を簡易にすることができる走査形電子顕微鏡を提供する
ことにある。
ンを計ると共に、走査速度を変え観察目的に応じた操作
を簡易にすることができる走査形電子顕微鏡を提供する
ことにある。
上記目的を達成するために、本発明においては、第２
コンデンサーレンズを、永久磁石を用いたレンズで構成
し、第２コンデンサーレンズ全体を真空中に配置するよ
うに構成した。
コンデンサーレンズを、永久磁石を用いたレンズで構成
し、第２コンデンサーレンズ全体を真空中に配置するよ
うに構成した。
同時に走査速度の違いによる観察装置の切換に対応し
た、光学系の切換えは、第１コンデンサーレンズおよび
対物レンズによつて行うように構成した。
た、光学系の切換えは、第１コンデンサーレンズおよび
対物レンズによつて行うように構成した。
第２コンデンサーレンズを永久磁石を用いたレンズと
したことにより、電磁レンズに必要だつた電源回路が不
要となる。さらに走査速度の異なる観察装置の切換に対
応して、第１コンデンサーレンズは、その明るさを連動
して調整し、それによつて生ずる焦点距離の変化は対物
レンズが、試料に焦点を結ぶよう連動又はマニユアルで
調整する。このため、第２コンデンサーレンズに永久磁
石レンズを用いて固定にしても、機能的に低下すること
もなく、且つ、コスト的に有利となる走査形電子顕微鏡
を提供することができる。
したことにより、電磁レンズに必要だつた電源回路が不
要となる。さらに走査速度の異なる観察装置の切換に対
応して、第１コンデンサーレンズは、その明るさを連動
して調整し、それによつて生ずる焦点距離の変化は対物
レンズが、試料に焦点を結ぶよう連動又はマニユアルで
調整する。このため、第２コンデンサーレンズに永久磁
石レンズを用いて固定にしても、機能的に低下すること
もなく、且つ、コスト的に有利となる走査形電子顕微鏡
を提供することができる。
〔実施例〕 本発明は光学系に永久磁石レンズを用い、コスト上の
メリツトをもたせると共に、画像を観察する観察装置を
任意に選択し、試料に対するビーム電流（明るさ）の走
査速度が切替えられても適切に対応できるようにするた
め、コンデンサーレンズの１つは永久磁石レンズで構成
するが、他のコンデンサーレンズは電流可変とする電磁
レンズとすることにした。そこで、第１コンデンサーレ
ンズ，第２コンデンサーレンズのいずれを電磁レンズに
するか検討をしたところ次の様なことが判明した。
メリツトをもたせると共に、画像を観察する観察装置を
任意に選択し、試料に対するビーム電流（明るさ）の走
査速度が切替えられても適切に対応できるようにするた
め、コンデンサーレンズの１つは永久磁石レンズで構成
するが、他のコンデンサーレンズは電流可変とする電磁
レンズとすることにした。そこで、第１コンデンサーレ
ンズ，第２コンデンサーレンズのいずれを電磁レンズに
するか検討をしたところ次の様なことが判明した。
もし、第１コンデンサーレンズを永久磁石レンズによ
り固定として、第２コンデンサーレンズにより、走査速
度の切換に応じた電子ビームの明るさの切換を行うとそ
の光学系は第３図のごとくなる。そして、今、明るさを
決めるビーム電流を変えるために、第２コンデンサーレ
ンズの焦点距離を10mm図の点線のごとく変えると、試料
面でのピントのずれが光学系にもよるが0.1mm程度生ず
る。このずれはそれまで見えていた像の焦点が完全にず
れて見失う程のものである。
り固定として、第２コンデンサーレンズにより、走査速
度の切換に応じた電子ビームの明るさの切換を行うとそ
の光学系は第３図のごとくなる。そして、今、明るさを
決めるビーム電流を変えるために、第２コンデンサーレ
ンズの焦点距離を10mm図の点線のごとく変えると、試料
面でのピントのずれが光学系にもよるが0.1mm程度生ず
る。このずれはそれまで見えていた像の焦点が完全にず
れて見失う程のものである。
これに対し、第２コンデンサーレンズを固定し、第１
コンデンサーレンズの焦点距離を変え明るさを変えよう
とすると、その光学系は第４図のごとくなる。第３図と
同じ条件で第１コンデンサーレンズの焦点を10mm変えて
明るさを変えても、永久磁石レンズを用いる第２コンデ
ンサーレンズの出側における焦点距離のずれは0.1mmの
ずれとなり、更に対物レンズで縮小された試料上の焦点
距離のずれは１μｍ程度のずれとなる。これは、第３図
の場合に比較して極めて、焦点距離のずれが小さく、こ
の程度のずれは、対物レンズを微調整するだけでピント
を合わせることが出来る。このような考察に基づいて、
本発明においては、第１コンデンサーレンズは、走査速
度に見合つて、ビームの明るさ（ビーム電流）を変える
べく可変の電磁レンズとし、第２コンデンサーレンズに
永久磁石を用いることとした。
コンデンサーレンズの焦点距離を変え明るさを変えよう
とすると、その光学系は第４図のごとくなる。第３図と
同じ条件で第１コンデンサーレンズの焦点を10mm変えて
明るさを変えても、永久磁石レンズを用いる第２コンデ
ンサーレンズの出側における焦点距離のずれは0.1mmの
ずれとなり、更に対物レンズで縮小された試料上の焦点
距離のずれは１μｍ程度のずれとなる。これは、第３図
の場合に比較して極めて、焦点距離のずれが小さく、こ
の程度のずれは、対物レンズを微調整するだけでピント
を合わせることが出来る。このような考察に基づいて、
本発明においては、第１コンデンサーレンズは、走査速
度に見合つて、ビームの明るさ（ビーム電流）を変える
べく可変の電磁レンズとし、第２コンデンサーレンズに
永久磁石を用いることとした。
第１図は、以上の考察をもとに構成した本発明の走査
形電子顕微鏡の一実施例である。図において、第２図と
同一符号は同一物を示している。12は、第２図の第２コ
ンデンサーレンズに対応するものであるが、これを永久
磁石レンズで構成する。第１コンデンサーレンズ２は電
磁レンズを用い、その電流をスイツチ13により、複数段
階に切換可能に構成し、モニタCRT,カメラ，プリンタ等
の観察装置の違いに応じて偏向コイル６で行う走査の走
査速度が異なるので、観察装置に適した走査速度に対応
するようスイツチ13は切換えられる。ここで増幅器11は
二次電子検出器７からの電気信号を増幅する機能を有す
るものであるが、偏向コイル６を可変の所定の走査速度
で偏向制御する回路も含んでいる。すなわち、レンズ電
流大として、ビーム電流が小さくなるときは、走査速度
を遅くし、レンズ電流が小で電子ビーム大のときは速い
走査速度となるように設定する。例えば、２段階の切換
の場合、レンズ電流大で20秒のスロースキヤンとし、静
止画記録用のカメラ，プリンタ等の画像記録時に使用す
る。レンズ電流小の場合は、テレビスキヤンとし、モニ
タCRTによる像の観察に使用するよう観察装置をスイツ
チ14で選択するのに対応して、偏向コイル６の走査速度
が決められ、第１コンデンサーレンズ２の電流が調整さ
れる。さらにスイツチ13と、スイツチ14を連動すること
により、観察時と撮影時の切換を１つのスイツチで操作
することも可能である。
形電子顕微鏡の一実施例である。図において、第２図と
同一符号は同一物を示している。12は、第２図の第２コ
ンデンサーレンズに対応するものであるが、これを永久
磁石レンズで構成する。第１コンデンサーレンズ２は電
磁レンズを用い、その電流をスイツチ13により、複数段
階に切換可能に構成し、モニタCRT,カメラ，プリンタ等
の観察装置の違いに応じて偏向コイル６で行う走査の走
査速度が異なるので、観察装置に適した走査速度に対応
するようスイツチ13は切換えられる。ここで増幅器11は
二次電子検出器７からの電気信号を増幅する機能を有す
るものであるが、偏向コイル６を可変の所定の走査速度
で偏向制御する回路も含んでいる。すなわち、レンズ電
流大として、ビーム電流が小さくなるときは、走査速度
を遅くし、レンズ電流が小で電子ビーム大のときは速い
走査速度となるように設定する。例えば、２段階の切換
の場合、レンズ電流大で20秒のスロースキヤンとし、静
止画記録用のカメラ，プリンタ等の画像記録時に使用す
る。レンズ電流小の場合は、テレビスキヤンとし、モニ
タCRTによる像の観察に使用するよう観察装置をスイツ
チ14で選択するのに対応して、偏向コイル６の走査速度
が決められ、第１コンデンサーレンズ２の電流が調整さ
れる。さらにスイツチ13と、スイツチ14を連動すること
により、観察時と撮影時の切換を１つのスイツチで操作
することも可能である。
さらに、第１コンデンサーレンズ２の電流を切換える
とビーム電流が変化するため、像の明るさ及びコントラ
ストが変化する。そこで、コンデンサ電流に連動して増
幅器11のゲインを切換えるか、又は自動画像調整を動作
させることにより、常に一定の明るさ、コントラストで
の像観察，撮影も可能となる。
とビーム電流が変化するため、像の明るさ及びコントラ
ストが変化する。そこで、コンデンサ電流に連動して増
幅器11のゲインを切換えるか、又は自動画像調整を動作
させることにより、常に一定の明るさ、コントラストで
の像観察，撮影も可能となる。
又、同時に前記第１コンデンサーレンズの電流の切換
により試料５上に結ぶ電子ビームの焦点距離が変動する
ので、スイツチ14を切り換えて対物レンズの電流を調整
する。この対物レンズの電流切換えは、スイツチ14に連
動しても良いし、又、マニユアル操作しても良い。
により試料５上に結ぶ電子ビームの焦点距離が変動する
ので、スイツチ14を切り換えて対物レンズの電流を調整
する。この対物レンズの電流切換えは、スイツチ14に連
動しても良いし、又、マニユアル操作しても良い。
以上のごとく、本発明実施例によれば、第２コンデン
サーレンズに永久磁石レンズを用いるのでレンズそのも
のが安くなるのみならず、その駆動電源も不良となり、
コスト的に非常に効果が大きい。しかも観察装置の選択
による走査速度の変更に応じた明るさの調整も非常に容
易に行うことができる。
サーレンズに永久磁石レンズを用いるのでレンズそのも
のが安くなるのみならず、その駆動電源も不良となり、
コスト的に非常に効果が大きい。しかも観察装置の選択
による走査速度の変更に応じた明るさの調整も非常に容
易に行うことができる。
本発明は以上説明したように構成されているので、以
下に記載されるような効果を奏する。
下に記載されるような効果を奏する。
第２コンデンサーレンズを永久磁石レンズとしたこと
により、従来の電磁レンズに必要だつた、レンズ駆動用
電源回路が不要となり、コストを大幅に下げることがで
きる。また、観察装置に応じた明るさの調整も容易であ
り、操作性の簡略化を計ることができる。
により、従来の電磁レンズに必要だつた、レンズ駆動用
電源回路が不要となり、コストを大幅に下げることがで
きる。また、観察装置に応じた明るさの調整も容易であ
り、操作性の簡略化を計ることができる。
第１図は本発明の一実施例装置、第２図は本発明に関す
る従来例を示す図、第３図および第４図は、本発明の光
学系のメリツトを考察し説明するための図である。 １……電子銃、２……第１コンデンサーレンズ、３……
第２コンデンサーレンズ、４……対物レンズ、５……試
料、６……偏向コイル、７……二次電子検出器、８……
第１コンデンサーレンズ用電源回路、９……第２コンデ
ンサーレンズ用電源回路、10……対物レンズ用電源回
路、11……増幅器、12……永久磁石レンズ、13……励磁
切換スイツチ、14……切換スイツチ。
る従来例を示す図、第３図および第４図は、本発明の光
学系のメリツトを考察し説明するための図である。 １……電子銃、２……第１コンデンサーレンズ、３……
第２コンデンサーレンズ、４……対物レンズ、５……試
料、６……偏向コイル、７……二次電子検出器、８……
第１コンデンサーレンズ用電源回路、９……第２コンデ
ンサーレンズ用電源回路、10……対物レンズ用電源回
路、11……増幅器、12……永久磁石レンズ、13……励磁
切換スイツチ、14……切換スイツチ。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/00 - 37/36
Claims (10)
- 【請求項１】電子レンズからの電子ビームを順次第１コ
ンデンサーレンズ、第２コンデンサーレンズ及び対物レ
ンズを介して試料に収束させると共に偏向コイルにより
前記試料上を電子ビームが走査し、前記試料より発生す
る２次電子を検出して画像観察装置に導くよう構成した
走査形電子顕微鏡において、前記第１コンデンサーレン
ズを電磁レンズ、前記第２コンデンサーレンズを永久磁
石レンズにより構成し、前記偏向コイルの走査速度に応
じて前記第１コンデンサーレンズの電流を切り替えるこ
とを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 【請求項２】前記画像観察装置は複数の画像観察器から
なり、該画像観察器を選択するスイツチの切り替えに応
じて前記走査速度を選択し、同時に前記第１コンデンサ
ーレンズの電流を切り替えを行う構成の請求項第１項記
載の走査形電子顕微鏡。 - 【請求項３】前記走査速度に応じて前記２次電子を検出
する系のゲインを調整する機構を備えた請求項第１項記
載の走査形電子顕微鏡。 - 【請求項４】前記の２次電子を検出して画像観察装置に
導く間に増幅器をもうけ、該増幅器により前記ゲインの
調整を行う構成の請求項第３項記載の走査形電子顕微
鏡。 - 【請求項５】前記走査速度に応じて前記対物レンズの焦
点を調整する機構を備えた請求項第１項記載の走査形電
子顕微鏡。 - 【請求項６】電子レンズからの電子ビームを順次第１コ
ンデンサーレンズ、第２コンデンサーレンズ及び対物レ
ンズを介して試料に収束させると共に偏向コイルにより
前記試料上を電子ビームが走査し、前記試料より発生す
る２次電子を検出して複数の画像観察器からなる画像観
察装置に導くよう構成した走査形電子顕微鏡において、
前記第１コンデンサーレンズを電磁レンズ、前記第２コ
ンデンサーレンズを永久磁石レンズにより構成し、前記
画像観察器の選択に応じて前記偏向コイルの走査速度を
選択すると共に前記第１コンデンサーレンズの電流を切
り替えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 【請求項７】前記画像観察器の選択に応じて前記２次電
子を検出する系のゲインを調整する機構を備えた請求項
第６項記載の走査形電子顕微鏡。 - 【請求項８】前記の２次電子を検出して画像観察装置に
導く間に増幅器をもうけ、該増幅器により前記ゲインの
調整を行う構成の請求項第７項記載の走査形電子顕微
鏡。 - 【請求項９】画像観察器の選択に応じて前記対物レンズ
の焦点を調節する機構を備えた請求項第６項記載の走査
形電子顕微鏡。 - 【請求項１０】電子レンズからの電子ビームを順次第１
コンデンサーレンズ、第２コンデンサーレンズ及び対物
レンズを介して試料に収束させると共に偏向コイルによ
り前記試料上を電子ビームが走査し、前記試料より発生
する２次電子を検出し増幅器を介して複数の画像観察器
からなる画像観察装置に導くよう構成した走査形電子顕
微鏡において、前記第１コンデンサーレンズを電磁レン
ズ、前記第２コンデンサーレンズを永久磁石レンズによ
り構成し、前記画像観察器の選択に応じて前記偏向コイ
ルの走査速度、前記第１コンデンサーレンズの電流、前
記増幅器のゲイン及び前記対物レンズの焦点を切り替え
ることを特徴とする走査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27570889A JP2957610B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27570889A JP2957610B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03138841A JPH03138841A (ja) | 1991-06-13 |
| JP2957610B2 true JP2957610B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=17559262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27570889A Expired - Fee Related JP2957610B2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2957610B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101118692B1 (ko) * | 2006-10-11 | 2012-03-12 | 전자빔기술센터 주식회사 | 자기 렌즈층을 포함한 전자 칼럼 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1026006C2 (nl) * | 2004-04-22 | 2005-10-25 | Fei Co | Deeltjes-optisch apparaat voorzien van lenzen met permanent magnetisch materiaal. |
| CN101461026B (zh) | 2006-06-07 | 2012-01-18 | Fei公司 | 与包含真空室的装置一起使用的滑动轴承 |
| CN102668013B (zh) * | 2009-11-26 | 2015-05-27 | 株式会社日立高新技术 | 扫描电子显微镜 |
-
1989
- 1989-10-23 JP JP27570889A patent/JP2957610B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101118692B1 (ko) * | 2006-10-11 | 2012-03-12 | 전자빔기술센터 주식회사 | 자기 렌즈층을 포함한 전자 칼럼 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03138841A (ja) | 1991-06-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |