JPS586267B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPS586267B2
JPS586267B2 JP52056169A JP5616977A JPS586267B2 JP S586267 B2 JPS586267 B2 JP S586267B2 JP 52056169 A JP52056169 A JP 52056169A JP 5616977 A JP5616977 A JP 5616977A JP S586267 B2 JPS586267 B2 JP S586267B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
electron beam
scanning
objective lens
electron
Prior art date
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Expired
Application number
JP52056169A
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English (en)
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JPS53140963A (en
Inventor
山本敏行
渡辺栄一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Nihon Denshi KK
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Publication date
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Publication of JPS53140963A publication Critical patent/JPS53140963A/ja
Publication of JPS586267B2 publication Critical patent/JPS586267B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は走査電子顕微鏡の改良に関する。
一般に走査電子顕微鏡においては種々の観察が行なわれ
る。
例えば結晶性試料の反射電子像を観察することにより格
子歪を調べることがある。
ところで、従来の走査電子顕微鏡においては例えば対物
レンズの上方の焦点平面上の一点で走査電子線が交叉す
るように走査用電子偏向器を配置することによって、試
料に入射する電子線の入射角が試料に対する入射点が変
化しても変化しないようにしている。
しかしながら、このような従来装置においては、電子ビ
ームを最終段終束レンズ（以下対物レンズと称す）によ
って絞った状態（いいかえれば開き角の大きな電子ビー
ム）で試料を照射せしめている。
このため結晶性試料の任意の点に入射する電子ビーム束
を考えて見ると、この点に入射する電子線の入射の向き
は完全には同一でなく、ある幅を有している。
このため、入射した電子はさまざまな方向に反射するの
でその反射電子を検出しても充分なコントラストを得る
ことができず、従って格子歪の有無を十分判別すること
ができない。
本発明は斯様な不都合を解決するこ七を目的とするもの
で、以下図面に示した実施例に基づき詳説する。
図面は本発明の一実施例を示す光学的略図で、１は電子
銃であり、該電子銃から発生した電子ビームは集束レン
ズ２及び対物レンズ３によって細く集束されて試料４上
を照射する。
このとき集束レンズ２の焦点距離が対物レンズ３の前焦
点５の位置に十分小さいクロスオーバー像を結像するよ
うに調整されているため、対物レンズ３を通過する電子
ビームは平行となる。
（クロスオーバー像が小さくなれば、平行度は良くなる
が、入射電流もそれに応じて少なくなるので、実際には
有限なクロスオーバー像を用いる）又前記対物レンズ３
の前焦点面５ａには偏向コイル６が置かれている。
しかして該偏向コイル６に図示外の走査電源より走査電
流を供給することによって電子ビームを偏向せしめれば
同図中一点鎖線でその状態を示すように平行電子ビーム
は試料４上を走査する０このとき対物レンズ３の前焦点
５を中心にして電子ビームを偏向せしめているため、平
行ビームの試料５に対する入射角は一定に保たれる０従
って該平行電子ビームの走査に基づき試料から発生する
反射電子や２次電子線等を図示外の検出器にて検出し、
その出力信号を前記偏向コイル６と同期した陰極線管に
導入することにより走査像を得ることができる。
尚試料４上における平行電子ビームの径は集束レンズ２
の絞り７の穴径によって決定される。
この場合絞り７は集束レンズ７内に設置する必要はない
。
，斯くすることにより本発明においては試料上を、
入射角が一定に保たれた平行電子ビームによって走査せ
しめることができるため、結晶性試料の反射電子像を観
際する際、格子歪によるブラック条件のずれに基づいて
反射電子の反射方向が格子歪の有る場所と無い場所とで
異なるので、特定位置に設けられた検出器に入射する反
射電子量が変化する。
従って検出器からの出力信号を陰極線管に導入せしめれ
ば格子歪の有無に応じた明暗をもつ反射電子像が充分な
コントラストで得られる。
その結果結晶性試料における格子歪の状態を鮮明に観察
することができ、実用性大なる効果を有する。
尚前述の説明は本発明の例示であり、実施にあたっでは
幾多の変形が考えられる。
例えば対物レンズの前焦点面の位置に１段の偏向コイル
を設置したが、これに限定されることなく、２段の偏向
コイルを集束レンズと対物レンズの前焦点との間に設置
し、第２段目の偏向コイルにより電子ビームが対物レン
ズの前焦点を通過するように構成してもよい。
又対物レンズと試料との間に２段の偏向コイルを設置し
てもよい。
この場合電子ビームを偏向せしめる際この電子ビームの
試料に対する入射角が常に一定になるように第１と第２
段目の偏向コイルを連動させる必要があることは言うま
でもない。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示す光学的略図である。 図において、１は電子銃、２は集束レンズ、３は対物レ
ンズ、４は試料、５は対物レンズの前焦点、６は偏向コ
イル、７は絞りである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 電子銃と試料との間に少なくとも２段の集束レンズ
    を設けた装置において、前記試料に最も近く置かれた集
    束レンズの前焦点面位置にその前段に置かれた集束レン
    ズによるクロスオーバー像を結像させることにより平行
    な電子ビームを試料に照射し、該平行電子ビームの試料
    に対する入射角を一定に保ちながら試料上を走査させる
    ための偏向手段を設けた事を特徴とする走査電子顕微鏡
    。
JP52056169A 1977-05-16 1977-05-16 走査電子顕微鏡 Expired JPS586267B2 (ja)

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JPS53140963A JPS53140963A (en) 1978-12-08
JPS586267B2 true JPS586267B2 (ja) 1983-02-03

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6388750U (ja) * 1986-11-29 1988-06-09

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5820098B2 (ja) * 1977-06-15 1983-04-21 株式会社日立製作所 電子線偏向走査装置
JPS5912553A (ja) * 1982-07-12 1984-01-23 Jeol Ltd 電子線装置

Family Cites Families (2)

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JPS5091252A (ja) * 1973-12-12 1975-07-21
JPS5424262A (en) * 1977-07-26 1979-02-23 Minoru Nakamura Method of making metal granules

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JPS6388750U (ja) * 1986-11-29 1988-06-09

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JPS53140963A (en) 1978-12-08

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