JPH0233843A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- JPH0233843A JPH0233843A JP63183623A JP18362388A JPH0233843A JP H0233843 A JPH0233843 A JP H0233843A JP 63183623 A JP63183623 A JP 63183623A JP 18362388 A JP18362388 A JP 18362388A JP H0233843 A JPH0233843 A JP H0233843A
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- JP
- Japan
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- scanning
- stage
- scanning electron
- optical axis
- lens
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 24
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N13/00—Stereoscopic video systems; Multi-view video systems; Details thereof
- H04N13/20—Image signal generators
- H04N13/275—Image signal generators from 3D object models, e.g. computer-generated stereoscopic image signals
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N13/00—Stereoscopic video systems; Multi-view video systems; Details thereof
- H04N13/20—Image signal generators
- H04N13/204—Image signal generators using stereoscopic image cameras
- H04N13/254—Image signal generators using stereoscopic image cameras in combination with electromagnetic radiation sources for illuminating objects
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N13/00—Stereoscopic video systems; Multi-view video systems; Details thereof
- H04N13/20—Image signal generators
- H04N13/286—Image signal generators having separate monoscopic and stereoscopic modes
-
- H—ELECTRICITY
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- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N13/00—Stereoscopic video systems; Multi-view video systems; Details thereof
- H04N13/20—Image signal generators
- H04N13/296—Synchronisation thereof; Control thereof
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は走査電子顕微鏡、特に走査電子線を試料上で傾
斜してステレオＨａするのに好適な走査電子顕微鏡に関
する。
斜してステレオＨａするのに好適な走査電子顕微鏡に関
する。
走査電子線を傾斜させる通常の方法は、特開昭５８−１
４７９４８号公報に記載されているように、大口径対物
レンズの軸外に平行−次電子線を入射させるものである
。
４７９４８号公報に記載されているように、大口径対物
レンズの軸外に平行−次電子線を入射させるものである
。
しかし、そのような技術は、ビームを試料上で大角度に
傾斜することに関してはすぐれているが、大口径対物レ
ンズを使用する必要と、−成型子線を平行にして対物レ
ンズに入射する必要があるため、以下の問題点を生じる
。
傾斜することに関してはすぐれているが、大口径対物レ
ンズを使用する必要と、−成型子線を平行にして対物レ
ンズに入射する必要があるため、以下の問題点を生じる
。
一般に対物レンズの穴径を大きくすると、球面収差係数
Ｃ３は小さくなる傾向を示すが色収差係数Ｃｃは逆に急
激に大きくなる。これは、同一試料位置に対して、対物
レンズの穴径を大きくすると、対物レンズの磁界分布の
範囲が広がり、結果として対物レンズの焦点距離が長く
なるために生じる。
Ｃ３は小さくなる傾向を示すが色収差係数Ｃｃは逆に急
激に大きくなる。これは、同一試料位置に対して、対物
レンズの穴径を大きくすると、対物レンズの磁界分布の
範囲が広がり、結果として対物レンズの焦点距離が長く
なるために生じる。
一方、走査電子顕微鏡の分解能は、球面収差係数Ｃｓに
対しては１／４乗（Ｃｓｌ／’）に比例し、色収差係数
Ｃｃに対しては１／２乗（Ｃｓ”／”）に比例して悪く
なる。即ち、球面収差係数Ｃｓが多少小さくなっても、
分解能はほとんど向上しないのに対して、色収差係数Ｃ
ｃが大きくなると、分解能は急激に悪くなることを示し
ている。従って、走査電子顕微鏡の基本性能をできるだ
け良くするには、大口径対物レンズは得策とは言えない
。
対しては１／４乗（Ｃｓｌ／’）に比例し、色収差係数
Ｃｃに対しては１／２乗（Ｃｓ”／”）に比例して悪く
なる。即ち、球面収差係数Ｃｓが多少小さくなっても、
分解能はほとんど向上しないのに対して、色収差係数Ｃ
ｃが大きくなると、分解能は急激に悪くなることを示し
ている。従って、走査電子顕微鏡の基本性能をできるだ
け良くするには、大口径対物レンズは得策とは言えない
。
第２点として、前記通常の技術では、ビームを大角度に
傾斜して、しかも非点収差の発生を小さくするために、
対物レンズに入射させる一次電子線は平行ビームにしな
ければならない。ところが、通常の走査電子顕微鏡では
、−成型子線の照射電流を変えたり、光学系の縮小率を
変えることが必要となるために、電子線を少なくとも一
度は、集束レンズで焦束させなければならず、従って、
前記通常の技術では、通常の走査電子顕微鏡の光学系に
、平行ビーム用の集束レンズを更に追加して配置しなけ
ればならない問題点がある。
傾斜して、しかも非点収差の発生を小さくするために、
対物レンズに入射させる一次電子線は平行ビームにしな
ければならない。ところが、通常の走査電子顕微鏡では
、−成型子線の照射電流を変えたり、光学系の縮小率を
変えることが必要となるために、電子線を少なくとも一
度は、集束レンズで焦束させなければならず、従って、
前記通常の技術では、通常の走査電子顕微鏡の光学系に
、平行ビーム用の集束レンズを更に追加して配置しなけ
ればならない問題点がある。
第３点として、前記通常の技術の実施例では、−成型子
線の走査は全て一段の偏向器である。周知の通り、走査
電子顕微鏡では、通常、対物レンズの電子源側に走査用
の偏向器を設けて、走査像の歪を最少にするために、対
物レンズのほぼ主面近傍を支点とする様に一次電子線を
走査するのが理想的である。このためには、偏向器は少
なくとも二段必要である。従って、前記通常の技術では
。
線の走査は全て一段の偏向器である。周知の通り、走査
電子顕微鏡では、通常、対物レンズの電子源側に走査用
の偏向器を設けて、走査像の歪を最少にするために、対
物レンズのほぼ主面近傍を支点とする様に一次電子線を
走査するのが理想的である。このためには、偏向器は少
なくとも二段必要である。従って、前記通常の技術では
。
−段偏向による一次電子線の走査によって、特に低倍率
時の像が大きく歪む問題がある。また、成型子線の傾斜
角変化に対する像ずれ等、ステレオ像観察に関しては、
はとんど考慮されていない。
時の像が大きく歪む問題がある。また、成型子線の傾斜
角変化に対する像ずれ等、ステレオ像観察に関しては、
はとんど考慮されていない。
本発明の目的は、ビーム傾斜するために、特別に大口径
の対物レンズを使用せず、また、対物レンズに入射する
一次電子線を平行にしなくても、ビームを試料上で傾斜
して走査することができ、しかも、低倍率時における走
査像の歪を最小に抑えて、試料を傾斜せずにステレオ像
をｗＡ察することができる走査電子顕微鏡を提供するこ
とにある。
の対物レンズを使用せず、また、対物レンズに入射する
一次電子線を平行にしなくても、ビームを試料上で傾斜
して走査することができ、しかも、低倍率時における走
査像の歪を最小に抑えて、試料を傾斜せずにステレオ像
をｗＡ察することができる走査電子顕微鏡を提供するこ
とにある。
本発明によれば、最終段対物レンズより電子源側に２段
の走査用偏向器と２段の光軸制御用偏向器が配置される
。２段の走査用偏向器は走査電子線の支点が最終段対物
レンズの主面又はその近傍に位置する如く制御され、２
段の光軸制御用偏向器は走査電子線の中心軸（光軸）が
最終段対物レンズの物点を支点として偏向される如く制
御される。
の走査用偏向器と２段の光軸制御用偏向器が配置される
。２段の走査用偏向器は走査電子線の支点が最終段対物
レンズの主面又はその近傍に位置する如く制御され、２
段の光軸制御用偏向器は走査電子線の中心軸（光軸）が
最終段対物レンズの物点を支点として偏向される如く制
御される。
以上のように、２段の走査用偏向器は走査電子線を最終
段対物レンズの主面又はその近傍にある点を支点として
走査する様に働き、２段の光軸制御用偏向器は走査電子
線の中心軸（光軸）を最終段対物レンズの物点を支点と
して偏向する様に働く。
段対物レンズの主面又はその近傍にある点を支点として
走査する様に働き、２段の光軸制御用偏向器は走査電子
線の中心軸（光軸）を最終段対物レンズの物点を支点と
して偏向する様に働く。
したがって、本発明によれば、前述した本発明の目的が
達成される。
達成される。
第１図〜第４図を用いて本発明を説明する。第１図にお
いて、電子源１から放出した一次電子線は、集束レンズ
２により一度集束され９の位置にクロスオーバを作る。
いて、電子源１から放出した一次電子線は、集束レンズ
２により一度集束され９の位置にクロスオーバを作る。
９の位置は対物レンズ６の物点となり、９の位置でクロ
スした一次電子線は対物レンズ絞り３で制限され、対物
レンズ６で試料７上に再度集束される。一方、走査用の
２段の偏向器４ａ及び４ｂによって、対物レンズ主面１
１又はその近傍の点１０を支点とする様に一次電子線が
走査される。このため、低倍率時の像歪は最小に抑えら
れる。この状態で、第２図に示す様に、光軸制御用に配
置した２段の偏向器５ａ及び５ｂに直流信号を流し、−
法定子線の中心軌道（光軸）を対物レンズ６の物点９を
支点とする様に偏向すると、試料７上では、−法定子線
８の中心位置は変わらずに、−法定子線８がθだけ傾斜
される。
スした一次電子線は対物レンズ絞り３で制限され、対物
レンズ６で試料７上に再度集束される。一方、走査用の
２段の偏向器４ａ及び４ｂによって、対物レンズ主面１
１又はその近傍の点１０を支点とする様に一次電子線が
走査される。このため、低倍率時の像歪は最小に抑えら
れる。この状態で、第２図に示す様に、光軸制御用に配
置した２段の偏向器５ａ及び５ｂに直流信号を流し、−
法定子線の中心軌道（光軸）を対物レンズ６の物点９を
支点とする様に偏向すると、試料７上では、−法定子線
８の中心位置は変わらずに、−法定子線８がθだけ傾斜
される。
この様に対物レンズ６の物点９を支点として偏向器５ａ
及び５ｂで軌道を偏向し、更に走査用偏向器４ａ及び４
ｂで対物レンズ主面又はその近傍を支点とする様に一次
電子線８を走査すると、第３図の点線で示す様な走査軌
道となり、この様な走査にすることで、低倍率時におい
ても走査像の歪が少なく、しかも走査ビームを傾斜する
ことができる。
及び５ｂで軌道を偏向し、更に走査用偏向器４ａ及び４
ｂで対物レンズ主面又はその近傍を支点とする様に一次
電子線８を走査すると、第３図の点線で示す様な走査軌
道となり、この様な走査にすることで、低倍率時におい
ても走査像の歪が少なく、しかも走査ビームを傾斜する
ことができる。
本発明の考え方で傾斜できる実用的な角度は、対物レン
ズ下部に試料を配置するタイプの走査電子顕微鏡で±１
０°程度、対物レンズ磁極間に試料を配置するインレン
ズタイプの走査電子顕微鏡で±１５°程度までであるが
、通常のステレオ像観察には、±５°〜±１０°までの
傾斜角で充分であるため、本発明で充分ステレオ像ａｌ
１１ｍができる。
ズ下部に試料を配置するタイプの走査電子顕微鏡で±１
０°程度、対物レンズ磁極間に試料を配置するインレン
ズタイプの走査電子顕微鏡で±１５°程度までであるが
、通常のステレオ像観察には、±５°〜±１０°までの
傾斜角で充分であるため、本発明で充分ステレオ像ａｌ
１１ｍができる。
第４図はステレオ像観察のための走査電子顕微鏡の主要
部の構成を示すものである。ステレオ像ｗＡ奈では、異
なる傾斜角で一次電子線を走査する必要があり、この傾
斜角の設定は第４図の傾斜角度設定用可変抵抗器１８及
び１９の電圧調整により行なえる。傾斜角度切換スイッ
チ１７は、傾斜角度設定用可変抵抗器１８．１９で設定
した電圧を切換えて、試料７上での一次電子線８の傾斜
角度の切り換えを行なう。この切換えに対する像のずれ
をなくするには、交流発生器１６をスイッチ１５をＯＮ
することで加算器１４に加え、交流信号によって走査像
の中心が動かない様に、光軸制御用の偏向器４ｂへの信
号量を可変抵抗１３で調整すればよい、なお、１２ａ、
１２ｂは増幅器である。
部の構成を示すものである。ステレオ像ｗＡ奈では、異
なる傾斜角で一次電子線を走査する必要があり、この傾
斜角の設定は第４図の傾斜角度設定用可変抵抗器１８及
び１９の電圧調整により行なえる。傾斜角度切換スイッ
チ１７は、傾斜角度設定用可変抵抗器１８．１９で設定
した電圧を切換えて、試料７上での一次電子線８の傾斜
角度の切り換えを行なう。この切換えに対する像のずれ
をなくするには、交流発生器１６をスイッチ１５をＯＮ
することで加算器１４に加え、交流信号によって走査像
の中心が動かない様に、光軸制御用の偏向器４ｂへの信
号量を可変抵抗１３で調整すればよい、なお、１２ａ、
１２ｂは増幅器である。
スイッチ１７とスイッチ２２を連動させることで、２台
の像表示用ＣＲＴ装置２３ａ、２３ｂにステレオペア像
をそれぞれ表示することができる。
の像表示用ＣＲＴ装置２３ａ、２３ｂにステレオペア像
をそれぞれ表示することができる。
また、同−ＣＲＴを上下または左右の二分割表示方式と
し、その各々にステレオペア像を表示したり、同−ＣＲ
Ｔ上に各々のステレオペア像を色分けして重ねて表示す
ることで、リアルタイムに試料のステレオ像が観察でき
る。
し、その各々にステレオペア像を表示したり、同−ＣＲ
Ｔ上に各々のステレオペア像を色分けして重ねて表示す
ることで、リアルタイムに試料のステレオ像が観察でき
る。
光軸制御用偏向器５ａ、５ｂへの偏向信号は傾斜角度設
定用可変抵抗器１８及び１９を調整してその出力電圧を
任意に変えることにより変えられ得るから、可変抵抗器
１８及び１９を調整することにより試料面に対する垂直
軸を基準としたプラスおよびマイナス方向へのビーム傾
斜角を任意に変えることができ、更にプラス方向へのビ
ーム傾斜角とマイナス方向へのビーム傾斜角を異ならせ
ることにより、実際には試料を傾けることなしに、試料
を傾けた状態でステレオペア像を得るのと同じ結果を得
ることもできる。
定用可変抵抗器１８及び１９を調整してその出力電圧を
任意に変えることにより変えられ得るから、可変抵抗器
１８及び１９を調整することにより試料面に対する垂直
軸を基準としたプラスおよびマイナス方向へのビーム傾
斜角を任意に変えることができ、更にプラス方向へのビ
ーム傾斜角とマイナス方向へのビーム傾斜角を異ならせ
ることにより、実際には試料を傾けることなしに、試料
を傾けた状態でステレオペア像を得るのと同じ結果を得
ることもできる。
光軸制御用偏向器５ａ、５ｂによる偏向軌道は、対物レ
ンズの物点９を支点として偏向される。この精度が悪い
と、ビーム傾斜角度を切り換えた時に走査像の中心が移
動してしまい、同一視野のステレオペア像が得られなく
なる。そこで、可変抵抗器１３によって、偏向器５ｂの
信号量を変えて、偏向器５ａと５ｂの信号比を変えてや
ると、偏向支点を対物レンズの物点９まで正確に合せる
ことができる。具体的には、スイッチ１５で交流信号１
６を偏向器５ａ、５ｂに加算して、該交流信号１６によ
って走査像の中心が働かない様に可変抵抗１３をｙ４整
すればよい。
ンズの物点９を支点として偏向される。この精度が悪い
と、ビーム傾斜角度を切り換えた時に走査像の中心が移
動してしまい、同一視野のステレオペア像が得られなく
なる。そこで、可変抵抗器１３によって、偏向器５ｂの
信号量を変えて、偏向器５ａと５ｂの信号比を変えてや
ると、偏向支点を対物レンズの物点９まで正確に合せる
ことができる。具体的には、スイッチ１５で交流信号１
６を偏向器５ａ、５ｂに加算して、該交流信号１６によ
って走査像の中心が働かない様に可変抵抗１３をｙ４整
すればよい。
一方、試料から発生した二次電子は二次電子検品器２０
で検出され、像表示用ＣＲＴ’１ｉ２３ ａ。
で検出され、像表示用ＣＲＴ’１ｉ２３ ａ。
２３ｂのいずれかに表示させることができる。この場合
、スイッチ１７とスイッチ２２は同期しており、ＣＲＴ
装置２３ａ及び２３ｂには、それぞれビーム傾斜角度の
異なったステレオペア像が表示される。
、スイッチ１７とスイッチ２２は同期しており、ＣＲＴ
装置２３ａ及び２３ｂには、それぞれビーム傾斜角度の
異なったステレオペア像が表示される。
本実施例によれば、走査電子顕微鏡の性能を保ったまま
、−法定子線を試料上で傾斜させて、ステレオ像を高分
解能でしかもリアルタイムにｗ４祭できる効果がある。
、−法定子線を試料上で傾斜させて、ステレオ像を高分
解能でしかもリアルタイムにｗ４祭できる効果がある。
本発明によれば、ビーム傾斜用として特別大口径の対物
レンズを′使用する必要がなく、また対物レンズに入射
する一次電子線を平行にしなくともビームを試料で傾斜
して走査することができ、しかも低倍率時における走査
像の歪を最小に抑えて、試料を傾斜せずにステレオ像を
ｗ４察することができる走査電子顕微鏡が提供される。
レンズを′使用する必要がなく、また対物レンズに入射
する一次電子線を平行にしなくともビームを試料で傾斜
して走査することができ、しかも低倍率時における走査
像の歪を最小に抑えて、試料を傾斜せずにステレオ像を
ｗ４察することができる走査電子顕微鏡が提供される。
第１図は本発明にもとづく一実施例の走査電子顕微鏡の
電子光学系図、第２図は第１図の光軸制御用偏向器の動
作説明図、第３図は第１図の光軸制御用偏向器と走査用
偏向器を動作させた時の一次電子線の走査軌道説明図、
第４図はステレオ像観察時に必要な本発明にもとづく一
実施例を示す走査電子顕微鏡の主要部のブロック図であ
る。 １・・・電子銃、２・・・集束レンズ、３・・・対物レ
ンズ絞り、４ａ、４ｂ・・・走査用偏向器、５ａ、５ｂ
・・・光軸制御用偏向器、６・・・対物レンズ、７・・
・試料、８・・・−成型子線、９・・・対物レンズの物
点、１０・・・走査電子線の偏向支点、１１・・・対物
レンズ主面、１２ａ、１２ｂ・・・増幅器、１３・・可
変抵抗器、】４・・・信号加算器、１５・・・スイッチ
、１６・・・交流信号源、１７・・・傾斜角度切換スイ
ッチ、１８゜１９・・・傾斜角度設定用可変抵抗器、２
ｏ・・・二次電子検出器、２１・・・二次電子、２２・
・・像表示切換スイッチ、２３ａ、２３ｂ・・・像表示
ＣＲＴ装置。 代理人 弁理士 小川勝男、／−） 第２日 高３図
電子光学系図、第２図は第１図の光軸制御用偏向器の動
作説明図、第３図は第１図の光軸制御用偏向器と走査用
偏向器を動作させた時の一次電子線の走査軌道説明図、
第４図はステレオ像観察時に必要な本発明にもとづく一
実施例を示す走査電子顕微鏡の主要部のブロック図であ
る。 １・・・電子銃、２・・・集束レンズ、３・・・対物レ
ンズ絞り、４ａ、４ｂ・・・走査用偏向器、５ａ、５ｂ
・・・光軸制御用偏向器、６・・・対物レンズ、７・・
・試料、８・・・−成型子線、９・・・対物レンズの物
点、１０・・・走査電子線の偏向支点、１１・・・対物
レンズ主面、１２ａ、１２ｂ・・・増幅器、１３・・可
変抵抗器、】４・・・信号加算器、１５・・・スイッチ
、１６・・・交流信号源、１７・・・傾斜角度切換スイ
ッチ、１８゜１９・・・傾斜角度設定用可変抵抗器、２
ｏ・・・二次電子検出器、２１・・・二次電子、２２・
・・像表示切換スイッチ、２３ａ、２３ｂ・・・像表示
ＣＲＴ装置。 代理人 弁理士 小川勝男、／−） 第２日 高３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、細く絞った電子線を試料上で走査し、該走査電子線
によつて得られる信号により走査像を得る走査電子顕微
鏡において、最終段対物レンズより電子源側に２段の走
査用偏向器と２段の光軸制御用偏向器を配置し、走査電
子線の支点を前記対物レンズの主面又はその近傍となる
如く前記走査用の２段の偏向器を制御すると共に、走査
電子線の中心軸（光軸）を前記対物レンズの物点を支点
として偏向する如く前記光軸制御用の２段の偏向器を制
御し、試料上での走査電子線を傾斜させることを特徴と
する走査電子顕微鏡。 ２、前記光軸制御用の２段の偏向器に与える偏向信号の
比を可変する手段を備えている特許請求の範囲第１項記
載の走査電子顕微鏡。 ３、前記光軸制御用の２段の偏向器に与える偏向信号に
交流信号を重ねる手段を備えている特許請求の範囲第１
項又は第２項記載の走査電子顕微鏡。 ４、少なくとも２台の像観察用ＣＲＴ装置を有し、これ
らに２段の光軸制御用偏向器に与える異なる２つの信号
値に対する走査像をそれぞれ表示させることを特徴とす
る特許請求範囲第１、２又は３項記載の走査電子顕微鏡
。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63183623A JPH0233843A (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 走査電子顕微鏡 |
| US07/381,189 US4983832A (en) | 1988-07-25 | 1989-07-18 | Scanning electron microscope |
| GB8916474A GB2221567B (en) | 1988-07-25 | 1989-07-19 | Scanning electron microscope |
| DE3924605A DE3924605C2 (de) | 1988-07-25 | 1989-07-25 | Rasterelektronenmikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63183623A JPH0233843A (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0233843A true JPH0233843A (ja) | 1990-02-05 |
Family
ID=16139012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63183623A Pending JPH0233843A (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4983832A (ja) |
| JP (1) | JPH0233843A (ja) |
| DE (1) | DE3924605C2 (ja) |
| GB (1) | GB2221567B (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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