JP2006525644A - ビームの均一性及び分布角度測定システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明はイオンビーム208全体(例 リボン状ビームのより広い部分)にわたって、種々の位置で入射角およびビーム電流の均一性を検出することによって、半導体装置の製造を容易にする。多くの要素からなる1以上の均一性検出器が、イオン注入システム内(単一のウエハ及び/あるいは複数のウエハに基づくシステム)で使用される。各要素は、入射するイオンビームの関数として、ビーム電流を測定する一対のセンサ202、204と、入射するイオンビームからビームレット210を選択的に得るマスク206の開口214とを含む。特定の要素に対する入射角は、センサ対による測定されたビーム電流から少なくとも部分的に決定される。結果としてイオンビームの生成は均一性が改善され、イオン注入は、改善された均一性と、厳しいプロセス制御の下で実行される。
Description
ウエハ108の全ての側あるいは部分が、略同一の速度でイオンビーム中を移動するので、ウエハ108を横断する実質的に均一な注入を得ることができる。それに引き換え、他のイオン注入システムは、本発明と合体できるプロセスディスクを使用する。
A=((S1−S2)/(S1+S2))*w/2g (式1)
ここで、Aは入射角、S1は第1の測定されたビーム電流、S2は第2の測定されたビーム電流、wは開口の幅、gは、マスク206すなわち開口214の下に配置されているセンサからの距離である。他の適切な式は、入射角および/あるいは入射角の指標(indication)を得るために使用することができ、やはり本発明に従うであろう。さらに、第1測定されるビーム電流および第2の測定されるビーム電流は、その要素のビーム電流の指標を示すために加える(S1+S2)ことができる。
上記均一性検出器300は、ビーム電流と入射角に関してイオンビームの均一性を示すように、種々の部分およびイオンビームの両方向(例えば、“X”と“Y”)で、これらの均一性の測定値を得ることができる。
さらに、マスク602の下にある第2マスク(未図示)は、第2の一連の要素に対する第2の一連の開口606を含んでいる。開口606は、イオンビームから第2のビームレットを選択的に得る、決められた幅w2を有する。開口606の下にある第2の複数のセンサ対(未図示)は、“x”方向の入射角の測定値を得るために使用され、この配置は、“y”方向に直交する、あるいは垂直であるように示されている。均一性検出器600によって測定可能な、例となるリボンイオンビームは、方形の領域608によって示されている。したがって、この配置600は、“x”、“y”の両方向で、イオンビームの種々の位置での、入射角の測定値を得ることを可能にする。
102 チャンバー
104 イオン源を含むイオン注入システム
106、200、300、400、600、1100 均一性検出器
108 ウエハ
110 モジュール
202、302、409 第1ビーム電流センサ
204、304、410 第2ビーム電流センサ
206、306、308、406、502、602 マスク
208、312、412 イオンビーム
212 検出器対
214、316、420、504、604、606、1106 開口
210、314、414 ビームレット
215 間隙
310、318、403、410、416 一連のセンサ対
350、450 第1層
352、452 第2層
702、1104 第1マスク
704、1110 第2マスク
802、1109 回路基板
804 第1の導電層
1108 抑制層
Claims (22)
- イオンビームからビームレットを選択的に得る開口と、
ビームレットから第1ビーム電流測定値を得る開口の下に配置される第1ビーム電流センサと、
上記開口の下に配置され、ビームレットから第2ビーム電流測定値を得る第1ビーム電流センサに隣接する第2ビーム電流センサと、第1ビーム電流測定値と第2ビーム電流測定値は、イオンビームの入射角に関する情報を生じること、を含むビーム均一性測定システム。 - 第1ビーム電流センサおよび第2ビーム電流センサは、開口の下で、ある距離離れている請求項1記載のビーム均一性測定システム。
- 開口は、ビームレットの幅を決定する選択された幅である請求項2記載のビーム均一性測定システム。
- 入射角は、第1ビーム電流測定値、第2ビーム電流測定値、開口の下の距離および開口の幅の関数である請求項3記載のビーム均一性測定システム。
- 入射角は、以下の式
A=((S1−S2)/(S1+S2))*w/2g
(ここで、Aは入射角、S1は第1ビーム電流測定値、S2は第2ビーム電流測定値、wは開口の幅、gは開口の下の距離である)
によって得られる請求項4記載のビーム均一性測定システム。 - 開口は、マスク内のスリットによって決定される請求項1記載のビーム均一性測定システム。
- マスクは、グラファイトからなる請求項6記載のビーム均一性測定システム。
- 第1センサ及び第2センサは、ビームレットのイオンによって衝突され、適切な基板上に電荷を形成するように操作可能である頂面上の導電層から構成される請求項1記載のビーム均一性測定システム。
- 第1の方向に沿って第1の一連の要素が配置され、上記第1の一連の要素は第1の方向に沿ってイオンビームの入射角の測定値を得ること、
第2の方向に沿って第2の一連の要素が配置され、上記第2の一連の要素は第2の方向に沿ってイオンビームの入射角の測定値を得ることを含むビーム均一性測定システム。 - イオンビームが、リボンビームである請求項9記載のビーム均一性測定システム。
- イオンビームの幅の部分は、第1の方向に沿っている請求項10記載のビーム均一性測定システム。
- 第2方向は、第1方向に直交している請求項9記載のビーム均一性測定システム。
- 第1の一連の要素と第2の一連の要素は、さらに、ビーム電流測定値を得るために操作可能である請求項9記載のビーム均一性測定システム。
- 第2の一連の要素は、第1の一連の要素の下に配置される請求項9記載のビーム均一性測定システム。
- 第1の一連の要素の各要素は、
イオンビームからビームレットを選択的に得る開口と、
ビームレットから第1ビーム電流測定値を得る開口の下に配置される第1ビーム電流センサと、
上記開口の下に配置され、ビームレットから第2ビーム電流測定値を得る第1ビーム電流センサに隣接する第2ビーム電流センサと、第1ビーム電流測定値と第2ビーム電流測定値は、イオンビームの入射角に関する情報を生じること、を含む請求項9記載のビーム均一性測定システム。 - 第1の一連の要素は、イオンビームから第1の幅を有するビームレットを得、第2の一連の要素は、イオンビームから第2の幅を有するビームレットを得る請求項9記載のビーム均一性測定システム。
- 所定の入射角と、所定の入射角の均一性にしたがってイオンビームを発生し、
上記イオンビームを均一性検出器の方へ案内し、
均一性検出器によって、イオンビーム全体にわたって多くの入射角測定値を得、
多くの入射角測定値の均一性を解析し、
非均一性に関して、測定された非均一性にしたがって、イオンビームの発生を修正する
各段階を含むイオンビームの均一性を検出する方法。 - さらに、イオンビームの発生は、所定のビーム電流および所定の均一なビーム電流にしたがって、イオンビームを発生することを含む請求項17のイオンビームの均一性を検出する方法。
- さらに、均一性検出器によって、イオンビーム全体にわたって多くのビーム電流測定値を得る請求項18のイオンビームの均一性を検出する方法。
- 均一性検出器が目標のウエハに隣接して配置されている請求項17のイオンビームの均一性を検出する方法。
- さらに、イオン注入を達成するために、選択された速度でイオンビーム中を目標のウエハを移動させることを含む請求項20のイオンビームの均一性を検出する方法。
- 均一性検出器は、第1方向での多くの入射角を得る多くの要素を含む請求項17のイオンビームの均一性を検出する方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019100794A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 株式会社東芝 | ビームエミッタンス測定装置及び方法 |
US10825654B2 (en) | 2018-02-08 | 2020-11-03 | Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co., Ltd. | Ion implantation apparatus and measurement device |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6888146B1 (en) * | 1998-04-10 | 2005-05-03 | The Regents Of The University Of California | Maskless micro-ion-beam reduction lithography system |
US20040149926A1 (en) * | 2002-12-11 | 2004-08-05 | Purser Kenneth H. | Emittance measuring device for ion beams |
US7009193B2 (en) * | 2003-10-31 | 2006-03-07 | Infineon Technologies Richmond, Lp | Utilization of an ion gauge in the process chamber of a semiconductor ion implanter |
US6992308B2 (en) * | 2004-02-27 | 2006-01-31 | Axcelis Technologies, Inc. | Modulating ion beam current |
JP2005285518A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toshiba Corp | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
KR100594272B1 (ko) * | 2004-05-07 | 2006-06-30 | 삼성전자주식회사 | 이동형 이온 빔 경사각 측정장치 및 그 장치를 이용한이온 빔 경사각 측정방법 |
US6872953B1 (en) | 2004-05-20 | 2005-03-29 | Axcelis Technologies, Inc. | Two dimensional stationary beam profile and angular mapping |
US6989545B1 (en) * | 2004-07-07 | 2006-01-24 | Axcelis Technologies, Inc. | Device and method for measurement of beam angle and divergence |
US7064340B1 (en) * | 2004-12-15 | 2006-06-20 | Axcelis Technologies, Inc. | Method and apparatus for ion beam profiling |
US7078707B1 (en) * | 2005-01-04 | 2006-07-18 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam scanning control methods and systems for ion implantation uniformity |
US7435977B2 (en) * | 2005-12-12 | 2008-10-14 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam angle measurement systems and methods for ion implantation systems |
US7476876B2 (en) * | 2005-12-21 | 2009-01-13 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam angle measurement systems and methods employing varied angle slot arrays for ion implantation systems |
US20080073553A1 (en) * | 2006-02-13 | 2008-03-27 | Ibis Technology Corporation | Ion beam profiler |
US7550751B2 (en) * | 2006-04-10 | 2009-06-23 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam scanning control methods and systems for ion implantation uniformity |
US7683348B2 (en) * | 2006-10-11 | 2010-03-23 | Axcelis Technologies, Inc. | Sensor for ion implanter |
US20090121122A1 (en) * | 2007-11-13 | 2009-05-14 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for measuring and controlling ion beam angle and density uniformity |
US7723705B2 (en) * | 2008-06-18 | 2010-05-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for measuring ion beam emittance |
US7723706B2 (en) * | 2008-06-19 | 2010-05-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Horizontal and vertical beam angle measurement technique |
US7897944B2 (en) * | 2008-07-21 | 2011-03-01 | Axcelis Technologies, Inc. | Method and apparatus for measurement of beam angle in ion implantation |
US8900982B2 (en) | 2009-04-08 | 2014-12-02 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for processing a substrate |
US9006688B2 (en) * | 2009-04-08 | 2015-04-14 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for processing a substrate using a mask |
US9076914B2 (en) * | 2009-04-08 | 2015-07-07 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for processing a substrate |
US8309938B2 (en) * | 2009-09-29 | 2012-11-13 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion beam incident angle detection assembly and method |
US8581204B2 (en) * | 2011-09-16 | 2013-11-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus for monitoring ion implantation |
JP6150632B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2017-06-21 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオンビーム測定装置及びイオンビーム測定方法 |
US9299534B2 (en) * | 2014-01-31 | 2016-03-29 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Method and mechanism for erosion detection of defining apertures |
DE102014118753A1 (de) * | 2014-10-01 | 2016-04-07 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Prüfvorrichtung |
TWI557778B (zh) * | 2015-05-29 | 2016-11-11 | 漢辰科技股份有限公司 | 離子佈植機 |
CN106324654B (zh) * | 2015-06-18 | 2019-04-09 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 离子注入的测量方法 |
CN108010827B (zh) * | 2016-11-02 | 2021-08-27 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种检测束流角度的方法 |
CN111830553B (zh) * | 2019-04-16 | 2022-10-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 离子束均匀度检测装置及检测方法 |
KR102441670B1 (ko) * | 2022-04-20 | 2022-09-08 | 큐알티 주식회사 | 지능형 빔 세기 계산 시스템, 및 이의 계산 방법 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01183044A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-20 | Jeol Ltd | プローブ電流安定化装置 |
JPH0233843A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JPH02288142A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Nissin Electric Co Ltd | イオンビームの平行度測定方法 |
JPH0317949A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Ulvac Corp | イオン注入装置におけるビーム平行度測定装置 |
JPH05217542A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-08-27 | Eaton Corp | イオンビーム注入装置およびビーム強さの監視方法 |
JPH06342639A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-12-13 | Diamond Semiconductor Group Inc | 小型の高電流幅広ビームのイオン注入装置 |
JPH0773844A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Nippon Steel Corp | イオン注入装置 |
JPH0736348U (ja) * | 1993-12-13 | 1995-07-04 | 日新電機株式会社 | 荷電粒子ビームの電流測定装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5132545A (en) * | 1989-08-17 | 1992-07-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ion implantation apparatus |
JP2969788B2 (ja) * | 1990-05-17 | 1999-11-02 | 日新電機株式会社 | イオンビームの平行度測定方法、走査波形整形方法およびイオン注入装置 |
US6437350B1 (en) * | 2000-08-28 | 2002-08-20 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Methods and apparatus for adjusting beam parallelism in ion implanters |
WO2002058103A2 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | In situ ion beam incidence angle and beam divergence monitor |
-
2003
- 2003-04-29 US US10/425,924 patent/US6677598B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01183044A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-20 | Jeol Ltd | プローブ電流安定化装置 |
JPH0233843A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JPH02288142A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Nissin Electric Co Ltd | イオンビームの平行度測定方法 |
JPH0317949A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Ulvac Corp | イオン注入装置におけるビーム平行度測定装置 |
JPH05217542A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-08-27 | Eaton Corp | イオンビーム注入装置およびビーム強さの監視方法 |
JPH06342639A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-12-13 | Diamond Semiconductor Group Inc | 小型の高電流幅広ビームのイオン注入装置 |
JPH0773844A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Nippon Steel Corp | イオン注入装置 |
JPH0736348U (ja) * | 1993-12-13 | 1995-07-04 | 日新電機株式会社 | 荷電粒子ビームの電流測定装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019100794A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 株式会社東芝 | ビームエミッタンス測定装置及び方法 |
US10825654B2 (en) | 2018-02-08 | 2020-11-03 | Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co., Ltd. | Ion implantation apparatus and measurement device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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TWI356465B (en) | 2012-01-11 |
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WO2004097881A2 (en) | 2004-11-11 |
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TW200507139A (en) | 2005-02-16 |
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