JPS6015754U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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JPS6015754U
JPS6015754U JP10740083U JP10740083U JPS6015754U JP S6015754 U JPS6015754 U JP S6015754U JP 10740083 U JP10740083 U JP 10740083U JP 10740083 U JP10740083 U JP 10740083U JP S6015754 U JPS6015754 U JP S6015754U
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JP
Japan
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electron beam
current
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condenser lens
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JP10740083U
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石田　征久
岩槻　正志
善博 新井
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日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例装置を示す構成略図である。 １・・・・・・電子銃、２・・・・・・電子線、３・・
・・・・第１コンデンサーレンズ、４・・・・・・第２
コンデンサーレンズ、５・・・・・・励磁電源、６・・
・・・・電流値可変手段、７・・・・・・制御手段、８
・・・・・・下限値設定手段、９・・・・・・レンズ絞
り、１０・・・・・・レンズ駆動機構、１１・・・・・
・スイッチ機構、１２・・・・・・電子銃電源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃からの電子線をコンデンサーレンズにて試料位置
    へ集束させた状態で照射する電子顕微鏡において、前記
    コンデンサーレンズの励磁電流を変化させる電流値可変
    手段と、該コンデンサーレンズの励磁電流の下限値を設
    定する下限値設定手段と、前記電流値可変手段よりの信
    号と前記下限値設定手段よりの信号の比較に基づいて電
    子線電流を減じる制御手段と、電子線経路内に挿脱され
    る絞りの駆動手段とを備え、該駆動手段に連動させて前
    記制御手段を制御するよう構成したことを特徴とする電
    子顕微鏡。
JP10740083U 1983-07-11 1983-07-11 電子顕微鏡 Granted JPS6015754U (ja)

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JP10740083U JPS6015754U (ja) 1983-07-11 1983-07-11 電子顕微鏡

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JP10740083U JPS6015754U (ja) 1983-07-11 1983-07-11 電子顕微鏡

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JPS6015754U true JPS6015754U (ja) 1985-02-02
JPH0343647Y2 JPH0343647Y2 (ja) 1991-09-12

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JPH0343647Y2 (ja) 1991-09-12

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