JPH0343647Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はＸ線防護機能を強化した電子顕微鏡に
関する。

一般に、電子顕微鏡は高電圧により加速された
電子線を用いるため、電子線が照射される部材か
らＸ線が発生する。しかしながら、電子顕微鏡に
おいては、鏡筒に使用されている金属（鉄、銅合
金等）のみでは鏡筒外へ漏洩するＸ線を遮蔽する
ことはできない。そのため鏡筒の各所に鉛等を詰
めてＸ線をシールドして鏡筒外への漏洩を防止し
ている。又、Ｘ線の発生は照射される電子線量に
比例するため電子銃、コンデンサーレンズ、結像
レンズ、像観察室と電子線の経路に沿つてＸ線の
発生量も少くなる。従つて、通常の検鏡状態では
像観察室のＸ線防護対策はコンデンサーレンズや
試料室のＸ線防護対策程には厳重に行う必要はな
い。しかし乍ら、電子線経路に挿入されている絞
りや試料を電子線経路から外して行う軸合わせ操
作等の特殊観察においては、観察室に試料室と同
程度の多量の電子線が照射されて強いＸ線が発生
する可能性がある。そのため、この様な特殊な使
用状態で操作する場合でも、Ｘ線漏洩によつて多
量のＸ線を人体が受けることのないように厳重な
Ｘ線防護対策がとられ、そのため装置の大型化や
コストの上昇を招いていた。

本考案は以上の点に鑑みなされたもので、電子
銃からの電子線をコンデンサーレンズにて試料位
置へ集束させた状態で照射する電子顕微鏡におい
て、前記コンデンサーレンズの励磁電流を変化さ
せる電流値可変手段と、該コンデンサーレンズの
励磁電流の基準値を設定する基準値設定手段と、
前記電流値可変手段よりの信号と前記基準値設定
手段よりの信号との比較に基づいて電子線電流を
減じる制御手段と、電子線経路内に挿脱される絞
りの駆動手段とを備え、該駆動手段に連動させて
前記制御手段による制御を行なわせるように構成
した電子顕微鏡を特徴としている。

以下本考案の一実施例を図面により詳述する。

図面は、本考案の一実施例装置の構成略図であ
る。図中１は電子銃で、該電子銃１から放射した
電子線２は第１コンデンサーレンズ３及び第２コ
ンデンサーレンズ４によつて集束され図示しない
試料上に照射される。５は第１コンデンサーレン
ズ３の励磁電源であり、該励磁電源５は電流値可
変手段６によつて第１コンデンサーレンズ３の励
磁電流を可変できるように構成されている。７は
比較機能を有する制御手段で、該制御手段７には
第１のコンデンサーレンズ３の励磁電流の基準値
を設定する基準値設定手段８よりの基準信号（電
圧）と電流値可変手段６よりの信号（電圧）が入
力されて比較される。９は電子線２の電子線量を
制限するためのレンズ絞りであり、該レンズ絞り
９は絞り駆動機構１０によつて光軸上に位置した
り、外れたりするように構成されている。１１は
絞り駆動機構１０と連動したスイツチ機構であ
り、該絞り駆動機構１０を操作してレンズ絞り９
を光軸から外すと、作動開始信号が制御手段７に
印加される。制御手段７は基準値設定手段８より
の基準信号と電流値可変手段６の出力信号とを比
較し電流値可変手段６の出力信号が基準値設定手
段８の出力より低くなつた場合には、電子銃電源
１２に制御信号を印加して電子銃１をカツトオフ
状態にする等して一定値以上の電流が放出されな
いようにする。

以上の様に構成された装置において、以下本実
施例装置の動作を通常の操作時と特殊な使用状態
（例えば軸合せ）で操作する場合について説明す
る。

先ず、通常の操作時においては、レンズ絞り９
は図に示す様に光軸上に位置される。従つて、こ
の場合のスイツチ機構１１はオフとなつており、
この信号が制御手段７に入力されている。この状
態では制御手段７は作動せずコンデンサーレンズ
３をどのように励磁しても電子銃電源１２は全く
影響されない。

次に、特殊な使用状態（例えば軸合せ）で使用
する場合は、絞り駆動機構１０を操作してレンズ
絞り９を光軸から外すとスイツチ１１がオン状態
となり絞り駆動機構１０からの信号が制御手段７
に入力され、該信号によつて制御手段７は電子顕
微鏡の使用状態が通常ではなく特殊な使用状態で
あることを認識して作動を開始する。この状態で
は、第１コンデンサーレンズ３の励磁電流を電流
値可変手段６によつて可変し励磁電流が基準値以
下になると、制御手段７は電子銃電源１２を制御
して電子銃１からの電子線２の放射を停止する。
そのため、軸合せ等の特殊な使用状態でも一定限
度以上のＸ線が発生しないため、人体に近い観察
室等でも従来装置の様に必要以上にＸ線シールド
のための部材を使用しなくても良くなつた。

尚、本考案は図面に示した実施例装置に限定さ
れるものではない。例えば、絞り駆動機構１０に
おいてどのような孔径の絞りが挿入されているか
を表わす絞り孔径信号を制御手段７へ供給すると
共に、制御手段７に複数の基準信号電源を設けて
おき、前記絞り孔径信号に応じて複数の基準信号
電源を選択するようになし、該選択された基準信
号電源の出力と電流値可変手段６の出力を比較し
て前述したような電子銃制御を行なえばよりきめ
の細かい制御が可能なる。更に、制御手段７から
の制御信号によつて電子銃電源１２を制御する代
わりに電子銃の下方に設けた偏向手段に偏向信号
を加えることによつて電子線が観察室に向わない
ようにしても同じ効果が得られる。

以上の様に本考案は、電子顕微鏡等において、
コンデンサーレンズの励磁条件により電子線照射
を制御又は停止するよう構成したことにより、Ｘ
線をシールドする部材を節約でき低廉な装置を提
供する。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例装置を示す構成略図で
ある。 １：電子銃、２：電子線、３：第１コンデンサ
ーレンズ、４：第２コンデンサーレンズ、５：励
磁電源、６：電流値可変手段、７：制御手段、
８：基準値設定手段、９：レンズ絞り、１０：絞
り駆動機構、１１：スイツチ機構、１２：電子銃
電源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電子銃からの電子線をコンデンサーレンズにて
   試料位置へ集束させた状態で照射する電子顕微鏡
   において、前記コンデンサーレンズの励磁電流を
   変化させる電流値可変手段と、該コンデンサーレ
   ンズの励磁電流の基準値を設定する基準値設定手
   段と、前記電流値可変手段よりの信号と前記基準
   値設定手段よりの信号との比較に基づいて電子線
   電流を減じる制御手段と、電子線経路内に挿脱さ
   れる絞りの駆動手段とを備え、該駆動手段に連動
   させて前記制御手段による制御を行なわせるよう
   に構成したことを特徴とする電子顕微鏡。