JPS5896663U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5896663U JPS5896663U JP19106181U JP19106181U JPS5896663U JP S5896663 U JPS5896663 U JP S5896663U JP 19106181 U JP19106181 U JP 19106181U JP 19106181 U JP19106181 U JP 19106181U JP S5896663 U JPS5896663 U JP S5896663U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning electron
- sample chamber
- sample
- switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の正面断面図、第２図は排気
システムの簡単なブロック図である。 １・・・・・・試料室、２・・・・・・対物レンズ、３
・・曲排気パイプ、４・・・・・・試料、５・・・・・
・試料ステージ、６・・・・・・パツキン、７・・・・
・・圧電スイッチ、８・・・・・・排気系制御電源。
システムの簡単なブロック図である。 １・・・・・・試料室、２・・・・・・対物レンズ、３
・・曲排気パイプ、４・・・・・・試料、５・・・・・
・試料ステージ、６・・・・・・パツキン、７・・・・
・・圧電スイッチ、８・・・・・・排気系制御電源。
Claims (1)
- 走査電子顕微鏡の試料室及び試料ステージにおいて、試
料ステージを試料室に取付けることによって動作するス
イッチ回路を有し、該スイッチの動作により試料室を自
動的に排気する回路を設けたことを特徴とする走査電子
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19106181U JPS5896663U (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19106181U JPS5896663U (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5896663U true JPS5896663U (ja) | 1983-06-30 |
Family
ID=30104545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19106181U Pending JPS5896663U (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5896663U (ja) |
-
1981
- 1981-12-23 JP JP19106181U patent/JPS5896663U/ja active Pending
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