JPS5971561U - 粒子線装置の真空保護装置 - Google Patents
粒子線装置の真空保護装置Info
- Publication number
- JPS5971561U JPS5971561U JP16628882U JP16628882U JPS5971561U JP S5971561 U JPS5971561 U JP S5971561U JP 16628882 U JP16628882 U JP 16628882U JP 16628882 U JP16628882 U JP 16628882U JP S5971561 U JPS5971561 U JP S5971561U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- particle beam
- protection device
- chamber
- beam equipment
- Prior art date
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- Pending
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- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、走査電子顕微鏡の排気系統図、第２図は、本
考案の一実施例を示す回路のブロック図である。 １・・・電子銃室、２・・・試料室、６・・・自動バル
ブ、１４・・・真空計、１５・・・スイッチ、１７・・
・制御回路、１８・・・バルブ駆動電源。
考案の一実施例を示す回路のブロック図である。 １・・・電子銃室、２・・・試料室、６・・・自動バル
ブ、１４・・・真空計、１５・・・スイッチ、１７・・
・制御回路、１８・・・バルブ駆動電源。
Claims (1)
- 電子線等により試料の観察及び分析等を行う粒子線装置
において、電子源側の真空室と試料室側の真空室とを真
空的に分離するバルブを有し、該バルブを開閉する条件
として両頁空室の真空度が装置を動作させるに必要な状
態に到達したことをモニタして開閉すると同時に、電子
線等を電子源側から試料室側に通過させるときのみ開動
作させることを特徴とする粒子線装置の真空保護装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16628882U JPS5971561U (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 粒子線装置の真空保護装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16628882U JPS5971561U (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 粒子線装置の真空保護装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5971561U true JPS5971561U (ja) | 1984-05-15 |
Family
ID=30364084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16628882U Pending JPS5971561U (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 粒子線装置の真空保護装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5971561U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274758U (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-07 | ||
| JPH03505386A (ja) * | 1988-04-19 | 1991-11-21 | オーキッド，ワン，コーポレーション | 封入型高輝度電子ビーム源およびシステム |
| JPH05325859A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-10 | Hitachi Ltd | 電子線照射装置 |
-
1982
- 1982-11-04 JP JP16628882U patent/JPS5971561U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03505386A (ja) * | 1988-04-19 | 1991-11-21 | オーキッド，ワン，コーポレーション | 封入型高輝度電子ビーム源およびシステム |
| JPH0274758U (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-07 | ||
| JPH05325859A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-10 | Hitachi Ltd | 電子線照射装置 |
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