JPH0274758U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0274758U JPH0274758U JP15434388U JP15434388U JPH0274758U JP H0274758 U JPH0274758 U JP H0274758U JP 15434388 U JP15434388 U JP 15434388U JP 15434388 U JP15434388 U JP 15434388U JP H0274758 U JPH0274758 U JP H0274758U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- chamber
- vacuum
- melting chamber
- shutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す１部を切り欠
いて示した正面図、第２図は従来例を示す縦断正
面図である。 Ａ……加速室、Ｂ……溶解室、２０……中間室
、１６……ビームシヤツタ、Ｇ１……第１の真空
計、Ｇ２……第２の真空計、２４……シーケンサ
、２５……空圧作動手段、２６……第１のリミツ
トスイツチ、２７……第２のリミツトスイツイチ
。
いて示した正面図、第２図は従来例を示す縦断正
面図である。 Ａ……加速室、Ｂ……溶解室、２０……中間室
、１６……ビームシヤツタ、Ｇ１……第１の真空
計、Ｇ２……第２の真空計、２４……シーケンサ
、２５……空圧作動手段、２６……第１のリミツ
トスイツチ、２７……第２のリミツトスイツイチ
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電子ビームを発生するカソード及びこのカソ
ードと対向して配設される加速用アノードを収納
した大気とは真空状態にシールされる加速室と発
生した電子ビームを加熱対象に照射する溶解室を
持ち、これらの部屋を独立に排気する真空ポンプ
を少なくとも備えた電子ビーム銃において、上記
加速室と溶解室の間に両者を真空遮断しうるビー
ムシヤツターを設け、上記処理室の真空度がビー
ムを発生するに不適切な圧力に上昇したことを溶
解室に設けた真空計の出力によつて検出し、ビー
ムシヤツターを開状態から閉状態に作動させるよ
うにしたことを特徴とする電子ビーム銃の制御装
置。 ２ 上記ビームシヤツターの作動を検出するリミ
ツトスイツチを備え、このリミツトスイツチの検
知出力に基づいて電子ビームを停止するようにし
た請求項１記載の電子ビーム銃の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988154343U JPH0621164Y2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 電子ビーム銃の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988154343U JPH0621164Y2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 電子ビーム銃の制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0274758U true JPH0274758U (ja) | 1990-06-07 |
| JPH0621164Y2 JPH0621164Y2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=31430990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988154343U Expired - Lifetime JPH0621164Y2 (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | 電子ビーム銃の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621164Y2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5227037A (en) * | 1975-08-26 | 1977-03-01 | Commissariat Energie Atomique | Vacuum separating valve for electron bombardment welding machine |
| JPS5648044A (en) * | 1979-09-28 | 1981-05-01 | Hitachi Ltd | Electron beam device |
| JPS5971561U (ja) * | 1982-11-04 | 1984-05-15 | 株式会社日立製作所 | 粒子線装置の真空保護装置 |
| JPS6015083A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-25 | Hitachi Ltd | 電子ビ−ム加工機 |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP1988154343U patent/JPH0621164Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5227037A (en) * | 1975-08-26 | 1977-03-01 | Commissariat Energie Atomique | Vacuum separating valve for electron bombardment welding machine |
| JPS5648044A (en) * | 1979-09-28 | 1981-05-01 | Hitachi Ltd | Electron beam device |
| JPS5971561U (ja) * | 1982-11-04 | 1984-05-15 | 株式会社日立製作所 | 粒子線装置の真空保護装置 |
| JPS6015083A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-25 | Hitachi Ltd | 電子ビ−ム加工機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0621164Y2 (ja) | 1994-06-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BG48938A3 (en) | Valve with depression actuating | |
| WO2004061890A3 (en) | Electron beam sensor | |
| JPH0274758U (ja) | ||
| WO1992003841A3 (de) | Vorrichtung zur materialverdampfung mittels vakuumlichtbogenentladung und verfahren | |
| JPH0240310Y2 (ja) | ||
| JPS6219969Y2 (ja) | ||
| KR940017968A (ko) | 플라즈마 압력 제어 어셈블리 | |
| KR960030348A (ko) | 다중음극 전자빔 플라즈마 식각 장치 | |
| JPS5653885A (en) | Low vacuum type electron beam working apparatus | |
| JPS6318762U (ja) | ||
| JPH0357396U (ja) | ||
| JPH0429402Y2 (ja) | ||
| JPH0297744U (ja) | ||
| JPS62203265U (ja) | ||
| JPH0286568U (ja) | ||
| JPS63127061U (ja) | ||
| JPH0269800U (ja) | ||
| JPS5857861B2 (ja) | オ−ジェ電子分光装置におけるイオン銃と電子銃とアナライザ−との組合せ体 | |
| JPH01121250U (ja) | ||
| JPH0287066U (ja) | ||
| JPS6334906U (ja) | ||
| JPH0284768U (ja) | ||
| JPH0250950U (ja) | ||
| JPS57147953A (en) | Releasing mechanism of brake for rolling stock | |
| JPS61113368U (ja) |