JPS6219969Y2 - - Google Patents

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JPS6219969Y2
JPS6219969Y2 JP2443877U JP2443877U JPS6219969Y2 JP S6219969 Y2 JPS6219969 Y2 JP S6219969Y2 JP 2443877 U JP2443877 U JP 2443877U JP 2443877 U JP2443877 U JP 2443877U JP S6219969 Y2 JPS6219969 Y2 JP S6219969Y2
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JP
Japan
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sample
housing
ray source
vacuum
analysis
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JP2443877U
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JPS53119986U (ja
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はＸ線光電子分析装置で特に試料の構造
分析に適した分析装置に関する。
試料を表面から数十オングストローム乃至ミク
ロンの程度の深さまで、深さ方向にイオンエツチ
ングを行いながらダイナミツク分析をしたい場合
適用できる分析方法としてはイオン質量分析法と
かオージエ電子分析等の方法があるが、これらの
方法では元素の検出はできても原子の結合状態の
分析はできない。他方Ｘ線光電子分析法は原子の
結合状態の分析はできるが、試料表面をエツチン
グしながら深部へと分析を進めて行くと云うよう
なことはできなかつた。
本考案はＸ線光電子分析法で上述したダイナミ
ツク分析ができるようにして、ダイナミツクに元
素分析だけでなく状態分析もできるようにするも
のである。
Ｘ線光電子分析法で試料面から深い方向へ分析
を進める場合、通常は試料面をエツチングした
後、時間的に遅れてＸ線光電子分析を行つてい
た。これはイオンエツチングが比較的低真空で行
われるのに対してＸ線源は高真空を必要とするの
で、両方の装置を一つの装置として構成すること
ができないからである。本考案はイオン銃部とＸ
線源と電子エネルギー分析部とを真空技術的には
互に独立させながら一つの試料を対象としてそれ
らの各部を一体的に構成したものである。以下実
施例によつて本考案を説明する。
図で１は本体筐体で排気装置２に接続され内部
は10-4〜10-5torr程度の真空に保たれ、試料Ｓが
セツトされるようになつている。３は筐体１の側
方に突設された試料導入部で筐体１との境にはゲ
ートバルブ３ｇが設けられている。Ｉはイオン銃
で筐体１の右側に斜に試料Ｓに向つて挿入された
ような形で筐体１に突設されており、電子源フイ
ラメントＦとグリツドＧの間で加速された電子に
より、背後より導入されたガスをイオン化し、同
イオンはスリツトｈを通してレンズ部Ｌにより筐
体１内空間に引出され加速されて試料Ｓ上に収束
せしめられる。イオン銃ＩでフイラメントＦ、グ
リツドＧの周囲は導入されたガスにより比較的低
真空であるが、筐体１内の空間とはスリツトｈで
境されており、筐体１内は容易に10-4〜10-5torr
の真空度が保たれている。ＸはＸ線源で筐体１の
左側に試料Ｓに向つて斜に挿入されたような形で
筐体１に突設されており、試料Ｓに向う先端部は
窓Ｗになつていて数μ厚の箔が張つてあり筐体１
内空間とは隔離され、Ｘ線源Ｘ自体に独立に排気
装置４が接続してあり、内部は10-7torr程度の真
空に保たれる。Ｘ線源ＸにおいてＦは電子源フイ
ラメント、Ａはターゲツトである。筐体１の上部
に電子エネルギー分析部Ｅが設けられている。試
料ＳはＸ線源Ｘより窓Ｗの箔を通して放射される
Ｘ線により照射励起され、試料より出た光電子は
筐体１の天井の孔Ｈより電子エネルギー分析部Ｅ
に進入する。電子エネルギー分析部Ｅもそれ用の
独立の排気装置５に接続されており、筐体１内空
間とは小孔Ｈで境されているので10-7torrの真空
度が保たれている。
Ｘ線源Ｘと筐体１内空間との境は数μの箔を張
つた窓Ｗであり、従つて両者の圧力差が余り大き
くなると箔が破れるおそれがある。そこで筐体１
及びＸ線源Ｘに夫々真空計Ｄ１，Ｄ２を設け、両
方の真空度の差を差圧検出器Ｐで検出し、これが
予め設定した値以上になつたらバルブ駆動部Ｍに
信号を送り、筐体１とＸ線源Ｘとをつなぐ管Ｂの
途中に設けられたバルブＶ（通常閉じている）を
開いて、両者の圧力を等しくする。Ｖを開くのと
連動してＸ線源の高電圧源をオフにする。実際の
使用状態ではＸ線源と筐体１内との圧力差はgr／
cm2の値にすればきわめて小さいから窓Ｗの箔が破
れることはない。なお窓Ｗの箔は両側空間の圧力
が共に10-4torr以上の高真空なので特に気密に貼
着する必要はなく、単に窓に当接してあるだけで
充分目的は達せられる。
本考案Ｘ線光電子分析装置は上述したような構
成で試料をセツトした筐体に、試料の周囲に試料
に向けてイオン銃、Ｘ線源、電子エネルギー分析
部を設け、イオン銃、電子エネルギー分析部は
夫々の開口が小さいことを利用して真空技術的に
筐体と分離させ、Ｘ線源は箔の窓によつて筐体と
の境とすることにより夫々の空間を独立真空空間
として夫々が要求する真空度に保つようにしてあ
るので、一つの試料に対しイオン照射とＸ線照射
が同時にでき、イオンエツチングをしながらＸ線
光電子分析が行え、Ｘ線光電子分析の特徴である
試料の状態分析がダイナミツクにできることにな
り、Ｘ線光電子分析装置の分析上の能力用途の拡
大と云う面だけでなく、固体、薄膜等の電子材料
の構造解析に寄与する所きわめて大である。
【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示す縦断側面図であ
る。 １……本体筐体、２，４，５……排気装置、Ｉ
……イオン銃、Ｘ……Ｘ線源、Ｅ……電子エネル
ギー分析部、Ｓ……試料、Ｄ１，Ｄ２…真空計、
Ｖ……バルブ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 本体筐体内にセツトされた試料に向けて、イオ
    ン銃Ｘ線源及び電子エネルギー分析部を設けたも
    のにおいて、Ｘ線源、電子エネルギー分析部、筐
    体に各々排気装置を設けるとともに、筐体との境
    に、Ｘ線源は箔を張つた窓を、電子エネルギー部
    とイオン銃は各々小さな開口を設け、夫々の空間
    を独立真空々間として分離構成したＸ線光電子分
    析装置。
JP2443877U 1977-02-28 1977-02-28 Expired JPS6219969Y2 (ja)

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JP2443877U JPS6219969Y2 (ja) 1977-02-28 1977-02-28

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Publication Number Publication Date
JPS53119986U JPS53119986U (ja) 1978-09-25
JPS6219969Y2 true JPS6219969Y2 (ja) 1987-05-21

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60156445U (ja) * 1984-03-27 1985-10-18 株式会社島津製作所 Ｘ線光電子分光装置用の排気装置
JP2542569B2 (ja) * 1985-05-17 1996-10-09 株式会社島津製作所 Ｘ線光電子分光装置
JPH04303Y2 (ja) * 1989-12-07 1992-01-07

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JPS53119986U (ja) 1978-09-25

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