JPS60156445U - Ｘ線光電子分光装置用の排気装置 - Google Patents

Ｘ線光電子分光装置用の排気装置

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JPS60156445U
JPS60156445U JP4444584U JP4444584U JPS60156445U JP S60156445 U JPS60156445 U JP S60156445U JP 4444584 U JP4444584 U JP 4444584U JP 4444584 U JP4444584 U JP 4444584U JP S60156445 U JPS60156445 U JP S60156445U
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JP
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main pump
exhaust device
pump
photoelectron spectrometer
ray photoelectron
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勲 加藤
奥井　嘉明
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株式会社島津製作所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のＸ線光電子分光装置の排気装置の一実
施例のブロック図である。 図中、１は分析室、２はＸ線源室、３，１１゜１３．１
４，１５はパイプ、４と１２はターボ分子ポンプ、５は
アノード、６はフィラメント、７は励起電圧源、８はア
ルミニューム箔、１０は試料支持台、１６は大気圧導入
弁、１７はロータリポンプを示す。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）分析室と、分析室に面する側にアルミニューム箔
    を設けられたＸ線源室とを備えるものにおいて、Ｘ線源
    室に連接された超高真空形成用の−第１の主ポンプと、
    分析室に連接された超高真空形成用の第２の主ポンプと
    、前記した第１の主ポンプと第２の主ポンプとの背圧側
    の連通部に接続された真空形成用の第３のポンプと、前
    記連通部に接続された大気圧導入用の弁とを備えるＸ線
    光電子分光装置用の排気装置。
  2. （２）前記した第１の主ポンプと第２の主ポンプがター
    ボ分子ポンプ又は拡散ポンプである実用新案登録請求の
    範囲第１項記載のＸ線光電子分光装置用の排気装置。
JP4444584U 1984-03-27 1984-03-27 Ｘ線光電子分光装置用の排気装置 Granted JPS60156445U (ja)

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JPH0429402Y2 JPH0429402Y2 (ja) 1992-07-16

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53119986U (ja) * 1977-02-28 1978-09-25

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JPS53119986U (ja) * 1977-02-28 1978-09-25

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