JPS59154900U - タ−ボ分子ポンプの据付構造 - Google Patents

タ−ボ分子ポンプの据付構造

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JPS59154900U
JPS59154900U JP1983048813U JP4881383U JPS59154900U JP S59154900 U JPS59154900 U JP S59154900U JP 1983048813 U JP1983048813 U JP 1983048813U JP 4881383 U JP4881383 U JP 4881383U JP S59154900 U JPS59154900 U JP S59154900U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
molecular pump
installation structure
turbo molecular
turbo
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1983048813U
Other languages
English (en)
Inventor
古市　靖孝
潔 成田
川口　重一
岡村　治郎
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS59154900U publication Critical patent/JPS59154900U/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図は本考案の一実施例を示し、第１図は模
式的な断面図、第２図は第１図における■−■線断面図
、第３図は防振支持体の一部切欠した正面図である。第
４図〜第６図は本考案のそれぞれ他の実施例を示す防振
支持体の正面図、第７図、第８図は本考案のさらに他の
実施例を示す説明図である。 １・・・・・・ターボ分子ポンプ、３・・・・・・吸込
口、４゜４′、４″、４“′・・・・・・防振支持体、
５，５′・・・・・・フレーム、６・・・・・・弾性継
手、７・・・・・・被排気チャンバく。 第３図　　　　第４図 第５図　　　第６図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ターボ分子ポンプを弾性材により構成した防振支持体を
    介してフレームに支持させるとともにこのターボ分子ポ
    ンプの吸込口を弾性変形可能な弾性継手を介して被排気
    チャンバに接続したことを特徴とするターボ分子ポンプ
    の据付構造。
JP1983048813U 1983-03-31 1983-03-31 タ−ボ分子ポンプの据付構造 Pending JPS59154900U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016084811A (ja) * 2014-10-24 2016-05-19 プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー 真空ポンプ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5660895A (en) * 1979-10-25 1981-05-26 Jeol Ltd Evacuation system of electron microscope

Patent Citations (1)

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