JPS5985397U - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS5985397U JPS5985397U JP18061282U JP18061282U JPS5985397U JP S5985397 U JPS5985397 U JP S5985397U JP 18061282 U JP18061282 U JP 18061282U JP 18061282 U JP18061282 U JP 18061282U JP S5985397 U JPS5985397 U JP S5985397U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular pump
- turbo molecular
- turbo
- mounting
- gas introduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のターボ分子ポンプの外観図、第２図はこ
の考案のターボ分子ポンプの外観図、第３図はこの考案
のターボ分子ポンプの内部構造を除いた本体の断面図を
示す。 図中、１．５・・・本体、２・・・チャムバー、３・・
・真□空計、４・・・ガス導入パイプ、６．７・・・取
付孔。
の考案のターボ分子ポンプの外観図、第３図はこの考案
のターボ分子ポンプの内部構造を除いた本体の断面図を
示す。 図中、１．５・・・本体、２・・・チャムバー、３・・
・真□空計、４・・・ガス導入パイプ、６．７・・・取
付孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空計およびガス導入用パイプを取付けるための取付孔
をアルミ合金を使用してダイカストした本体上方部分に
一体的に形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18061282U JPS5985397U (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18061282U JPS5985397U (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985397U true JPS5985397U (ja) | 1984-06-09 |
| JPS6350473Y2 JPS6350473Y2 (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=30391573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18061282U Granted JPS5985397U (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985397U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207893A (ja) * | 1985-03-09 | 1986-09-16 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ターボ分子真空ポンプ用のケーシング |
| JPH03233193A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-17 | Japan Atom Energy Res Inst | 真空ポンプ |
-
1982
- 1982-12-01 JP JP18061282U patent/JPS5985397U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207893A (ja) * | 1985-03-09 | 1986-09-16 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ターボ分子真空ポンプ用のケーシング |
| JPH03233193A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-17 | Japan Atom Energy Res Inst | 真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6350473Y2 (ja) | 1988-12-26 |
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