JPS61207893A - ターボ分子真空ポンプ用のケーシング - Google Patents

ターボ分子真空ポンプ用のケーシング

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JPS61207893A
JPS61207893A JP61050728A JP5072886A JPS61207893A JP S61207893 A JPS61207893 A JP S61207893A JP 61050728 A JP61050728 A JP 61050728A JP 5072886 A JP5072886 A JP 5072886A JP S61207893 A JPS61207893 A JP S61207893A
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vacuum pump
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JP61050728A
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ルートガー・デーテルス
ハンス‐ペーター・カベリツツ
ギユンター・シユツツ
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold Heraeus GmbH
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
    • F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/5853—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps heat insulation or conduction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps

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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ターボ分子真空ポンプ（Ｔｕｒｂｏｍｃｉ−
１ｅｋｕｌａｒｖａｋｕｕｍｐｕｍｐｅ　）用のケーシ
ングであって、熱伝導性の良好な材料、例えばアルミニ
ウムから成る接続フランジ及びケーシング周壁を有して
いる形式のものに関する。接続フランジのだめの材料と
しては銅若しくは黄銅も考えられる。
ターボ分子真空ポンプは、ｉ　ｏ−”ミリバールまでの
最終圧力を生ぜしめる高圧及び超高圧真空ポンプに属す
る。容器内で前記最終圧力を所定の時間に生ぜしめるた
めには、容器を一般に２００°Ｃ１一時的によシ高く加
熱する必要がある。加熱によって、容器の内壁内に拡散
されたガス分子が比較的迅速に解放される。拡散された
ガス分子は最終圧力の達成を長時間にわたって妨げる。
超高圧真空ポンプの構成部分である容器は寸法の増大に
伴って接続フランジを含めてアルミニウムから製作され
る。この場合、有利には接続しようとするターボ分子真
空−ンゾのフランジもアルミニウムから成っている。そ
れというのは確実なＵＨＶ・７−ル（通常金属製のシー
ルリングを用いて行われる）は接続フランジと対向フラ
ンジが同じ材料（同じ熱膨張係数）から成っている場合
にだけ保証されるからである。　　　　゛従って、アル
ミニウムから成る容器を有するＵＨＶ・装置においては
一般にターボ分子真空ポンプのケーシングが接続フラン
ジを含めて同じくアルミニウムから成っている。銅若し
くは黄銅から成る容器においても事情は類似している。
前述の配置形式においては、欠点としてターボ分子真空
ポンプが容器の加熱中に同じく強く加熱され、これはロ
ータにとって一ロータ剛性、すなわち回転によって引張
負荷を受けるアルミニウム羽根の剛性が温度の上昇と共
に低下するーだけではなく、ロータの支承部にとって一
軸受グリスが高い温度（＞１３０°Ｃではもはや安定し
なくなるーも不都合なものである。
発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は、ターボ分子真空ポンプ用のケーシング
を改善して、ケーシングが容器の加熱中に不都合に強く
加熱されないようにすることである。
問題点を解決するた゛めの手段 前記課題を解決するために本発明の手段では、ケーシン
グ周壁が少なくとも接続フランジに続く区分で熱伝導性
を低く構成されている。
発明の効果 本発明により熱伝導性を低く構成されているケーシング
区分、すなわち熱流過阻止手段がケーシング、ひいては
ケーシング内に存在する構成部分、例えばロータ、支承
部及び類似のものの不都合な加熱を防止する。
実施例 ケーシング周壁が符号１で、接続開口が符号２で、接続
開口２を形成若しくは取囲む接続フランジが符号３で示
しである。接続フランジ３はアルミニウムから若しくは
黄銅あるいは銅のような熱伝導性の良好な別の材料から
成っている。ターボ分子真空ポンプ（Ｔｕｒｂｏｍｏｌ
ｅｋｕｌａｒ−ｖａｋｕｕｍｐｕｍｐｅ　）のほかの構
成部分は本発明の要旨ではないので図示してない。
第１図及び第２図の実施例においてケーシング周壁１は
接続フランジ３に直接に接続している。ケーシング周壁
は接続フランジの範囲（区分１′、第２図）だけを、若
しくは全体的（第１図）に熱伝導性の低い材料、例えば
特殊鋼から成っており、その結果接続フランジ３からケ
ーシング周壁１への熱の流れが強く阻止され、容器（図
示せず）の加熱段階のケーシング周壁の不都合に強い加
熱が避けられる。
第６図から第６図の実施例においては接続フランジ３と
ケーシング周壁１との間に熱流過阻止手段４が配置され
ている。
第６図の実施例では熱流過阻止手段４がリング状の区分
５から成っており、このリング状の区分は熱伝導性の低
い材料、例えば特殊鋼から成りケーシング周壁１と接続
フランジ３との間に溶接若しくははんだ付けされている
。
第４図の実施例は第６図の実施例に類似している。熱流
過阻止手段４は、同じく熱伝導性の低い材料から成るリ
ング６によって構成されている。熱の流れはリング６の
壁の厚さを部分的に小さくすることによって付加的に制
限される。
第５図の実施例においては、熱流過阻止手段４がアルミ
ニウムから成り周壁を蛇行させて形成したリング区分７
によって構成され接続フランジ３に接続している。蛇行
状のリング区分７によ゛つて熱の流れが制限される。
第６図の実施例においては接続フランジ３とケーシング
周壁１との間に蛇腹区分８が配置されている。蛇腹区分
は熱伝導性の低い材料、有利には特殊鋼から成っており
、接続フランジ３とケーシング周壁１との間で熱の流れ
が効果的に制限される。
熱流過阻止手段のだめの材料としてはおもに特殊鋼が考
えられる。特殊鋼の熱伝導性は１５であり、従ってアル
ミニウムの熱伝導性よりも係数１４だけ小さい。ニッケ
ル原料若しくは青銅原料も熱流過阻止手段のだめの材料
として考えられる。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、第３図、第４図、第５図、及び第６図
は本発明の種々異なる実施例の断面図である。 １・・・ケーシング周壁、１′・・・区分、２・・・接
続開口、３・・・接続フランジ、４・・・熱流過阻止手
段、５・・・区分、６・・・リング、７・・・リング区
分、８・・・蛇腹区分 派 （ｖ）Ｌｆ） １頁の続き 発　明　者　　ギュンター・シュツツ　　ドイツ連邦共
和国ケルアー

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ターボ分子真空ポンプ用のケーシングであつて、熱
    伝導性の良好な材料から成る接続フランジ及びケーシン
    グ周壁を有している形式のものにおいて、ケーシング周
    壁（１）が少なくとも接続フランジ（３）に続く区分（
    １′、４）で熱伝導性を低く構成されていることを特徴
    とする、ターボ分子真空ポンプ用のケーシング。 ２、接続フランジ（３）に接続するケーシング周壁（１
    ）が少なくとも接続フランジの範囲で熱伝導性の低い材
    料から成つている特許請求の範囲第１項記載のケーシン
    グ。 ３、接続フランジ（３）とケーシング周壁（１）との間
    に熱流過阻止手段（４）が配置されている特許請求の範
    囲第１項記載のケーシング。 ４、ケーシング周壁及び接続フランジがアルミニウムか
    ら成つており、熱流過阻止手段（４）が直接に接続フラ
    ンジに接続している特許請求の範囲第３項記載のケーシ
    ング。 ５、熱流過阻止手段（４）が壁厚の小さい及び（又は）
    蛇腹状のケーシング区分（５、６、７、８）によつて形
    成されている特許請求の範囲第３項又は第４項記載のケ
    ーシング。 ６、熱伝導性の低い材料から成るリング状のケーシング
    区分（５、６、７、８）が熱流過阻止手段（４）を形成
    している特許請求の範囲第３項又は第４項記載のケーシ
    ング。 ７、リング状のケーシング区分（５、６、８）が減少さ
    せられた壁厚及び（又は）蛇腹の形状を有している特許
    請求の範囲第６項記載のケーシング。 ８、熱流過阻止手段（４）を形成するリング状のケーシ
    ング区分（５、６、８）が特殊鋼から成つている特許請
    求の範囲第６項又は第７項記載のケーシング。
JP61050728A 1985-03-09 1986-03-10 ターボ分子真空ポンプ用のケーシング Expired - Lifetime JPH0823358B2 (ja)

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DE19853508483 DE3508483A1 (de) 1985-03-09 1985-03-09 Gehaeuse fuer eine turbomolekularvakuumpumpe
DE3508483.9 1985-03-09

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