JPH01190991A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH01190991A JPH01190991A JP63013582A JP1358288A JPH01190991A JP H01190991 A JPH01190991 A JP H01190991A JP 63013582 A JP63013582 A JP 63013582A JP 1358288 A JP1358288 A JP 1358288A JP H01190991 A JPH01190991 A JP H01190991A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- casing
- vacuum pump
- fixed member
- iron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）産業上の利用分野
本発明は加速器や核融合等の核物質実験等において使用
するのに好適な真空ポンプに関する。
するのに好適な真空ポンプに関する。
（２）従来の技術
近年、加速器や核融合等の核物理実験において、真空ポ
ンプとしてターボ分子ポンプの使用が増加し、その際分
子ポンプを磁場内でしばしば運転する。その場合、磁場
の強さによって分子ポンプにうず電流が発生し、そのた
め発熱や回転数の低下等の原因となっている。そこで従
来は１分子ポンプに磁気シールドを被せたり、セラミッ
クス等の絶縁体からなるロータを採用する方法がとられ
ていた。
ンプとしてターボ分子ポンプの使用が増加し、その際分
子ポンプを磁場内でしばしば運転する。その場合、磁場
の強さによって分子ポンプにうず電流が発生し、そのた
め発熱や回転数の低下等の原因となっている。そこで従
来は１分子ポンプに磁気シールドを被せたり、セラミッ
クス等の絶縁体からなるロータを採用する方法がとられ
ていた。
（３）発明が解決しようとする問題点
しかし、分子ポンプに磁気シールドを被せた場合は、磁
気シールドのためのスペースを要し、取扱いが煩雑とな
る等の欠点を有しており、ロータにセラミックスを採用
した場合は、加工が困難で高価となる等の問題点がある
。
気シールドのためのスペースを要し、取扱いが煩雑とな
る等の欠点を有しており、ロータにセラミックスを採用
した場合は、加工が困難で高価となる等の問題点がある
。
上記に鑑み、本発明は、これらの問題点を解楕しスペー
スをとらず廉価な真空ポンプを提供することを目的と、
する。
スをとらず廉価な真空ポンプを提供することを目的と、
する。
（４）問題点を解決するための手段
上記目的を達成するために、本発明は、筐体内に固定の
固定部材内に回転部材を回転して気体を圧縮排気する式
の真空ポンプにおいて、前記筐体及び固定部材の両方又
はどちらか一方を磁性材により構成したことを特徴とす
る。
固定部材内に回転部材を回転して気体を圧縮排気する式
の真空ポンプにおいて、前記筐体及び固定部材の両方又
はどちらか一方を磁性材により構成したことを特徴とす
る。
（５）作用
ポンプの筐体及びその内部に固定の固定部材の両方又は
どちらか一方を磁性材により構成しているため、これら
筐体及び固定部材が磁気シールド作用をし、かくて磁場
内でポンプを作動してもうず電流の発生を抑止し、ポン
プの性能低下を防止することができる。
どちらか一方を磁性材により構成しているため、これら
筐体及び固定部材が磁気シールド作用をし、かくて磁場
内でポンプを作動してもうず電流の発生を抑止し、ポン
プの性能低下を防止することができる。
（６）実施 例
以下、本発明の１実施例について図面により説明する。
図面は複合真空ポンプの構造を示す図であり、該ポンプ
の筐体（４）の下方中央部に駆動用モータ（１）が回転
軸（１ａ）を垂直にして設けられており、該回転軸（ｌ
ａ）にはねじ溝真空ポンプ部（２）を構成するねじ溝（
２ａ）を外周面に形成したロータ（２ｂ）が軸止され、
更に該ロータ（２ｂ）の外周に対し僅少の空隙からなる
ステータ（２ｃ）が前記筐体（４）の内周面に設けられ
ている。又前記ロータ（２ｂ）の上部には特定の傾斜角
を有する多数の放射状の動ｆｆ （３ａ）が多段に軸止
されており、且つ該動翼（３ａ）に対し交互に静翼（３
ｂ）がスペーサ（３Ｃ）により前記筐体（４）の内周面
に設けられている。（５）は前記駆動用モータ（１）の
保持筐体、（６）は吸気口、（７）は排気口、（８）は
前記回転軸（ｌａ）の潤滑用の油の油槽を示す。
の筐体（４）の下方中央部に駆動用モータ（１）が回転
軸（１ａ）を垂直にして設けられており、該回転軸（ｌ
ａ）にはねじ溝真空ポンプ部（２）を構成するねじ溝（
２ａ）を外周面に形成したロータ（２ｂ）が軸止され、
更に該ロータ（２ｂ）の外周に対し僅少の空隙からなる
ステータ（２ｃ）が前記筐体（４）の内周面に設けられ
ている。又前記ロータ（２ｂ）の上部には特定の傾斜角
を有する多数の放射状の動ｆｆ （３ａ）が多段に軸止
されており、且つ該動翼（３ａ）に対し交互に静翼（３
ｂ）がスペーサ（３Ｃ）により前記筐体（４）の内周面
に設けられている。（５）は前記駆動用モータ（１）の
保持筐体、（６）は吸気口、（７）は排気口、（８）は
前記回転軸（ｌａ）の潤滑用の油の油槽を示す。
上記の如き構成からなる複合真空ポンプのステータ（２
Ｃ）と、スペーサ（３Ｃ）の固定部材、及び筐体（４）
の両方又はどちらか一方を、鉄とけい素の合金（けい素
ｍ）又は鉄ニツケル合金（パーマロイ）等からなる鉄系
統磁性材料により形成する。
Ｃ）と、スペーサ（３Ｃ）の固定部材、及び筐体（４）
の両方又はどちらか一方を、鉄とけい素の合金（けい素
ｍ）又は鉄ニツケル合金（パーマロイ）等からなる鉄系
統磁性材料により形成する。
かくて、磁場内においてポンプを作動させた場合、ポン
プの筐体（４）及び固定部材が磁気的にシールドされる
ので、導電体であるロータ（２ｂ）等の回転体内のうず
電流の発生を抑止することができ、ポンプの性能の低下
を防止する。
プの筐体（４）及び固定部材が磁気的にシールドされる
ので、導電体であるロータ（２ｂ）等の回転体内のうず
電流の発生を抑止することができ、ポンプの性能の低下
を防止する。
尚、前記筐体（４）等の錆或いは腐食等に対してその表
面のコーティング等の処理により防止すればよい、又、
前記筐体（４）及び固定部材が前述した鉄系統の部材に
より磁化することが問題となる場合には、軟磁性材を使
用してもよく或いは磁化しないための許容値を設ければ
よく、該許容値は数１００ガウスの大きな値になる。
面のコーティング等の処理により防止すればよい、又、
前記筐体（４）及び固定部材が前述した鉄系統の部材に
より磁化することが問題となる場合には、軟磁性材を使
用してもよく或いは磁化しないための許容値を設ければ
よく、該許容値は数１００ガウスの大きな値になる。
尚、本実施例は複合真空ポンプの例であるが、単独のタ
ーボ分子ポンプ、或いはねじ溝真空ポンプの場合も同様
の構成とすることにより、耐磁場性能の低下を防止でき
る。
ーボ分子ポンプ、或いはねじ溝真空ポンプの場合も同様
の構成とすることにより、耐磁場性能の低下を防止でき
る。
（７）発明の効果
上記の如く、本発明によれば、筐体とその内部の固定部
材の両方又はどちらか一方を磁性材料により構成したの
で、これら筐体及び固定部材が磁気シールド作用をし、
かくて磁場中でポンプを作動してもうず電流の発生を抑
止してポンプの性能の低下を防止することができ、しか
も従来の如き煩雑でスペースを必要とする磁気シールド
を使用することもなく、又セラミック等の高価な材料の
ロータ製作を行うこともないので、小型にして廉価な真
空ポンプを提供することができる優れた効果を有する。
材の両方又はどちらか一方を磁性材料により構成したの
で、これら筐体及び固定部材が磁気シールド作用をし、
かくて磁場中でポンプを作動してもうず電流の発生を抑
止してポンプの性能の低下を防止することができ、しか
も従来の如き煩雑でスペースを必要とする磁気シールド
を使用することもなく、又セラミック等の高価な材料の
ロータ製作を行うこともないので、小型にして廉価な真
空ポンプを提供することができる優れた効果を有する。
図面は、本発明の１実施例を示す１部截断斜視図である
。 （２ｂ）・・・回転部材 （２ｃ） （３ｃ）・・・固定部材 （４）・・・筐体 出 願 人 株式会社大阪真空機器製作所図面の浄書
（内容に変更なし） 手続補正書（方式） ％式％ １、水性の表示 昭和６３年特許願第０１３５８２号 ２、発明の名称 ンシ ７＃７ 真空ポンプ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪府大阪市東区北浜３丁目６番地名称 株式会
社大阪真空機器製作所 ４、代理人 〒１０３ 住所 東京都中央区日本橋小伝馬町１６番８号５、補正
命令の日付 昭和６３年４月２６日 図面。 ７、補正の内容 ＷＲ占の最初に添付した図面。 別紙のとおり（内容に変更なし）：
。 （２ｂ）・・・回転部材 （２ｃ） （３ｃ）・・・固定部材 （４）・・・筐体 出 願 人 株式会社大阪真空機器製作所図面の浄書
（内容に変更なし） 手続補正書（方式） ％式％ １、水性の表示 昭和６３年特許願第０１３５８２号 ２、発明の名称 ンシ ７＃７ 真空ポンプ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪府大阪市東区北浜３丁目６番地名称 株式会
社大阪真空機器製作所 ４、代理人 〒１０３ 住所 東京都中央区日本橋小伝馬町１６番８号５、補正
命令の日付 昭和６３年４月２６日 図面。 ７、補正の内容 ＷＲ占の最初に添付した図面。 別紙のとおり（内容に変更なし）：
Claims (1)
- 筐体内に固定の固定部材内に回転部材を回転して気体を
圧縮排気する式の真空ポンプにおいて、前記筐体及び固
定部材の両方又はどちらか一方を磁性材により構成した
ことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013582A JPH01190991A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63013582A JPH01190991A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01190991A true JPH01190991A (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=11837171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63013582A Pending JPH01190991A (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01190991A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6589009B1 (en) * | 1997-06-27 | 2003-07-08 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| US6953317B2 (en) | 1997-06-27 | 2005-10-11 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| JP2011052628A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプ |
| WO2012018111A1 (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-09 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| GB2569648A (en) * | 2017-12-22 | 2019-06-26 | Edwards Ltd | Magnetic shield for a vacuum pump |
| EP3640481A1 (de) * | 2018-10-15 | 2020-04-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207893A (ja) * | 1985-03-09 | 1986-09-16 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ターボ分子真空ポンプ用のケーシング |
-
1988
- 1988-01-26 JP JP63013582A patent/JPH01190991A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207893A (ja) * | 1985-03-09 | 1986-09-16 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | ターボ分子真空ポンプ用のケーシング |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6953317B2 (en) | 1997-06-27 | 2005-10-11 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
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| WO2012018111A1 (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-09 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| CN103069173A (zh) * | 2010-08-06 | 2013-04-24 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵 |
| US20130129482A1 (en) * | 2010-08-06 | 2013-05-23 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
| JP5494807B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2014-05-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| GB2569648A (en) * | 2017-12-22 | 2019-06-26 | Edwards Ltd | Magnetic shield for a vacuum pump |
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