JPS6028297U - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

タ−ボ分子ポンプ

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JPS6028297U
JPS6028297U JP11964783U JP11964783U JPS6028297U JP S6028297 U JPS6028297 U JP S6028297U JP 11964783 U JP11964783 U JP 11964783U JP 11964783 U JP11964783 U JP 11964783U JP S6028297 U JPS6028297 U JP S6028297U
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JP
Japan
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molecular pump
turbo molecular
abstract
stator
rotor
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JP11964783U
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Inventor
潔 成田
川口　重一
岡村　治郎
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株式会社島津製作所
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Publication date
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示す半裁断面図である。 ３・・・・・・ロータ、５・・・・・・ステータ、６・
・・・・・排気口、７・・・・・・吸気口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ロータおよびステータの外径を吸気口から排気口に向っ
    て順次または段階的に小径化したことを特徴とするター
    ボ分子ポンプ。
JP11964783U 1983-07-30 1983-07-30 タ−ボ分子ポンプ Granted JPS6028297U (ja)

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JPS6028297U true JPS6028297U (ja) 1985-02-26
JPH0353037Y2 JPH0353037Y2 (ja) 1991-11-19

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60243393A (ja) * 1985-04-30 1985-12-03 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
JPH0161178U (ja) * 1987-10-15 1989-04-18

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5270409A (en) * 1975-12-06 1977-06-11 Pfeiffer Vakuumtechnik Turbomolecular pumps

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JPH0429836Y2 (ja) * 1987-10-15 1992-07-20

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JPH0353037Y2 (ja) 1991-11-19

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