JPS60163663U - 電子顕微鏡等の真空排気装置 - Google Patents

電子顕微鏡等の真空排気装置

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JPS60163663U
JPS60163663U JP5070684U JP5070684U JPS60163663U JP S60163663 U JPS60163663 U JP S60163663U JP 5070684 U JP5070684 U JP 5070684U JP 5070684 U JP5070684 U JP 5070684U JP S60163663 U JPS60163663 U JP S60163663U
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JP
Japan
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electron microscopes
container
evacuated
vacuum exhaust
vacuum
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Application number
JP5070684U
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English (en)
Inventor
功 松井
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は電子顕微鏡に用いられている従来の真空排気系
を示す図、第２図は本考案の一実施例の排気系を示す図
、第３図は他の実施例の排気系を示す図である。 １・・・真空容器、２・・・真空バルブ、３・・・予備
排　−管、４・・・主排管、５・・・真空バルブ、６・
・・油拡散ポンプ、又はターボモレキュラーポンプ、７
・・・真空バルブ、８・・田−タリーポンプ、９．１０
．１１・・・リークバルブ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　被排気容器を油回転ポンプとターボモレキュラーポ
    ンプの構成で真空排気する排気装置において被排気容器
    とターボ分子ポンプの接続を予備排管を用いない直結と
    したことを特徴とする電子顕微鏡の真空排気装置。 ２　実用新案登録請求の範囲において、ターボ分子ポン
    プと被排気容器間に真空遮断用バルブおよびリーク用バ
    ルブを設けたことを特徴とする電子顕微鏡等の真空排気
    装置。
JP5070684U 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡等の真空排気装置 Pending JPS60163663U (ja)

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JPS60163663U true JPS60163663U (ja) 1985-10-30

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ID=30569090

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01118190U (ja) * 1988-02-03 1989-08-09

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01118190U (ja) * 1988-02-03 1989-08-09

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