JPS60157994U - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS60157994U JPS60157994U JP4722084U JP4722084U JPS60157994U JP S60157994 U JPS60157994 U JP S60157994U JP 4722084 U JP4722084 U JP 4722084U JP 4722084 U JP4722084 U JP 4722084U JP S60157994 U JPS60157994 U JP S60157994U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- port
- drive shaft
- machine room
- turbo molecular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部切欠した
正面図、第２図は切換弁の原理説明図である。 ３・・・ポンプ室、１３・・・機械室、２３・・・切換
弁、２５・・・第１ポート、２６・・・第２ポート、２
８・・・ガスパージ系路、２９・・・大気リーク系路。
正面図、第２図は切換弁の原理説明図である。 ３・・・ポンプ室、１３・・・機械室、２３・・・切換
弁、２５・・・第１ポート、２６・・・第２ポート、２
８・・・ガスパージ系路、２９・・・大気リーク系路。
Claims (1)
- 駆動軸に支持されたロータを収容したポンプ室に、前記
駆動軸を回転可能に支承する軸受と前記駆動軸を回転さ
せるモータとを収容した機械室を隣設してなるターボ分
子ポンプにおいて、第１ポートと第２ポートとを前記機
械室に選択的に連通させる単一の切換弁を設け、この切
換弁の第１ポートを用いて、ポンプ駆動時に非腐食性ガ
スを前記機械室に導入するためのガスパージ系路を構成
するとともに、第２ポートを用いて、ポンプ停止時に大
気を前記機械室を介して前記ポンプ室に導入するための
大気リーク系路を構成したことを特徴とするターボ分子
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4722084U JPS60157994U (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4722084U JPS60157994U (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60157994U true JPS60157994U (ja) | 1985-10-21 |
| JPS6345597Y2 JPS6345597Y2 (ja) | 1988-11-25 |
Family
ID=30562350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4722084U Granted JPS60157994U (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60157994U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62114197U (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-20 | ||
| US10056740B2 (en) | 2013-03-25 | 2018-08-21 | Abb Schweiz Ag | Gas cooler for a medium voltage switchgear assembly |
| JP2021092219A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP4722084U patent/JPS60157994U/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62114197U (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-20 | ||
| US10056740B2 (en) | 2013-03-25 | 2018-08-21 | Abb Schweiz Ag | Gas cooler for a medium voltage switchgear assembly |
| JP2021092219A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6345597Y2 (ja) | 1988-11-25 |
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