JPS59154894U - タ−ボ分子ポンプの潤滑装置 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプの潤滑装置Info
- Publication number
- JPS59154894U JPS59154894U JP4881483U JP4881483U JPS59154894U JP S59154894 U JPS59154894 U JP S59154894U JP 4881483 U JP4881483 U JP 4881483U JP 4881483 U JP4881483 U JP 4881483U JP S59154894 U JPS59154894 U JP S59154894U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular pump
- lubrication system
- turbo molecular
- turbo
- pump lubrication
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示す概略断面図である。
２・・・・・・回転軸、３・・・・・・ハウジング、４
，５・・・・・・軸受（ころがり軸受）、９・・・・・
・潤滑装置、１１・・・・・・油通路、１２・・・・・
・流量制限手段（絞り通路）。
，５・・・・・・軸受（ころがり軸受）、９・・・・・
・潤滑装置、１１・・・・・・油通路、１２・・・・・
・流量制限手段（絞り通路）。
Claims (1)
- ロータを駆動する回転軸を、作動時に真空状態になるハ
ウジング内に配設した軸受によって枢支するようにした
ターボ分子ポンプにおいて、潤滑油を内部に貯留する油
通路を設け、この油通路の一端を流量制限手段を介して
前記軸受部に連通させるとともに、他端を大気に開放さ
せたことを特徴とするターボ分子ポンプの潤滑装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4881483U JPS59154894U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | タ−ボ分子ポンプの潤滑装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4881483U JPS59154894U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | タ−ボ分子ポンプの潤滑装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59154894U true JPS59154894U (ja) | 1984-10-17 |
| JPS6335197Y2 JPS6335197Y2 (ja) | 1988-09-19 |
Family
ID=30179336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4881483U Granted JPS59154894U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | タ−ボ分子ポンプの潤滑装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59154894U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4010768Y1 (ja) * | 1964-02-29 | 1965-04-13 | ||
| JPS5816394U (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-01 | 株式会社島津製作所 | タ−ボ分子ポンプ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5816394B2 (ja) * | 1975-07-01 | 1983-03-31 | ソニー株式会社 | Ｓｅｃａｍ ホウシキノカラ−デレビジヨンシンゴウノ イロフクチヨウカイロ |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP4881483U patent/JPS59154894U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4010768Y1 (ja) * | 1964-02-29 | 1965-04-13 | ||
| JPS5816394U (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-01 | 株式会社島津製作所 | タ−ボ分子ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6335197Y2 (ja) | 1988-09-19 |
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