JPS6335197Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、種々の真空機器分野で使用可能なタ
ーボ分子ポンプの潤滑装置に関するものである。

(ロ) 従来技術 ロータの回転により気体分子を機械的に吹き飛
ばして超高真空を得ることができるようにしたタ
ーボ分子ポンプにおいては、前記ロータを駆動す
る回転軸が、例えば、数万〜10万rpm程度の高速
で回転することになる。そのため、かかるポンプ
には、前記回転軸を支承する軸受部に潤滑用の油
やグリス（以下「潤滑油」と称す）を遂次供給す
るための潤滑装置を設ける必要がある。

しかしながら、かかる軸受部への潤滑油の供給
必要量は非常に微量であるため、遠心力等を利用
した通常の潤滑油強制循環方式や一般のグリスア
ツプ方式では、その供給量を適正な値に制御する
のが非常に難しく、特に、長期間にわたつて一定
の微小供給量を維持するのは困難である。

このような不具合に対処する方策としては、潤
滑油を内部に貯留する油通路を鉛直に設けてお
き、この油通路の下端をオリフイス等の流量制限
手段を介して軸受部に連通させるとともに、上端
を開放しておくことが考えられる。しかしなが
ら、このようなものは、ターボ分子ポンプを傾斜
させると油が流出してしまうという不具合があ
る。また、油通路の姿勢が鉛直あるいはそれに近
いものに限られるので、軸受部分に関する設計の
自由度が低くなるという問題がある。

(ハ) 目的 本考案は、このような事情に着目してなされた
もので、軸受部に対する潤滑油の供給量の制御を
自動的にかつ微妙に行なうことが可能であり、長
期間にわたつて一定の微小供給量を正確に維持す
ることができるとともに、取扱いや設計を容易に
することができるようにしたターボ分子ポンプの
潤滑装置を提供することを目的とするものであ
る。

(ニ) 構成 本考案は、かかる目的を達成するために、潤滑
油を内部に貯留する油通路を設け、この油通路の
一端を流量制限手段を介して軸受部に連通させる
とともに、他端側にハウジング内の圧力と大気圧
との圧力差によつてスライド可能な蓋体を設けた
ことを特徴とするものである。

(ホ) 実施例 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。

図面は、ターボ分子ポンプの全体を概略的に示
す断面図である。このポンプは、モータ１によつ
て超高速で回転駆動される回転軸２をハウジング
３に保持させた対をなすころがり軸受４，５によ
り支承し、この回転軸２の上端部に吸込口６から
取り入れた気体分子を機械的に吹き飛ばして吐出
口７側へ導くためのロータ８を取着してなる。そ
して、各ころがり軸受４，５部分に潤滑装置９を
設けている。潤滑装置９は、前記ハウジング３の
側壁３ａ内に断面円形の油通路１１を設け、この
油通路１１の一端１１ａを流量制限手段たる絞り
通路１２を介して対応する軸受４，５に連通させ
るとともに、該油通路１１の他端１１ｂを大気に
開放させている。そして、この油通路１１内に潤
滑油Ａを貯留している。なお、前記油通路１１の
他端近傍部には、前記潤滑油Ａが外部へ流出する
のを防ぐための蓋体１３がＯリング１４を介して
スライド可能に嵌合させてある。

次いで、この実施例の作用を説明する。まず吐
出口７の下流に接続した真空ポンプ（図示せず）
を作動させるとともに、モータ１を起動させて排
気運転を開始すると、ハウジング３内が真空状態
になる。これによつて、ケーシング３内に開口す
る油通路１１の一端１１ａ側と大気に開放した他
端１１ｂ側との間に一定の圧力差が生じる。その
ため、この油通路１１内の潤滑油Ａが逐次絞り通
路１２を通して軸受４，５へ供給されることにな
り、該軸受４，５の潤滑が行なわれる。この際蓋
体１３は、ハウジング内の圧力と大気圧との圧力
差に起因する力に付勢され前記潤滑油Ａの消費に
よる減量に伴つて奥の方へスライド移動してい
く。

なお、油通路はケーシングの側壁に穿設したポ
ート状のものに限らず、例えば、ケーシングの側
壁に設けたポートの外方端を上面に開口させるよ
うにしてもよい。さらにこの外方端にパイプやチ
ユーブを接続し、これらパイプやチユーブと前記
ポートとで油通路を構成してもよい。このように
すれば、潤滑油の保有量をいくらでも増大させる
ことができる。また、このパイプやチユーブを透
明体にすることもでき、この場合は、残油量を外
方より知ることができる。

さらに、流量制限手段は、絞り通路に限らず例
えば、ピンホールや狭小な連続空間を有した多孔
質材料を用いたもの等であつてもよい。

(ヘ) 効果 本考案は、以上のような構成であるから、次の
ような効果が得られる。

ハウジング内の真空圧と大気圧との圧力差によ
つて油通路内の潤滑油に一定の移動力を付与しこ
の移動力によつて該潤滑油を流量制限手段を介し
て軸受部に供給するようにしているので、流量制
限手段の絞り率等を選定することによつて潤滑油
の供給量を微妙に制御することができる。しか
も、前記圧力差は常に一定であるから、供給量を
一旦設定すれば、長期間にわたつて、その値を正
確に維持することができ、適正な微量供給を続け
ることができる。

さらに、油通路を大気に開放させてあるのでタ
ーボ分子ポンプの運転中、つまり、ハウジング内
部が真空状態に維持されている場合でも、潤滑油
の補給を行なうことができるという便利さがあ
る。

また、油通路にスライド可能な蓋体を設けてお
けば、蓋体のスライド位置によつて潤滑油の減少
量を外部から目視確認することができるという効
果が付加される。しかも、このような蓋体を設け
ておけば、油通路がどのような姿勢であつても、
その内部の潤滑油が流出することがない。そのた
め、ターボ分子ポンプ全体を移動させる場合の取
扱いが容易になるだけでなく、その軸受部分を設
計する場合に、油通路を都合のよい方向に設ける
ことができ、その設計自由度が大幅に向上すると
いう効果が得られる。

また、前述した実施例のように、長尺なチユー
ブやパイプを用いて油通路を構成すれば、半永久
的な潤滑油を最初にセツトしておくことも可能で
ある。すなわち、メンテナンスのためポンプの停
止が困難な場合や、危険が伴う場合には、軸受部
の寿命に相当する量の潤滑油を油通路に貯わえて
おけばよく、このようにすれば、潤滑に関するか
ぎりメンテナンスフリーとなる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示す概略断面図であ
る。 ２……回転軸、３……ハウジング、４，５……
軸受（ころがり軸受）、９……潤滑装置、１１…
…油通路、１２……流量制限手段（絞り通路）、
１３……蓋体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ロータを駆動する回転軸を、作動時に真空状態
   になるハウジング内に配設した軸受によつて枢支
   するようにしたターボ分子ポンプにおいて、潤滑
   油を内部に貯留する油通路を設け、この油通路の
   一端を流量制限手段を介して前記軸受部に連通さ
   せるとともに、他端側にハウジング内の圧力と大
   気圧との圧力差によつてスライド可能な蓋体を設
   けたことを特徴とするターボ分子ポンプの潤滑装
   置。