JPS63118393U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63118393U JPS63118393U JP925887U JP925887U JPS63118393U JP S63118393 U JPS63118393 U JP S63118393U JP 925887 U JP925887 U JP 925887U JP 925887 U JP925887 U JP 925887U JP S63118393 U JPS63118393 U JP S63118393U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- rotary shaft
- rotatably supported
- turbo
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わるねじ式真空ポンプの一
実施例を示す縦断側面図、第２図は従来のねじ式
真空ポンプを示す縦断側面図である。 １……ポンプの羽根車、３……回転軸、４……
スラストデイスク、６，７，８……ガスベアリン
グ、１５……ハウジング。
実施例を示す縦断側面図、第２図は従来のねじ式
真空ポンプを示す縦断側面図である。 １……ポンプの羽根車、３……回転軸、４……
スラストデイスク、６，７，８……ガスベアリン
グ、１５……ハウジング。
Claims (1)
- 吸気口と排気口とを有するハウジング内に回転
可能に支持された回転軸と、同回転軸に多段に取
付けられたポンプの羽根車とを具えたターボ型真
空ポンプにおいて、前記回転軸を前記ハウジング
内に回転可能に支持するガスベアリングを具えて
いることを特徴としたターボ型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP925887U JPS63118393U (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP925887U JPS63118393U (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63118393U true JPS63118393U (ja) | 1988-07-30 |
Family
ID=30794405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP925887U Pending JPS63118393U (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63118393U (ja) |
-
1987
- 1987-01-27 JP JP925887U patent/JPS63118393U/ja active Pending