JPH02112997U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02112997U JPH02112997U JP2182089U JP2182089U JPH02112997U JP H02112997 U JPH02112997 U JP H02112997U JP 2182089 U JP2182089 U JP 2182089U JP 2182089 U JP2182089 U JP 2182089U JP H02112997 U JPH02112997 U JP H02112997U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- wall surface
- casing
- molecular pump
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わるポンプの一部切欠き正
面図、第２図はロータの一部断面斜視図、第３図
はこの考案の他の実施例を示す一部断面斜視図、
第４図は従来例の一部切欠正面図及び第５図はそ
のロータの一部断面斜視図である。 １……ケーシング、２……ステータ翼、３……
ロータ、３ａ……外壁面、４……ロータ翼、５…
…ネジ溝、ロ……曲面、ａ……吸気口、ｂ……排
気口。
面図、第２図はロータの一部断面斜視図、第３図
はこの考案の他の実施例を示す一部断面斜視図、
第４図は従来例の一部切欠正面図及び第５図はそ
のロータの一部断面斜視図である。 １……ケーシング、２……ステータ翼、３……
ロータ、３ａ……外壁面、４……ロータ翼、５…
…ネジ溝、ロ……曲面、ａ……吸気口、ｂ……排
気口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ケーシングの内壁面に取付けられたステータ翼
と、上記ケーシングの内部に配置されたロータの
外壁面に取付けられたロータ翼とをロータの軸方
向に交互に配置し、上記ロータ翼を回転させてロ
ータ軸の一方向から吸気し他方向へ排気するター
ボ分子ポンプにおいて、 上記ロータの外壁面形状を曲面等に形成し、ガ
スの流れを急激に変化させないように構成したこ
とを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182089U JPH02112997U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182089U JPH02112997U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02112997U true JPH02112997U (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=31239385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2182089U Pending JPH02112997U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02112997U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016114059A (ja) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプの為のローター装置及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP2182089U patent/JPH02112997U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016114059A (ja) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプの為のローター装置及びその製造方法 |