JPH0475196U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0475196U JPH0475196U JP11721190U JP11721190U JPH0475196U JP H0475196 U JPH0475196 U JP H0475196U JP 11721190 U JP11721190 U JP 11721190U JP 11721190 U JP11721190 U JP 11721190U JP H0475196 U JPH0475196 U JP H0475196U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- vacuum pump
- spiral
- rotating body
- carved
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る複合型真空ポ
ンプの縦断面図、第２図は本考案の他の実施例に
係る複合型真空ポンプの縦断面図、第３図は従来
の複合型真空ポンプの縦断面図である。 １……回転体、１ａ……軸流段動翼、１ｂ……
軸流段静翼、９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ……ね
じ溝型ポンプ段、２１……吸気口、２２……排気
口。
ンプの縦断面図、第２図は本考案の他の実施例に
係る複合型真空ポンプの縦断面図、第３図は従来
の複合型真空ポンプの縦断面図である。 １……回転体、１ａ……軸流段動翼、１ｂ……
軸流段静翼、９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ……ね
じ溝型ポンプ段、２１……吸気口、２２……排気
口。
Claims (1)
- 静止側の円筒内でスパイラル状の第一の溝が刻
設された回転体が回転し吸気口から吸気した気体
を圧縮して排気口から排気する真空ポンプにおい
て、上記円筒に上記回転体と対峙して刻設され上
記第一の溝とねじ溝角度が軸心に対して互いに線
対称をなすスパイラル状の第二の溝を備えたこと
を特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11721190U JPH0475196U (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11721190U JPH0475196U (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475196U true JPH0475196U (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=31865093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11721190U Pending JPH0475196U (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0475196U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015117697A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60153494A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Hitachi Ltd | ねじ溝分子ポンプ |
| JPS60182394A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS6341695A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-22 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
-
1990
- 1990-11-09 JP JP11721190U patent/JPH0475196U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60153494A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Hitachi Ltd | ねじ溝分子ポンプ |
| JPS60182394A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS6341695A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-22 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015117697A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |