JPH0444497U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0444497U JPH0444497U JP8624690U JP8624690U JPH0444497U JP H0444497 U JPH0444497 U JP H0444497U JP 8624690 U JP8624690 U JP 8624690U JP 8624690 U JP8624690 U JP 8624690U JP H0444497 U JPH0444497 U JP H0444497U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- vacuum
- exhaust port
- blades
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図ないし第３図は本考案による排気装置の
一実施例を示す図であり、第１図は排気装置の断
面図、第２図はベース部の底面図、第３図はネジ
溝部の部分拡大図である。 １……全翼型ターボ分子ポンプ、２……複合型
真空ポンプ、４……吸気口、５，２４……ステー
タ翼、６，２６……スペーサ、１０，３３……ロ
ータ翼、１６……ベース部、１８……排気口、２
０……吸気口、３８……ネジ溝部。
一実施例を示す図であり、第１図は排気装置の断
面図、第２図はベース部の底面図、第３図はネジ
溝部の部分拡大図である。 １……全翼型ターボ分子ポンプ、２……複合型
真空ポンプ、４……吸気口、５，２４……ステー
タ翼、６，２６……スペーサ、１０，３３……ロ
ータ翼、１６……ベース部、１８……排気口、２
０……吸気口、３８……ネジ溝部。
Claims (1)
- 真空チヤンバ内に連通する吸気口が一端部に形
成され、他端部に設けられたベース部には排気口
が形成され、互いの相対回転により前記真空チヤ
ンバ内を超高真空にする複数の翼を有する全翼型
真空ポンプと、前記排気口に連通される吸気口が
形成された一端部が前記真空ポンプの他端部に同
一軸線上に直接連結され、互いの相対回転により
前記全翼型真空ポンプの排気口部を高真空にする
複数の翼、および壁面に対向するネジ溝部を有す
る複合型真空ポンプとを備えるとともに、少なく
とも前記全翼型真空ポンプの内部部材の表面に炭
素コーテイングを施したことを特徴とする排気装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8624690U JPH0444497U (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8624690U JPH0444497U (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0444497U true JPH0444497U (ja) | 1992-04-15 |
Family
ID=31817818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8624690U Pending JPH0444497U (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444497U (ja) |
-
1990
- 1990-08-16 JP JP8624690U patent/JPH0444497U/ja active Pending