JPS62114196U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62114196U JPS62114196U JP18484285U JP18484285U JPS62114196U JP S62114196 U JPS62114196 U JP S62114196U JP 18484285 U JP18484285 U JP 18484285U JP 18484285 U JP18484285 U JP 18484285U JP S62114196 U JPS62114196 U JP S62114196U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump body
- pump
- exhaust port
- observation window
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すターボ分子ポ
ンプの一部破断した断面図であり、第２図と第３
図は変形実施例を示す各要部の断面図である。 Ｐ……ポンプ室、１……ポンプ本体、２……オ
イルタンク、３……空冷フアン、４……ベース、
５……外枠、７……排気口、１０……ロータ翼、
１１……スペーサ、１２……ステータ翼、１７，
２０，２３……観察窓。
ンプの一部破断した断面図であり、第２図と第３
図は変形実施例を示す各要部の断面図である。 Ｐ……ポンプ室、１……ポンプ本体、２……オ
イルタンク、３……空冷フアン、４……ベース、
５……外枠、７……排気口、１０……ロータ翼、
１１……スペーサ、１２……ステータ翼、１７，
２０，２３……観察窓。
Claims (1)
- ポンプ本体の排気口側にその室内を覗く観察窓
を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18484285U JPS62114196U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18484285U JPS62114196U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62114196U true JPS62114196U (ja) | 1987-07-20 |
Family
ID=31132904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18484285U Pending JPS62114196U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62114196U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613027U (ja) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP18484285U patent/JPS62114196U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613027U (ja) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 |