JPS63132896U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63132896U JPS63132896U JP2426687U JP2426687U JPS63132896U JP S63132896 U JPS63132896 U JP S63132896U JP 2426687 U JP2426687 U JP 2426687U JP 2426687 U JP2426687 U JP 2426687U JP S63132896 U JPS63132896 U JP S63132896U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- blades
- rotor blades
- stator blades
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第1図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一
実施例を示す縦断側面図、第2図は従来のターボ
分子ポンプを示す縦断側面図である。 1……ケーシング、2……吸気口、3……排気
口、4……静翼、4a……静翼4の翼形成部、4
b……静翼4の翼基端部、5……動翼、5a……
動翼5の翼形成部、5b……惑翼5の翼基端部、
6,7……回転体。
実施例を示す縦断側面図、第2図は従来のターボ
分子ポンプを示す縦断側面図である。 1……ケーシング、2……吸気口、3……排気
口、4……静翼、4a……静翼4の翼形成部、4
b……静翼4の翼基端部、5……動翼、5a……
動翼5の翼形成部、5b……惑翼5の翼基端部、
6,7……回転体。
Claims (1)
- 回転体側の動翼とケーシング側の静翼とを交互
に配設したターボ分子ポンプにおいて、前記各動
翼及び前記各静翼のうち、少なくとも一方の翼形
状部先端を相手側の翼基端部よりも半径方向に延
長したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2426687U JPS63132896U (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2426687U JPS63132896U (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63132896U true JPS63132896U (ja) | 1988-08-30 |
Family
ID=30823340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2426687U Pending JPS63132896U (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63132896U (ja) |
-
1987
- 1987-02-23 JP JP2426687U patent/JPS63132896U/ja active Pending