JPH023098U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH023098U JPH023098U JP7943088U JP7943088U JPH023098U JP H023098 U JPH023098 U JP H023098U JP 7943088 U JP7943088 U JP 7943088U JP 7943088 U JP7943088 U JP 7943088U JP H023098 U JPH023098 U JP H023098U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- casing
- shaft
- peripheral surface
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第1図は本考案によるターボ分子ポンプの一実
施例を示す図、第2図はロータの従来形状と本実
施例の形状の説明図、第3図、第4図は動翼の変
形および最大主応力分布の説明図、第5図は従来
のターボ分子ポンプの断面図である。 1……ケーシング、2……動翼、4……静翼、
101……ロータ、102,103……溝、90
1……モータシヤフト、902……棒ヒータ用穴
。
施例を示す図、第2図はロータの従来形状と本実
施例の形状の説明図、第3図、第4図は動翼の変
形および最大主応力分布の説明図、第5図は従来
のターボ分子ポンプの断面図である。 1……ケーシング、2……動翼、4……静翼、
101……ロータ、102,103……溝、90
1……モータシヤフト、902……棒ヒータ用穴
。
Claims (1)
- 静翼が内周面に配設されたケーシングと、この
ケーシングの内部に配置された外周面に動翼が配
設されたロータと、このロータの中心軸となるシ
ヤフトとを有するターボ分子ポンプにおいて、前
記ロータに周方向溝を形成し、前記シヤフトに軸
方向を形成したことを特徴とするターボ分子ポン
プ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7943088U JPH023098U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7943088U JPH023098U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH023098U true JPH023098U (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=31304309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7943088U Pending JPH023098U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH023098U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5391753A (en) * | 1977-01-24 | 1978-08-11 | Toshiba Corp | Optical fiber covering stripper |
JPH03196995A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チューブ切断工具とチューブ切断用把持具 |
JPH052523U (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-14 | 栄治 上芝 | ストリツパー |
JP2013100827A (ja) * | 2013-02-27 | 2013-05-23 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプのロータ |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP7943088U patent/JPH023098U/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5391753A (en) * | 1977-01-24 | 1978-08-11 | Toshiba Corp | Optical fiber covering stripper |
JPH03196995A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | チューブ切断工具とチューブ切断用把持具 |
JPH052523U (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-14 | 栄治 上芝 | ストリツパー |
JP2013100827A (ja) * | 2013-02-27 | 2013-05-23 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプのロータ |