JPH0337298U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0337298U JPH0337298U JP9682689U JP9682689U JPH0337298U JP H0337298 U JPH0337298 U JP H0337298U JP 9682689 U JP9682689 U JP 9682689U JP 9682689 U JP9682689 U JP 9682689U JP H0337298 U JPH0337298 U JP H0337298U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- rotating shaft
- molecular pump
- turbo
- stator vanes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第1図は本考案に係るターボ分子ポンプを示す
断面図、第2図は同じく本考案におけるターボ分
子ポンプのスペーサを示す断面図、第3図および
第4図は他の実施例を示す断面図、第5図は従来
のターボ分子ポンプを示す断面図である。 21……外部ケーシング、21c……内フラン
ジ、24……静翼、25……スペーサ、26……
内部ケーシング、27……回転軸、30……駆動
装置、33……回転体、34……動翼、36……
環状突子。
断面図、第2図は同じく本考案におけるターボ分
子ポンプのスペーサを示す断面図、第3図および
第4図は他の実施例を示す断面図、第5図は従来
のターボ分子ポンプを示す断面図である。 21……外部ケーシング、21c……内フラン
ジ、24……静翼、25……スペーサ、26……
内部ケーシング、27……回転軸、30……駆動
装置、33……回転体、34……動翼、36……
環状突子。
Claims (1)
- スペーサによつて軸線方向に多段に配列された
静翼をその内部に有するケーシングと、このケー
シング内に設けられ駆動装置によつて回転する回
転軸と、この回転軸上に固定され前記静翼に対応
する動翼をその外周面に有する回転体とを備えた
ターボ分子ポンプにおいて、前記スペーサの両端
面のうち少なくとも吸込側の端面と前記ケーシン
グとの間にシールリングを介装したことを特徴と
するターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9682689U JPH0337298U (ja) | 1989-08-19 | 1989-08-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9682689U JPH0337298U (ja) | 1989-08-19 | 1989-08-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0337298U true JPH0337298U (ja) | 1991-04-11 |
Family
ID=31646007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9682689U Pending JPH0337298U (ja) | 1989-08-19 | 1989-08-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0337298U (ja) |
-
1989
- 1989-08-19 JP JP9682689U patent/JPH0337298U/ja active Pending