JPS6110994U - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

タ−ボ分子ポンプ

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JPS6110994U
JPS6110994U JP9521984U JP9521984U JPS6110994U JP S6110994 U JPS6110994 U JP S6110994U JP 9521984 U JP9521984 U JP 9521984U JP 9521984 U JP9521984 U JP 9521984U JP S6110994 U JPS6110994 U JP S6110994U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
molecular pump
turbo molecular
turbo
rotor
axial direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9521984U
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English (en)
Inventor
光穂 米山
修己 松下
新次郎 上田
伸夫 妻木
剛 岡和田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP9521984U priority Critical patent/JPS6110994U/ja
Publication of JPS6110994U publication Critical patent/JPS6110994U/ja
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のターボ分子ポンプの断面図、釆 ＩＩ
２１ 第２図は、本考案の一実施例の断面図、第３図は他の実
施例の断面図である。 １・・田一タ、２・・・駆動モータ、５・・・吸込口、
６・・・動翼、７・・・ケーシング、８・・・静翼、９
・・・吐出口、１１・・・軸方向センサ、１２・・・半
径方向センサ、１３・・・ミニチュアドライベアリング
、１４・・・ピボット軸受、１５・・・永久磁石。 ″ＶＪ ３

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ロータの外周に軸線方向に多数に設けられた動翼とその
    外側に位置したケーシング内に静翼、を備え、碑気浮上
    により回転するターボ分子ポンプにおいて、ロータの外
    周あるいは内周の静止側に複数個のミニチュアベアリン
    グを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
JP9521984U 1984-06-27 1984-06-27 タ−ボ分子ポンプ Pending JPS6110994U (ja)

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JP9521984U JPS6110994U (ja) 1984-06-27 1984-06-27 タ−ボ分子ポンプ

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JPS6110994U true JPS6110994U (ja) 1986-01-22

Family

ID=30654236

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JP9521984U Pending JPS6110994U (ja) 1984-06-27 1984-06-27 タ−ボ分子ポンプ

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