JPH01134796U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01134796U JPH01134796U JP2984988U JP2984988U JPH01134796U JP H01134796 U JPH01134796 U JP H01134796U JP 2984988 U JP2984988 U JP 2984988U JP 2984988 U JP2984988 U JP 2984988U JP H01134796 U JPH01134796 U JP H01134796U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding cylinder
- annular permanent
- rotor
- thrust
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims 2
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一
実施例の軸受部分を示す縦断側面図、第２図は同
ターボ分子ポンプの全体を示す縦断側面図、第３
図乃至第５図は軸受部分の他の実施例を示す縦断
側面図、第６図乃至第９図は試験結果を示す説明
図、第１０図は従来のターボ分子ポンプを示す縦
断側面図、第１１，１２，１３図は従来のターボ
分子ポンプの軸受部分を拡大して示す縦断側面図
である。 １……ケーシング、２……吸気口、３……排気
口、４……静翼、５……動翼、６……ロータ、７
……ロータ６の回転軸、８……回転側の環状永久
磁石、９……非回転側の環状永久磁石、１０……
保持筒、１４……モータ、１５……磁石カバー、
１６……磁性リング、１７……ダンパカバー、１
８……スラストリング、１９……スラストカバー
、２０……永久磁石。
実施例の軸受部分を示す縦断側面図、第２図は同
ターボ分子ポンプの全体を示す縦断側面図、第３
図乃至第５図は軸受部分の他の実施例を示す縦断
側面図、第６図乃至第９図は試験結果を示す説明
図、第１０図は従来のターボ分子ポンプを示す縦
断側面図、第１１，１２，１３図は従来のターボ
分子ポンプの軸受部分を拡大して示す縦断側面図
である。 １……ケーシング、２……吸気口、３……排気
口、４……静翼、５……動翼、６……ロータ、７
……ロータ６の回転軸、８……回転側の環状永久
磁石、９……非回転側の環状永久磁石、１０……
保持筒、１４……モータ、１５……磁石カバー、
１６……磁性リング、１７……ダンパカバー、１
８……スラストリング、１９……スラストカバー
、２０……永久磁石。
Claims (1)
- 上部に吸気口を、側壁下部に排気口を、それぞ
れ設け且つ内周面に複数の静翼を突設し且つ下部
内に油溜を形成したケーシングと、同ケーシング
内に立設した保持筒と、上記各静翼に対応して外
周面に複数の動翼を突設し且つ同保持筒と同保持
筒内に嵌挿したロータの回転軸とにより回転可能
に支持されたロータと、上記回転軸と上記保持筒
との間に設けたモータとを具えているターボ分子
ポンプにおいて、前記保持筒及び前記ロータの少
なくとも一方に軸方向に間隔を置いて複数個の環
状永久磁石を取付け、同保持筒及び同ロータの他
方に上記各環状永久磁石に対し半径方向に間隔を
置いて環状永久磁石を取付け、同保持筒に上記回
転側環状永久磁石に対し軸方向に間隔を置いて強
磁性のスラストリングまたはスラスト磁石を取付
けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構
成し、前記各環状永久磁石の端部に磁性リングを
配設し、前記保持筒に取付けた非回転側の環状永
久磁石を電気抵抗の小さいダンパカバーにより被
覆し、前記保持筒に取付けた強磁性のスラストリ
ングまたはスラスト磁石を電気抵抗の小さいスラ
ストカバーにより被覆したことを特徴とするター
ボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988029849U JP2527245Y2 (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988029849U JP2527245Y2 (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01134796U true JPH01134796U (ja) | 1989-09-14 |
| JP2527245Y2 JP2527245Y2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=31254420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988029849U Expired - Lifetime JP2527245Y2 (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2527245Y2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841295A (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 高速回転に適した構造の磁気軸受を応用した軸流分子ポンプ |
| JPS5993995A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-05-30 | アルツ−ル・フアイフエル・ヴア−クウムテクニツク・ヴエツツラ−・ゲ−エムベ−ハ− | ポンプ |
| JPS59144815A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-20 | Hitachi Ltd | 立形回転機械の軸受装置 |
| JPS61207892A (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-16 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS62282191A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-08 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
-
1988
- 1988-03-08 JP JP1988029849U patent/JP2527245Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841295A (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 高速回転に適した構造の磁気軸受を応用した軸流分子ポンプ |
| JPS5993995A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-05-30 | アルツ−ル・フアイフエル・ヴア−クウムテクニツク・ヴエツツラ−・ゲ−エムベ−ハ− | ポンプ |
| JPS59144815A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-20 | Hitachi Ltd | 立形回転機械の軸受装置 |
| JPS61207892A (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-16 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS62282191A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-08 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2527245Y2 (ja) | 1997-02-26 |
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