JPS6429289U - - Google Patents

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JPS6429289U
JPS6429289U JP1987123099U JP12309987U JPS6429289U JP S6429289 U JPS6429289 U JP S6429289U JP 1987123099 U JP1987123099 U JP 1987123099U JP 12309987 U JP12309987 U JP 12309987U JP S6429289 U JPS6429289 U JP S6429289U
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JP
Japan
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rotor
annular permanent
holding cylinder
attached
permanent magnet
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JP1987123099U
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JPH0749039Y2 (ja
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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一
実施例の軸受部分を示す縦断側面図、第２図は同
ターボ分子ポンプの全体を示す縦断側面図、第３
図乃至第５図は軸受部分の他の実施例を示す縦断
側面図、第６図は従来のターボ分子ポンプを示す
縦断側面図、第７，８図は同従来のターボ分子ポ
ンプの軸受部分を示す縦断側面図である。 １……ケーシング、２……吸気口、３……排気
口、４……静翼、５……動翼、６……ロータ、７
……ロータ６の回転軸、８……回転側の環状永久
磁石、９……非回転側の環状永久磁石、１０……
保持筒、１４……モータ、１５……磁石カバー、
１６……磁性リング、１７……ダンパカバー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上部に吸気口を、側壁下部に排気口を、それぞ
    れ設け且つ内周面に複数の静翼を突設したケーシ
    ングと、同ケーシング内に立設して下部内に油溜
    を形成した保持筒と、上記各静翼に対応して外周
    面に複数の動翼を突設し且つ同保持筒と同保持筒
    内に嵌挿したロータの回転軸とにより回転可能に
    支持されたロータと、上記回転軸と上記保持筒と
    の間に設けたモータとを具えているターボ分子ポ
    ンプにおいて、前記保持筒及び前記ロータの少な
    くとも一方に軸方向に間隔を置いて複数個の環状
    永久磁石を取付け、同保持筒及び同ロータの他方
    に上記各環状永久軸受に対し半径方向に間隔を置
    いて環状永久磁石を取付けて、前記ロータを回転
    可能に支持する軸受を構成し、前記各環状永久磁
    石の端部に磁性リングを配設し、前記保持筒に取
    付けた非回転側の環状永久磁石を電気抵抗の小さ
    いダンパカバーにより被覆し、前記ロータに取付
    けた回転側の環状永久磁石を電気抵抗の大きい磁
    石カバーにより被覆したことを特徴とするターボ
    分子ポンプ。
JP1987123099U 1987-08-13 1987-08-13 ターボ分子ポンプ Expired - Lifetime JPH0749039Y2 (ja)

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JP1987123099U JPH0749039Y2 (ja) 1987-08-13 1987-08-13 ターボ分子ポンプ

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Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6429289U true JPS6429289U (ja) 1989-02-21
JPH0749039Y2 JPH0749039Y2 (ja) 1995-11-13

Family

ID=31371639

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JP1987123099U Expired - Lifetime JPH0749039Y2 (ja) 1987-08-13 1987-08-13 ターボ分子ポンプ

Country Status (1)

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JP (1) JPH0749039Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020145150A1 (ja) * 2019-01-10 2020-07-16 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
WO2020240621A1 (ja) * 2019-05-24 2020-12-03 株式会社島津製作所 真空ポンプおよび磁気軸受一体型モータ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020145150A1 (ja) * 2019-01-10 2020-07-16 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
WO2020240621A1 (ja) * 2019-05-24 2020-12-03 株式会社島津製作所 真空ポンプおよび磁気軸受一体型モータ
JPWO2020240621A1 (ja) * 2019-05-24 2020-12-03

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0749039Y2 (ja) 1995-11-13

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