JPH03237296A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 この発明は、固定翼と回転翼との相対的回転によるター
ボｗｍによって分子の流れを方向づけ気体分子を排出し
て真空を得るターボ分子ポンプに関するものである。

Ｂ、従来の技術 従来に於けるこの種ターボ分子ポンプにおいては回転翼
の回転は電動機によって行っているが、たとえば特開昭
６１−２４７８９４号「ターボ分子ポンプ」にも示され
るように電動機の出力軸端に回転翼が直結された状態で
ある。この構成は縦形のみならず横形の場合でも同様で
ある。

Ｃ１発明が解決しようとする問題点 従来のターボ分子ポンプの場合、電動機はその出力軸芯
長が比較的長く、したがってその出力軸端に回転翼が直
結された状態ではポンプの軸芯長が非常に大きくならざ
るを得ない。大容量の場合は電動機の大形となりこの傾
向は増大する。軸芯長の増大はポンプの大形化、重量化
を招来する。

この発明はこのような問題点を解決するターボ分子ポン
プを提供せんとするものである。

Ｄ０問題点を解決するための手段 この発明によるターボ分子ポンプは、電動機について新
規な構成のものを利用するものである。

すなわち一定の空隙をおいて対向配置された外側固定子
および内側固定子と、これらの空隙間に挿入されたリン
グ状回転子から成力、両固定子と回転子間の電磁力作用
によりリング状回転子にトルクを発生させる構成のもの
である。このリング形電動機のリング状回転子に前記分
子ポンプの回転翼を連結して構成するのである。

Ｅ０作用 リング状回転子に対して連結される分子ポンプの回転翼
はそのリングの内方または外方に位置することができる
から軸芯長はリング形電動機の軸芯長になる。

Ｆ、実施例 以下、図面に示す実施例にしたがってこの発明を説明す
る。

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの構成全体を
示す縦断面図であり、第２図は第１図における■−■面
図である。第２図はリング形電動機のの構成を説明する
ためのもので、その軸芯と垂直の断面が示されている。

まず第１図にしたがってターボ分子ポンプの構成につい
て説明する０図において２が固定翼であってポンプクー
シング１の内壁側に一定の間隔で複数段固定付設されて
いる。３はこの固定翼２に対し回転筒１０に一定の間隔
で複数段固定付設され外方に延設された回転翼である。

固定翼２と回転翼３は交互に組合わされて両者によって
ターボ機構が構成されるのである。そして回転翼３の高
速回転によって固定翼２と回転翼３間に相対的回転をつ
くり、分子の流れを方向づけ、気体分子を吸気口Ｐから
排気口Ｈへと排出し、吸気口Ｐに連接される被排気室（
図示せず）の真空を得るのである。１５は脚である。

以上は従来と異なるところはなく公知の技術である。

さてこの発明は以上の構成において、回転翼３の高速回
転をリング形電動機ＲＨで行わせるようにしたところに
特徴を有するものである。

このリング形電動機ＲＨはたとえば実開昭６１−１７１
４６５号「検出器付き電動機Ｊ公報にその具体的な構成
が開示されており、詳細はこの公報の記載内容に委ねる
。したがって、第１図、第２図は概略的に記載している
が、以下これらの図面にしたがって説明する。

すなわち図において５はリング形電動機ＲＨを構成する
一部品であって、一定の空隙をおいて対向配置されたリ
ング状の外側固定子６および内側固定子７を固定的に収
納保持する環状保持筒であり、中央の固定保持筒４の上
部に嵌挿されている。

そして８は外側固定子６および内側固定子７の空隙間に
挿入されたリング状回転子で、その上端は接続環９を介
して回転筒１０に一帯的に固定されている。この回転筒
１０が回転翼３の基体となっているのである。　ＩＯＲ
は回転筒１０の端部に付設された補強リングで、回転筒
１０の高速回転による外方への拡張変形を防止するため
のものである。

回転筒１０は中央の支軸１１が軸受機構１２．１３．１
４を介して支持されていて、高速回転を保障する。軸受
機構１２．１３は磁気軸受であり、軸受ａ！楕１４は玉
軸受である。そして磁気軸受１２．１３．玉軸受１４は
共にスラストとアキシャル両方を支持する。

このようなリング形電動ｌＲＲＭによって回転翼３が高
速回転され、固定翼２と回転翼３間に相対的回転をつく
り、分子の流れを方向づけ、気体分子を吸気口Ｐから排
気口Ｈへと排出し、吸気口Ｐに連接される被排気室（図
示せず）の真空を得るのである。

この発明の特徴は以上のとおりであるが、上記ならびに
図示例に限定されることなく、種々の変形例を包含する
ものである。たとえばリング形電動機ＲＨを同芯円的に
二重、三重に配設しリング状回転子を二重、三重形にし
てトルクを大きくする工夫も出来る。また回転筒１０の
回転翼３取付部分の筒を図示例以外に台形状にすること
もできる。

上下の軸受機構についても図示例に限定されることなく
、たとえば上と下との軸受機構を逆にしてもよいし、あ
るいは上下の軸受機構を共に磁気軸受又は玉軸受として
もよい、この発明はこれら全てを包含する。

Ｇ１発明の効果 この発明は以上説明したとおりであるから、ボンプとし
ての軸長長さを短縮でき、ターボ分子ボン１を小形化、
軽量化を図ることができる。またリング形電動機を使用
するから、リング状回転子により大きいトルクによって
回転翼を高速回転でき、排気特性を高めることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの構成全体を
示す縦断面図、第２図は第１図における■−■面図であ
る。 １・・・ポンプケーシング、２・・・固定翼、３・・・
回転翼　４・・・固定保持筒車、５・・・環状保持筒永
久磁石６−・・外側固定子、７・・・内側固定子、８・
・・リング状回転子　９・・・接続環　１０・・・回転
筒Ｐ・・・吸気口、Ｈ・・・排気口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 固定翼と回転翼との相対的回転によるターボ機構によっ
   て分子の流れを方向づけ気体分子を排出して真空を得る
   分子ポンプであって、一定の空隙をおいて対向配置され
   た外側固定子および内側固定子と、これらの空隙間に挿
   入されたリング状回転子から成り、両固定子と回転子間
   の電磁力作用によりリング状回転子にトルクを発生させ
   るリング形電動機を設け、このリング形電動機のリング
   状回転子に前記分子ポンプの回転翼を連結したことを特
   徴とするターボ分子ポンプ。