JPH0261387A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

ターボ分子ポンプ

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Publication number
JPH0261387A
JPH0261387A JP63209644A JP20964488A JPH0261387A JP H0261387 A JPH0261387 A JP H0261387A JP 63209644 A JP63209644 A JP 63209644A JP 20964488 A JP20964488 A JP 20964488A JP H0261387 A JPH0261387 A JP H0261387A
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JP
Japan
Prior art keywords
rotor
blade
top edge
peripheral speed
rotor blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63209644A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiro Shinojima
篠島　一広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Seiki KK
Original Assignee
Seiko Seiki KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Seiki KK filed Critical Seiko Seiki KK
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Priority to US07/397,764 priority patent/US5033936A/en
Publication of JPH0261387A publication Critical patent/JPH0261387A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D5/00—Blades; Blade-carrying members; Heating, heat-insulating, cooling or antivibration means on the blades or the members
    • F01D5/02—Blade-carrying members, e.g. rotors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
    • F04D29/324—Blades

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ターボ分子ポンプに係り、特にロータ翼の
形状を翼外径に応じた最適なものに設定するようにして
排気速度を上げることにより、性能の向上を図ったター
ボ分子ポンプに関する。
（従来の技術） 従来のターボ分子ポンプは第４図〜第７図に示すような
ものである。
すなわち、第４図において、略円筒状に形成されたケー
シング１の内壁面には複数のステータ翼２が軸方向に配
設されており、その内側に配置されたロータ３の外壁面
には複数のロータ翼４が常時ステータ翼２と交互に軸方
向に配設されている。
そして、ロータ３は中空状のステータコラム５により軸
受されており、この軸受としてステータコラム５に設け
られた軸方向電磁石６．径方向電磁石７とからなる磁気
軸受により、ロータ３の径方向および軸方向において浮
揚状態で軸受されている。
さらに、ステータコラム５に設けられた高周波モータ８
によりロータ３は回転駆動されており、ロータ３の軸方
向位置、径方向位置は各センサ９゜１０により各々検出
されるとともに、停電や回路異常時など磁気軸受の制御
不能時には、磁気軸受とロータ３との衝突を防止するた
めに保護用ドライベアリング１１．１２がステータコラ
ム５の上下側に各々設けられている。
ところで、このようなターボ分子ポンプにおいてはロー
タ３を高速回転させることにより、ステータ翼２とロー
タ翼４との間においてガスの分子流を誘起して排気を行
ない超真空を得るのであるが、この場合、排気速度はロ
ータ翼Ａの開口率。
相対翼間隔およびガスの分子との相対速度等により決定
される。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来におけるロータ翼４の翼角度αは第
７図に特に明瞭に示すようにロータ翼Ａの根元から先端
に至るまで全て同じであり、これがため排気速度に限界
があり改良が望まれていた。
この発明は、上記のような事情に鑑みなされたもので、
その目的とするところは、排気速度を上げることにより
真空度を早く達成できる性能の優れたターボ分子ポンプ
を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するためのこの発明の構成は、ケーシン
グの内壁面に取付けられたステータ翼と、上記ケーシン
グの内部に配置されたロータの外壁面に取付けられたロ
ータ翼とを、上記ロータの軸方向に交互に配設するとと
もに、上記ロータあるいはロータシャフトをステータコ
ラムにより回転自在に支持してなるターボ分子ポンプに
おいて、上記ロータ翼をその翼角度が根元から先端に行
くに従い次第に小さくなるように形成したことを特徴と
するものである。
（作用） 上記のようなこの発明の構成によれば、ロータ翼の根元
から先端までの各部位における周速に最適なロータ翼の
開口率、相対翼間隔が得られ、排気速度を上げることが
できる。
（実施例） 以下、この発明に係る実施例を第１図〜第３図を基に説
明する。
第１図〜第３図において、ロータ１５のロータ翼１６に
おいては、その翼角度が根元から先端に行くに従い次第
に小さくなるように形成されている。すなわち、第３図
に示すように、ロータ翼１６の根元は点線で示すように
なっておりその翼角度はα１　（例えば４５度）であり
、先端は実線で示すような端面図になっておりその翼角
度はα２（例えば１０度）である。
このようなロータ翼１６にあっては、周速の遅い根元に
おいては従来と同等のその部位における開口率であり、
径が大きくなるにつれて周速が速くなるが各部位におけ
る開口率は従来に比して次第に減少し、最も速い周速で
ある先端においては開口率が最も減少する。
したがって、ロータ翼１６にあっては径の変化によるロ
ータ翼と隣りのロータ翼との隙間の差をなくし、根元か
ら先端までの各部位の周速に最適なその部位における開
口率、相対翼間隔が得られることとなる。そして、上記
のようなロータ１５においては、従来に比して約２０％
程排気速度を上げることができた。すなわち、このロー
タ１５により真空度を早く達成することができ、性能の
向上を図ることができる。また、ロータ翼１６にあって
は根元から先端までの各部位における径に応じて全体的
に捩じることにより最適な翼形状としたので、強度向上
も図ることができる。
なお、この実施例ではアウターロータ型のターボ分子ポ
ンプを例にとって述べたが、ステータコラムの内部にロ
ータと直結するロータシャフトを回転可能に支持するイ
ンナーロータ型のターボ分子ポンプにもこの発明が適用
可能なことは勿論である。
（効果） 以上述べたようにこの発明によれば、ロータ翼をその翼
角度が根元から先端に行くに従い次第に小さくなるよう
に形成したので、排気速度を上げることができて性能の
向上を図ることができるとともに、強度の向上も図るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第３図はこの発明に係る実施例を示したもので
、第１図はロータの概略半分平面図、第２図はロータの
半分正面図、第３図は第２図の■矢視図、第４図〜第７
図は従来例を示したもので、第４図はターボ分子ポンプ
の一部切欠き正面図、第５図はロータの概略半分平面図
、第６図はロータの半分正面図、第７図は第６図のＶＩ
矢視図である。 １・・・ケーシング ２・・・ステータ翼 ３．１５・・・ロータ ４．１６・・・ロータ翼 ５・・・ステータコラム

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ケーシングの内壁面に取付けられたステータ翼と、
    上記ケーシングの内部に配置されたロータの外壁面に取
    付けられたロータ翼とを、上記ロータの軸方向に交互に
    配設するとともに、上記ロータあるいはロータシャフト
    をステータコラムにより回転自在に支持してなるターボ
    分子ポンプにおいて、 上記ロータ翼をその翼角度が根元から先端に行くに従い
    次第に小さくなるように形成したことを特徴とするター
    ボ分子ポンプ。
JP63209644A 1988-08-24 1988-08-24 ターボ分子ポンプ Pending JPH0261387A (ja)

Priority Applications (2)

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JP63209644A JPH0261387A (ja) 1988-08-24 1988-08-24 ターボ分子ポンプ
US07/397,764 US5033936A (en) 1988-08-24 1989-08-23 Rotor blades of turbomolecular pump

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