JPS61215495A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はターボ分子ポンプの改良に関するものである。

（従来の技術） 従来のターボ分子ポンプを第３．４．５図により説明す
ると、（１）がロータ、（２）がケーシング。

（３）が上記ロータ（１）に取り付けた動翼、（４）が
上記ケーシング（２）に取り付けた静翼、（５）が上記
ロータ（１）及び動翼（３）を回転可能に支持する軸受
、（６）が上記上記ロータ（１）及び動翼（３）を回転
するためのモータ、（７）が上記ケーシング（２）に設
けた吸気口、（８）が同ケーシング（２）に設けた排気
口で、上記動翼（３）は９回転方向に対して迎角を有す
る多数の翼板から構成されている。

また上記静翼（４）は、動翼（３）とは逆向きの翼角を
有する多数の翼板から構成されている。なお翼板を（９
）　（１０）　（１１）により示した０以上のターボ分
子ポンプでは、ロータ（１）の回転により、気体分子は
、動翼（３）及び静翼（４）の傾角に起因する分子運動
上の偏りをもって一方向へ押し遣られる。

その結果、吸気口（７）から排気口（８）への流れが生
じて、昇圧・排気作用が行われる。翼車一段当たりの翼
枚数と、排気速度及び昇圧能力（圧縮比）との関係を第
６．７図に示した。同各図からポンプの性能面で最適な
翼間隔が存在することが判る。

（発明が解決しようとする問題点） 前記第３．４．５図のターボ分子ポンプでは。

第４．５図から明らかなように翼車の翼が放射状に取り
付けられているために、翼間隔が半径方向に連続的に変
化しており１局部的に非最適間隔になっているので、ポ
ンプ性能が低下するという問題があった。

本発明は前記の問題点に対処するもので、動翼及び静翼
の少なくとも一方の翼間に短翼を配設したことを特徴と
するターボ分子ポンプに係わり。

その目的とする処は、ポンプ性能を向上できる改良され
たターボ分子ポンプを供する点にある。

（問題点を解決するための手段） 本発明のターボ分子ポンプは前記のように動翼及び静翼
の少なくとも一方の翼間に短翼を配設しており、翼間隔
が最適値の近傍に分布することになワて、ポンプ性能が
向上する。

（実施例） 次に本発明のターボ分子ポンプを第１図及び第２図に示
す実施例により説明すると、第１図は。

動翼（３）の例、第２図は、静翼（４）の例である。

第１図の（１３）が各動翼（３）の中間部を連結するリ
ング状のサポート、　（１２）が同サポート（１３）か
ら動翼（３）間を外側方へ突出した短翼である。また第
２図の（１４）がケーシング（４）から静翼（４）間を
内側方へ突出した短翼である。

（作用） 次に前記第１，２図のターボ分子ポンプの作用を説明す
る。サポート（１３）から動翼（３）間を外側方へ突出
した短翼（１２）とケーシング（４）から静翼（４）間
を内側方へ突出した短翼（１４）とにより、翼間隔の差
が小さくなり、翼枚数の最適化を行ったときに、翼間隔
が最適値若しくは最適値近傍に分布することになって、
ポンプ性能が向上する。

（発明の効果） 本発明のターボ分子ポンプは前記のように動翼及び静翼
の少なくとも一方の翼間に短翼を配設しており、翼間隔
が最適値の近傍に分布することになって、ポンプ性能を
向上できる効果がある。

以上本発明を実施例により説明したが、勿論本発明はこ
のような実施例だけに限定されるものでなく１本発明の
精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施しちる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のターボ分子ポンプの動翼側の一実施例
を示す平面図、第２図は同ターボ分子ポンプの静翼側の
一実施例を示す平面図、第３図は従来のターボ分子ポン
プの縦断側面図、第４図は同従来のターボ分子ポンプの
動翼側の平面図、第５図は同従来のターボ分子ポンプの
静翼側の平面図、第６図は翼枚数と排気速度との関係を
示す説明図、第７図は翼枚数と圧縮比との関係を示す説
明図である。 （３）・・・動翼、（４）・・・静翼、　（１２）（１
４）・・・短翼。 復代理人弁理士岡本重文外２名 第４図 第５因 翼牧数 第７図 舅牧牧

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 動翼及び静翼の少なくとも一方の翼間に短翼を配設した
   ことを特徴とするターボ分子ポンプ。