JPH0689756B2 - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0689756B2 JPH0689756B2 JP10094386A JP10094386A JPH0689756B2 JP H0689756 B2 JPH0689756 B2 JP H0689756B2 JP 10094386 A JP10094386 A JP 10094386A JP 10094386 A JP10094386 A JP 10094386A JP H0689756 B2 JPH0689756 B2 JP H0689756B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- vacuum pump
- housing
- dry vacuum
- cooling jacket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はドライ真空ポンプに係り、特に排気口が大気圧
で、流路に油、水等の封入液体がない半導体製造装置等
において清浄な真空を作り出すのに好適なドライ真空ポ
ンプに関する。
で、流路に油、水等の封入液体がない半導体製造装置等
において清浄な真空を作り出すのに好適なドライ真空ポ
ンプに関する。
特開昭51−38113号公報等に記載の従来の真空ポンプ
は、第４図に示すように、Ｉ−Ｉ線を中心として左右対
象に設けられており、その右半分の構造は次の通りであ
る。すなわち、吸気口2Aと排気口2Bを有するハウジング
２の内壁に取り付けた固定板3B,4B,5Bおよび6B6と、そ
のハウジング２内に設けられ軸受７により回転自在に支
持された回転軸１に取り付けた回転円板3Aおよび羽根車
4A,5Aおよび6Aのそれぞれとからなる軸流ターボ分子ポ
ンプ段3,付加分子ポンプ段4,遠心圧縮ポンプ段５および
渦流圧縮ポンプ段６を吸気口2A側から排気口2B側に至る
間のハウジング２内に順次に連設して構成している。
は、第４図に示すように、Ｉ−Ｉ線を中心として左右対
象に設けられており、その右半分の構造は次の通りであ
る。すなわち、吸気口2Aと排気口2Bを有するハウジング
２の内壁に取り付けた固定板3B,4B,5Bおよび6B6と、そ
のハウジング２内に設けられ軸受７により回転自在に支
持された回転軸１に取り付けた回転円板3Aおよび羽根車
4A,5Aおよび6Aのそれぞれとからなる軸流ターボ分子ポ
ンプ段3,付加分子ポンプ段4,遠心圧縮ポンプ段５および
渦流圧縮ポンプ段６を吸気口2A側から排気口2B側に至る
間のハウジング２内に順次に連設して構成している。
軸流ターボ分子ポンプ段３は、回転円板3Aと固定板3Bを
交互に組み合わせて構成しており、また、付加分子ポン
プ段４は、羽根車4Aと固定板4Bを交互に組み合わせて構
成しており、また、遠心圧縮ポンプ段５は、羽根車5Aと
固定板5Bを交互に組み合わせて構成しており、さらに、
渦流圧縮ポンプ段６は、羽根車6Aと固定板6Bを交互に組
み合わせて構成している。
交互に組み合わせて構成しており、また、付加分子ポン
プ段４は、羽根車4Aと固定板4Bを交互に組み合わせて構
成しており、また、遠心圧縮ポンプ段５は、羽根車5Aと
固定板5Bを交互に組み合わせて構成しており、さらに、
渦流圧縮ポンプ段６は、羽根車6Aと固定板6Bを交互に組
み合わせて構成している。
一方、回転軸１は駆動タービン８により駆動され、この
駆動タービン８は、ハウジング２の側壁に設けた空気入
口管9Aと空気出口管9Bに連結している。
駆動タービン８は、ハウジング２の側壁に設けた空気入
口管9Aと空気出口管9Bに連結している。
また、ドライ型の真空ポンプでは、大気圧に近い圧力下
で作動する部分で発熱し、ポンプ内部がしばしば150〜2
00℃という高温になることがあり、特に吸気口2Aにおい
て約1Torr以上の圧力でポンプ内に気体が流れ込んだと
き、発熱量はさらに大きくなる。
で作動する部分で発熱し、ポンプ内部がしばしば150〜2
00℃という高温になることがあり、特に吸気口2Aにおい
て約1Torr以上の圧力でポンプ内に気体が流れ込んだと
き、発熱量はさらに大きくなる。
従来のドライ真空ポンプにおいては、ステータを構成す
る固定板間の漏れにより内部で循環する流れ又は短絡す
る流れが生じ、ポンプ性能が低下するというおそれがあ
った。また、ステータを冷却しても十分な冷却効果が得
られず、熱膨張の作用により回転体とステータが接触事
故を起こすおそれもあった。
る固定板間の漏れにより内部で循環する流れ又は短絡す
る流れが生じ、ポンプ性能が低下するというおそれがあ
った。また、ステータを冷却しても十分な冷却効果が得
られず、熱膨張の作用により回転体とステータが接触事
故を起こすおそれもあった。
本発明の目的は、ステータにおける内部漏れを極力減ら
し、また、十分な冷却効果が得られるステータを有する
ドライ真空ポンプを提供することにある。
し、また、十分な冷却効果が得られるステータを有する
ドライ真空ポンプを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は吸気口と排気口を
有するハウジングと、このハウジング内に固定されたス
テータと、前記ハウジングに回転自在に支承された回転
軸と、該回転軸に取付けた複数の羽根車とを備え、前記
排気口から直接大気に排気するようにしたドライ真空ポ
ンプにおいて、前記ステータをその軸方向に２分割した
半割り構造とし、この各々のステータはその外周部であ
って前記回転軸の羽根車取付け部に対応する軸方向位置
の少なくとも中間部に水冷ジャケットが形成されてお
り、この水冷ジャケットを備えたステータは一体精密構
造により製作したものである。
有するハウジングと、このハウジング内に固定されたス
テータと、前記ハウジングに回転自在に支承された回転
軸と、該回転軸に取付けた複数の羽根車とを備え、前記
排気口から直接大気に排気するようにしたドライ真空ポ
ンプにおいて、前記ステータをその軸方向に２分割した
半割り構造とし、この各々のステータはその外周部であ
って前記回転軸の羽根車取付け部に対応する軸方向位置
の少なくとも中間部に水冷ジャケットが形成されてお
り、この水冷ジャケットを備えたステータは一体精密構
造により製作したものである。
ステータを一体的に形成すると、ステータを構成する固
定板を多数枚重ね合わせたときに生ずる各固定板の間の
隙間がなくなり、このため作動気体が固定板間で漏れる
ことによる循環流又は短絡流を皆無にでき、性能低下の
要因をなくすことができる。また、ステータに水冷ジャ
ケットを一体形成したので、ステータと水冷ジャケット
を別部品として構成したときに生ずるステータと水冷ジ
ャケット間に形成される空気層をなくすことができる。
これにより、冷却効果を増大させることが可能になる。
さらに冷却ジャケットは少くとも発熱が大である羽根車
部に対応したところに設けてあるので、ロータの熱歪を
小さくでき、ロータとステータとの接触を防止でき、信
頼性が向上する。
定板を多数枚重ね合わせたときに生ずる各固定板の間の
隙間がなくなり、このため作動気体が固定板間で漏れる
ことによる循環流又は短絡流を皆無にでき、性能低下の
要因をなくすことができる。また、ステータに水冷ジャ
ケットを一体形成したので、ステータと水冷ジャケット
を別部品として構成したときに生ずるステータと水冷ジ
ャケット間に形成される空気層をなくすことができる。
これにより、冷却効果を増大させることが可能になる。
さらに冷却ジャケットは少くとも発熱が大である羽根車
部に対応したところに設けてあるので、ロータの熱歪を
小さくでき、ロータとステータとの接触を防止でき、信
頼性が向上する。
以下本発明を第１図〜第３図を用いて説明する。
第１図は本発明のドライ真空ポンプの一実施例の縦断面
図である。第１図において、回転軸１は吸気口2Aと排気
口2Bを有するハウジング２内に延びており、軸受７によ
り回転自在に支持されており、回転軸１に組み込まれた
モータ10によって駆動される。11,12は吸気口2A側から
排気口2B側に至る間のハウジング２内に順次連設した遠
心圧縮ポンプ段および円周流圧縮ポンプ段である。
図である。第１図において、回転軸１は吸気口2Aと排気
口2Bを有するハウジング２内に延びており、軸受７によ
り回転自在に支持されており、回転軸１に組み込まれた
モータ10によって駆動される。11,12は吸気口2A側から
排気口2B側に至る間のハウジング２内に順次連設した遠
心圧縮ポンプ段および円周流圧縮ポンプ段である。
遠心圧縮ポンプ段11は、第２図（ａ），（ｂ）に示すよ
うに、表面上に複数個の羽根13を有し、かつ、回転軸１
に取り付けた羽根車11Aと、第２図（ａ），（ｃ）に示
すように、ハウジング２内に取り付け、かつ、羽根車11
Aの裏面（羽根13を設けてない面）に対向する面に複数
個の羽根14を設けたステータ11Bとを交互に積層状に配
置している。
うに、表面上に複数個の羽根13を有し、かつ、回転軸１
に取り付けた羽根車11Aと、第２図（ａ），（ｃ）に示
すように、ハウジング２内に取り付け、かつ、羽根車11
Aの裏面（羽根13を設けてない面）に対向する面に複数
個の羽根14を設けたステータ11Bとを交互に積層状に配
置している。
また、円周流圧縮ポンプ段12は、第１図および第３図
（ａ）に示すように、回転軸１に取り付けた羽根車12A
と、ハウジング２内に取り付けたステータ12Bとから構
成している。
（ａ）に示すように、回転軸１に取り付けた羽根車12A
と、ハウジング２内に取り付けたステータ12Bとから構
成している。
羽根車12Aは、外径側に円板状の突出部が形成され、そ
の円板面には複数個の羽根15が設けられている。第３図
（ｂ）は第３図（ａ）のＸ−Ｘ矢視断面図で、羽根車12
Aの羽根15が半径方向外方に延びていることを示してい
る。第３図（ｃ）は第３図（ａ）のＹ−Ｙ矢視断面図
で、ステータ12Bの溝形状を示している。第３図（ａ）
に示すように円周流圧縮ポンプ段のステータ12Bには、
内径側に断面Ｕ字形の溝16が軸方向に複数個形成されて
おり、第３図（ｃ）に示すように外径側には冷却用の水
冷ジャケット部17が複数個形成されている。羽根車12A
の外径側の円板状の突出部は、ステータ12Bの内径側の
Ｕ字形の溝16に対応する半径方向位置にあり、羽根車と
ステータは交互に積層された形状をなし、流路を形成し
ている。そして、組み立て上の必要性からステータ12B
は回転軸１の中心線を含む面でステータ12Bの軸方向に
２分割した半割り構造となっている。
の円板面には複数個の羽根15が設けられている。第３図
（ｂ）は第３図（ａ）のＸ−Ｘ矢視断面図で、羽根車12
Aの羽根15が半径方向外方に延びていることを示してい
る。第３図（ｃ）は第３図（ａ）のＹ−Ｙ矢視断面図
で、ステータ12Bの溝形状を示している。第３図（ａ）
に示すように円周流圧縮ポンプ段のステータ12Bには、
内径側に断面Ｕ字形の溝16が軸方向に複数個形成されて
おり、第３図（ｃ）に示すように外径側には冷却用の水
冷ジャケット部17が複数個形成されている。羽根車12A
の外径側の円板状の突出部は、ステータ12Bの内径側の
Ｕ字形の溝16に対応する半径方向位置にあり、羽根車と
ステータは交互に積層された形状をなし、流路を形成し
ている。そして、組み立て上の必要性からステータ12B
は回転軸１の中心線を含む面でステータ12Bの軸方向に
２分割した半割り構造となっている。
ところで、本発明では、半割りで構成した各ステータ12
Bは一体的に精密鋳造で形成している。これにより以下
の効果が期待できる。
Bは一体的に精密鋳造で形成している。これにより以下
の効果が期待できる。
第１に、円周流圧縮ポンプ段12の固定板間の隙間をなく
すことができるため、取り扱い気体の固定板間での漏れ
が皆無となり、環境流や短絡流による真空ポンプ全体の
性能低下をなくすことができる。前述のように、ステー
タ12Bは半割り構造であるため、この半割り面間の隙間
からの漏れの可能性が残るが、これはステータ12Bを複
数個の固定板3B,4B,5Bおよび6Bを積み重ねることによっ
て形成する従来例においても同じであり、全体の内部漏
れ量は本発明により大幅に低減可能である。
すことができるため、取り扱い気体の固定板間での漏れ
が皆無となり、環境流や短絡流による真空ポンプ全体の
性能低下をなくすことができる。前述のように、ステー
タ12Bは半割り構造であるため、この半割り面間の隙間
からの漏れの可能性が残るが、これはステータ12Bを複
数個の固定板3B,4B,5Bおよび6Bを積み重ねることによっ
て形成する従来例においても同じであり、全体の内部漏
れ量は本発明により大幅に低減可能である。
第２に、ステータ12Bの外径側に水冷ジャケット17をス
テータ12Bと一体的に形成したことにより熱伝達性能の
劣る空気層の形成を防止でき、冷却水がステータと直接
熱交換できるので冷却効果が増大し、熱膨張に起因する
羽根車12Aとステータ12Bとの接触事故をなくすことが可
能になる。
テータ12Bと一体的に形成したことにより熱伝達性能の
劣る空気層の形成を防止でき、冷却水がステータと直接
熱交換できるので冷却効果が増大し、熱膨張に起因する
羽根車12Aとステータ12Bとの接触事故をなくすことが可
能になる。
なお、第３図に示した実施例では、ステータ12Bの片側
端面に遠心圧縮ポンプ段11の固定羽根14を同時に形成し
ている。しかし遠心圧縮ポンプ段11の固定羽根14全部を
円周流圧縮ポンプ段12のステータ12Bとともに一体に精
密鋳造で製作して一体化したステータ11Bを構成しても
よい。
端面に遠心圧縮ポンプ段11の固定羽根14を同時に形成し
ている。しかし遠心圧縮ポンプ段11の固定羽根14全部を
円周流圧縮ポンプ段12のステータ12Bとともに一体に精
密鋳造で製作して一体化したステータ11Bを構成しても
よい。
以上説明したように、本発明によれば、ステータを半割
り構造とし、各々のステータを一体的に形成したので、
ステータにおける内部漏れに起因する循環流や短絡流を
防止でき、真空ポンプの性能を向上できる。また、ステ
ータに水冷ジャケットを一体的に形成したので空気層の
介在がなく、冷却効果が増大する。そして特に発熱部で
ある羽根車に対応したステータ部に冷却ジャケットを設
けたので、熱膨張に起因する羽根車とステータとの接触
事故の発生をなくすことができるという効果がある。
り構造とし、各々のステータを一体的に形成したので、
ステータにおける内部漏れに起因する循環流や短絡流を
防止でき、真空ポンプの性能を向上できる。また、ステ
ータに水冷ジャケットを一体的に形成したので空気層の
介在がなく、冷却効果が増大する。そして特に発熱部で
ある羽根車に対応したステータ部に冷却ジャケットを設
けたので、熱膨張に起因する羽根車とステータとの接触
事故の発生をなくすことができるという効果がある。
第１図は本発明のドライ真空ポンプの一実施例を示す縦
断面図、第２図は第１図の遠心圧縮ポンプ段の一実施例
を示す構成図、第３図は第１図の円周流圧縮ポンプ段の
一実施例を示す構成図、第４図は従来の真空ポンプの縦
断面図である。 １…回転軸、２…ハウジング、2A…吸気口、2B…排気
口、７…軸受、10…モータ、11…遠心圧縮ポンプ段、12
…円周流圧縮ポンプ段、11A,12A…羽根車、11B,12B…ス
テータ、13,14,15…羽根、16…Ｕ字形の溝、17…水冷ジ
ャケット。
断面図、第２図は第１図の遠心圧縮ポンプ段の一実施例
を示す構成図、第３図は第１図の円周流圧縮ポンプ段の
一実施例を示す構成図、第４図は従来の真空ポンプの縦
断面図である。 １…回転軸、２…ハウジング、2A…吸気口、2B…排気
口、７…軸受、10…モータ、11…遠心圧縮ポンプ段、12
…円周流圧縮ポンプ段、11A,12A…羽根車、11B,12B…ス
テータ、13,14,15…羽根、16…Ｕ字形の溝、17…水冷ジ
ャケット。
フロントページの続き (72)発明者 村田 幸雄 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内 (72)発明者 谷山 実 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内 (72)発明者 池村 和彦 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内 (56)参考文献 特開 昭47−28502（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−230599（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−48995（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】吸気口と排気口を有するハウジングと、こ
のハウジング内に固定されたステータと、前記ハウジン
グに回転自在に支承された回転軸と、該回転軸に取付け
た複数の羽根車とを備え、前記排気口から直接大気に排
気するようにしたドライ真空ポンプにおいて、 前記ステータをその軸方向に２分割した半割り構造と
し、この各々のステータはその外周部であって前記回転
軸の羽根車取付け部に対応する軸方向位置の少なくとも
中間部に水冷ジャケットが形成されており、この水冷ジ
ャケットを備えたステータは一体精密鋳造により製作さ
れたことを特徴とするドライ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10094386A JPH0689756B2 (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10094386A JPH0689756B2 (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | ドライ真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62258186A JPS62258186A (ja) | 1987-11-10 |
| JPH0689756B2 true JPH0689756B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=14287434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10094386A Expired - Fee Related JPH0689756B2 (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0689756B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2574810B2 (ja) * | 1987-09-11 | 1997-01-22 | 株式会社日立製作所 | 真空ポンプ |
| US5219269A (en) * | 1988-07-13 | 1993-06-15 | Osaka Vacuum, Ltd. | Vacuum pump |
| US5020969A (en) * | 1988-09-28 | 1991-06-04 | Hitachi, Ltd. | Turbo vacuum pump |
| JPH0886298A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Hitachi Ltd | ドライターボ真空ポンプ |
| DE19956015A1 (de) * | 1999-11-22 | 2001-05-23 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| DE10142567A1 (de) * | 2001-08-30 | 2003-03-20 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| GB0618745D0 (en) | 2006-09-22 | 2006-11-01 | Boc Group Plc | Molecular drag pumping mechanism |
| DE102013203577A1 (de) * | 2013-03-01 | 2014-09-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
-
1986
- 1986-05-02 JP JP10094386A patent/JPH0689756B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62258186A (ja) | 1987-11-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |