JPH03237297A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 この発明は、固定翼と回転翼との相対的回転によるター
ボｍ構によって分子の流れを方向つけ気体分子を排出し
て真空を得るターボ分子ポンプに関するものである。

Ｂ、従来の技術 従来に於けるこの種ターボ分子ポンプにおいてはターボ
Ｉ！楕を１個有するものが多いが、たとえば特許第６８
１７２３号「ねじ渭つき軸流分子ポンプ」にも示される
ようにターボ機構の後段にねじポンプ機構を設けて気体
分子を粘性流で排出しより広い範囲での使用を可能にす
る分子ポンプが提案されている。複合形ポンプであり、
いわゆるハイブリッド形ターボ分子ポンプである。

Ｃ０発明が解決しようとする問題点 この複合形のターボ分子ポンプの場合、電動機はその出
力軸芯長が比較的長く、したがってその出力軸端に回転
翼やねじ回転筒が直結された状態ではポンプの軸芯長が
非常に大きくならざるを得ない、大容量の場合は電動機
の大形となりこの傾向は増大する。軸芯長の増大はポン
プの大形化、重量化を招来する。また特にねじ回転筒が
中実の場合は回転トルりが非常に大きくなる。

この発明はこのような問題点を解決するターボ分子ポン
プを提供せんとするものである。

Ｄ８問題点を解決するための手段 この発明によるターボ分子ポンプは、回転翼やねじ回転
筒を回転駆動する電動機を改良したものである。すなわ
ち一定の空隙をおいて対向配置された外側固定子および
内側固定子と、これらの空隙間に挿入されたリング状回
転子から成り、再固定子と回転子間の電磁力作用により
リング状回転子にトルクを発生させる形の電動機である
。このリング形電動機を２個設け、それぞれのリング状
回転子に前記分子ポンプの回転翼やねじポンプ機構のね
じ回転筒を連結して構成するのである。しかもねじ回転
筒は薄肉筒で構成する。

２１作用 リング状回転子に対して連結される分子ポンプの回転翼
はそのリングの内方または外方に位置することができる
から軸芯長はリング形電動機の軸芯長になる。ねじ回転
筒は薄肉筒であるから、リング形電動機により高速回転
される。

Ｆ、実Ｍ！、ＰＡ 以下、図面に示す実施例にしたがってこの発明を説明す
る。

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの構成全体を
示す縦断面図であり、第２図は第１図における■−■面
図である。第２図はリング形電動機の構成を説明するた
めのもので、その軸芯と垂直の断面が示されている。リ
ング形電動機ＲＨは２個段設されており、下方のリング
形電動機ＲＨには上方のリング形電動機ＲＨの符号に−
を付して示している。したがって下方のリング形電動機
ＲＭについては敢えて説明しない。

まず第１図にしたがってターボ分子ポンプの構成につい
て説明する０図において２が固定翼であってポンプケー
シング１の内壁側に一定の間隔で複数段固定付設されて
いる。３はこの固定翼２に対し回転筒１０に一定の間隔
で複数段固定付設され外方に延設された回転翼である。

固定翼２と回転翼３は交互に組合わされて両者によって
ターボ機構が構成されるのである。そして回転翼３の高
速回転によって固定翼２と回転翼３間に相対的回転をつ
くり、分子の流れを方向づけるのである。

１６はわじポンプｉ楕のねじ回転筒であって、その下方
の円盤部が接続環９を介してリング形電動ａ！！ＲＨに
連結されている。そしてねじ回転筒１６の外方には薄肉
円筒１６Ｒが一体的に形成されているのである。

そしてこの薄肉円筒１６Ｈの外周面にはケーシング１の
内周面に対応してわじ溝１６Ｍが刻設されている。

ねじボン１８！楕がＦｉ！肉円筒で構成されている点に
特徴がある。

このねじポンプ機構によってターボ分子ポンプ機構によ
って排出されてきた気体分子を吸気口Ｐ側から排気口Ｈ
へと排出し、吸気口Ｐに連接される被排気室〈図示せず
〉の真空を得るのである。１５は脚である。

さてこの発明は以上の構成に加えて、回転翼３およびね
じ回転筒１６の高速回転を２個のリング形電動機ＲＨで
行わせるようにしたところに特徴を有するものである。

この点を第２図も合せながら説明する。すなわち図にお
いて５はリング形電動機ＲＭを構成する一部品であって
、一定の空隙をおいて対向配置されたリング状の外側固
定子６および内側固定子７を固定的に収納保持する環状
保持筒であり、中央の固定保持筒４の上部に嵌挿されて
いる。そして８は外側固定子６および内側固定子７の空
隙間に挿入されたリング状回転子で、その上端は接続環
９を介して回転筒１０に一帯的に固定されている。この
回転筒１０が回転翼３の基体となっているのである。

ねじポンプ機構の場合この回転筒１０に相当するものは
ねじ回転筒１６である。このねじ回転筒１６の円盤部内
周１３は磁気軸受装置１２の一部を構成している。

この発明の特徴は以上のとおりであるが、上記ならびに
図示例以外種々の変形例を包含する。たとえばターボＩ
Ｉ構を２段並設することもできる。軸受機構は磁気軸受
方式以外の機構を採用できる。

Ｇ４発明の効果 この発明は以上説明したとおりであるから、いわゆるハ
イブリッド形ターボ分子ポンプとして機能を向上させる
ことができ、またターボ分子ポンプを小形、軽量化させ
ることができるという利点が有る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの構成全体を
示すｋｉｔ！Ｆｒ面図、第２図は第１図におけるＩ［−
■面図である １・・・ポンプケーシング、２・・・固定翼、３・・−
回転翼４・・・固定保持筒、５・・・環状保持面６・・
・外側固定子、７・・内側固定子８・・リング状回転子
、９・・・接続環１０・・・回転筒、１６・・ねじ回転
筒、ｉ６Ｒ・・薄肉円筒１６Ｍ・、、ねじ講。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 固定翼と回転翼との相対的回転によるターボ機構によっ
   て分子の流れを方向づけるとともに、後段のねじポンプ
   機構によって気体分子を粘性流で排出して真空を得る分
   子ポンプであって、一定の空隙をおいて対向配置された
   外側固定子および内側固定子とこれらの空隙間に挿入さ
   れたリング状回転子から成り両固定子と回転子間の電磁
   力作用によりリング状回転子にトルクを発生させるリン
   グ形電動機を２個設け、一方のリング形電動機のリング
   状回転子に前記分子ポンプの回転翼を連結するとともに
   他方のリング形電動機のリング状回転子に前記ねじポン
   プ機構の回転筒を連結したことを特徴とするターボ分子
   ポンプ。